【課題】クリーニングヘッドとスクリーンマスクとの密着性を常に確保して、マスククリーニング効果を安定させることができるスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】クリーニングペーパ２３をスクリーンマスク１２の下面に押しつけて拭き取るクリーニングヘッド２１に、長尺板状の弾性体より成り上昇した状態において上端部がクリーニングペーパ２３を介してスクリーンマスク１２の下面に当接するブレード部材２４を配設し、ブレード部材２４をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で拭き取りを行い、ブレード部材２４をスクリーンマスク１２の状態に応じて撓ませる。これにより、クリーニングヘッド２１とスクリーンマスク１２との密着性を常に確保して、マスククリーニング効果を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】スクリーン版と被印刷物との隙間へのインク漏れを低減することにより、高精度なスクリーン印刷を可能とする。
【解決手段】スクリーン印刷装置（１）のテーブル角度調整機構（２０）は、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）をワーク（被印刷物）（Ｗ）側に押し付けて所定の移動方向に移動している間、スキージ（５０）の移動位置に応じてスキージ（５０）のスクリーン版（４０）に対するテンションを一定に保ち、かつ、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）を押し付けている位置より移動方向の前方側ではワーク（Ｗ）とスクリーン版（４０）とが密着し、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）を押し付けている位置より移動方向の後方側ではワーク（Ｗ）とスクリーン版（４０）とが離間するようにテーブル（１１）の角度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スクリーン印刷用のマスク１３の下方で基板保持ユニット１５によって基板２を保持したら、昇降自在な吸着パッド３２を上昇させ、基板２よりも上方の位置で吸着パッド３２によりマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることでマスク１３を下方に引き寄せて基板２に接触させる。 （もっと読む）

【課題】スクリーンマスク上のペーストの堆積を防止して、保守の手間と労力を減少させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板１０をＹ方向から挟み込んでクランプする１対のクランプ部材９ａの両端部に、これらのクランプ部材９ａとともに矩形枠を形成するマスク支持部材９ｂを配設し、基板１０をスクリーンマスク１２の下面に当接させた状態においてこのマスク支持部材９ｂによってスクリーンマスク１２を下面側から支持する。これにより、スクリーンマスク１２の下方への撓みを防止することができ、撓みに起因して生じるスクリーンマスク１２上のペーストの堆積を防止して保守の手間と労力を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板位置決め部の昇降駆動機構の機械誤差に起因する位置ずれ誤差を排除して、高い位置精度で基板をマスクプレートに対して位置合わせすることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の撮像部によって、認識孔９ｅ、１２ｅを撮像して取得された位置合わせデータに基づいて基板位置決め部１を制御してクランプ部材９ａを上昇させてマスクプレート１２の下面に位置合わせし、クランプ部材９ａが治具マスク１２Ａの下面に当接した状態で第２の撮像部１７によって認識孔１２ｅを介して認識孔９ｅを撮像した撮像結果に基づき、クランプ部材９ａが治具マスク１２Ａの下面に当接した状態における認識孔１２ｅと認識孔９ｅとの位置ずれ量δｘ、δｙを示す相対位置データを取得し、基板位置決め部１による上昇動作に起因する位置決め誤差を示すキャリブレーションデータとして記憶させる。 （もっと読む）

【課題】異種類の基板を含めた複数枚の基板を対象として同時並行的に印刷作業を効率よく実行するスクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】電子部品搭載装置３の上流に２つのスクリーン印刷部７Ａ，７Ｂをそれぞれ直列に配置して成る２列のスクリーン印刷ラインを並設したスクリーン印刷システムを連結して構成された電子部品実装ラインにおいて、２列のスクリーン印刷ラインは、スクリーン印刷システムの中心側にそれぞれのバイパス用の基板搬送路８を並列に配置し、それぞれのスクリーン印刷部７Ａ、７Ｂを基板搬送路８の外側に配置した構成とする。これにより、下流側装置から当該スクリーン印刷装置の上流側へ基板５を戻すためのリターン搬送および上流側から送られた基板５を当該スクリーン印刷装置を通過させて下流側装置へ搬送するためのバイパス搬送など必要に応じて多様な基板搬送形態が可能となる。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機の状態の変化による印刷ずれを検出し、検出した印刷ずれ量をフィードバックすることによって、高精度の印刷の維持を可能とするスクリーン印刷機を提供する。
【解決手段】被印刷物にスクリーンを介してクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機において、前記被印刷物の基準となるランドとこのランドに対応して印刷されたクリーム半田の画像を取得する基板認識カメラと、取得された画像から前記ランドと印刷されたクリーム半田とのずれ量を演算し、演算された前記ずれ量に１未満の所定の係数を乗算し、前記乗算した値を次の印刷時に印刷ずれ補正量として出力する制御部と、前記印刷ずれ補正量に基づいて前記次の印刷時に印刷ずれを補正する位置合わせ機構とを備えた。 （もっと読む）

