【課題】構成レンズの枚数の増加を抑制しながら、十分な露光領域と大きな開口数とを確保しつつ両側テレセントリックとしながらも、コンパクト化を図った上で製造コストを低減した投影光学系を提供する。
【解決手段】第１物体の像を第２物体上に投影するための投影光学系において、前記第１物体側から前記第２物体に向かって順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有し、互いに向き合った凹面の組を形成する一対の負レンズを持つ第２レンズ群と、正の屈折力をする第３レンズ群と、開口絞りと、正の屈折力を有する第４レンズ群と、負の屈折力を有し、互いに向き合った凹面の組を形成する一対の負レンズを持つ第５レンズ群と、正の屈折力を持つ第６レンズ群とから構成され、０．３＜ｆ１／ｆａ＜１．３、−０．３６＜ｆ２／ｆａ＜−０．０８、０．１３＜ｆ３／ｆａ＜０．５の条件を満足する。 （もっと読む）