【課題】印刷難度が高いメッシュマスクを対象として、良好な充填性を確保することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】内部で加圧されたペーストＰを１対の摺接部材３４Ａ，３４Ｂの間の印刷開口３５ａから充填する構成の密閉型スキージ機構１３によるスキージング動作において、印刷開口３５ａを介してのパターン孔１２ａへのペーストの充填に先立って、１対の摺接部材３４Ａ，３４Ｂのうちスキージング方向の前方側に位置する摺接部材３４Ｂがスキージング方向へ移動することにより、メッシュマスク１２の上面において密閉型スキージ機構１３の外部に供給されたペーストＰをパターン孔１２ａ内に充填する。これにより印刷難度が高いメッシュマスク１２を対象として、良好な充填性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】付着材料の供給終了後に駆動部の駆動位置を戻す構成において、付着材料の供給量が目標の供給量からずれてしまうのを抑制することが可能な付着材料塗布装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００（付着材料塗布装置）は、半田ペースト１１１の供給終了後にサーボモータ７２３の駆動位置を戻す制御を行うとともに、サーボモータ７２３が所定方向に駆動し始めてから半田容器１１０とピストン１１２とが相対移動することにより半田ペースト１１１が供給口１１３を介して押し出され始めるまでの供給前区間（供給前空走区間および加圧区間）と半田ペースト１１１が供給口１１３を介して押し出される本供給区間とを判別する制御部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】マスクプレートからの版離れ時に基板に静電気が発生するのを防止できるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板１の下受けピン２５が立設される配設板２０上に除電ブラシ部６０を設ける。下受けピン２５で基板１の下面を支持するために配設板２０を基板１に対して上昇させると、除電ブラシ部６０に立設された導電性を有するブラシ毛６２の毛先は基板１の下面に当接する。マスクプレート４１上でのスキージ５１のスキージングが終了し、マスクプレート４１から版離れさせるために基板１を下降させる際に基板１に発生する静電気は、除電ブラシ部６０により直ちに除電される。 （もっと読む）

【課題】開口部の寸法を正確に計測することが可能なスクリーンマスクの計測装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、スクリーンマスク９０の上面９０ａを撮像して開口部９１の画像を取得するカメラ１５と、カメラ１５からスクリーンマスク９０の上面９０ａまでの距離Ｌ_Ｚを測定するために設けられたレーザポインタ１６と、カメラ１５およびレーザポインタ１６を用いて測定された距離Ｌ_Ｚに基づいて、撮像された画像に基づくデータを実寸法に換算する換算係数Ｓ_Ｚを調整する制御部８５とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のペーストの供給方法では困難であった高アスペクト比のペーストを基板の電極上に供給することができるペースト供給装置及びペースト供給方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板２の電極３に対応して配置された開口部１４ａを有するブロック状のマスク１４を下端に備えてマスク１４の開口部１４ａからペースト４を圧出するヘッド部１３を有し、マスク１４の開口部１４ａと基板保持部１２に保持された基板２の電極３とが上下方向に合致するように基板２とヘッド部１３とを相対移動させて基板２とヘッド部１３との位置合わせを行った後、マスク１４の開口部１４ａのＭｔよりも高さの高いペースト４（ペースト柱４ａ）が電極３上に供給されるように、ヘッド部１３からマスク１４の開口部１４ａを介してペースト４を押し出させつつ基板２とヘッド部１３とを上下に離間させる。 （もっと読む）

【課題】改善されたスクリーン印刷機を提供する。
【解決手段】マスク支持装置本体６０の四隅に設けた送りねじ１３６をベッド１２８のナット１３８に螺合し、中央部に突設した中空のガイドロッド１２６をベッド１２８のガイドスリーブ１３０に摺動可能に嵌合する。基板保持装置１４の基板支持装置１５０の本体３００の四隅に設けた送りねじ３７６を、クランプ装置本体１５４，本体６０の各ナット３７８，３４４に螺合し、本体３００の中央部に突設したガイドロッド３６６を、本体１５４のガイドスリーブ３６８を通ってガイドロッド１２６に摺動可能に嵌合する。ナット１３８の回転によりマスク支持装置１６が昇降し、ナット３４４の回転により基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して昇降し、送りねじ３７６の回転により基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して昇降し、基板３２の支持，クランプ，マスクへの接触等が行われる。 （もっと読む）

【課題】ブレードのコスト性や汎用性を損なわずにペーストのローリング性を向上させることができ、良好な印刷層を形成できるペースト印刷用スキージを提供する。
【解決手段】このペースト印刷用スキージ２２は、先端部に保持凹部３２を有するホルダ３１と、一部が保持凹部３２から突出したブレード突出部４２を有する弾性体製のブレード４１とを備える。ペーストＰ１は、ブレード４１の進行方向側にペーストＰ１を供給した状態で被印刷面１４に沿って移動することで印刷される。ブレード突出部４２の進行方向側の面である第１傾斜面４５と、ホルダ先端部の進行方向側の面である第２傾斜面３５とが連続して配置される。被印刷面１４に対する第２傾斜面３５の傾斜角度θ２が、被印刷面１４に対する第１傾斜面４５の傾斜角度θ１よりも小さくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】マスク上を摺動するスキージによってマスクが引き摺られて移動しても印刷不良が発生しにくいスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スキージ１４がマスク１３上で摺動した場合にマスク１３がスキージ１４に引き摺られて移動する移動距離Δがマスク移動距離Δとして記憶部８０ａに記憶され、この記憶部８０ａから読み出して得られるマスク移動距離Δだけ基板２の電極３がマスク１３のパターン孔１３ａよりもスキージ１４のマスク１３に対する移動方向にずれた状態で基板２をマスク１３に接触させるようにする。 （もっと読む）

【課題】２種類の印刷パターンをもつマスクを備えるスクリーン印刷装置において、付帯設備を要することなく一系統の装置と二系統の装置との間に介設できるようにする。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、印刷パターン２１１、２１２を含むマスク２１を備える印刷実行部２０と、第１、第２の基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２および基板搬出部Ｅｘと、基板支持装置１０と、制御装置等とを備える。基板支持装置１０は、第１基板搬入部Ｅｎ１からの基板Ｗを受取る第１受取位置と、第２基板搬入部Ｅｎ２からの基板Ｗを受取る第２受取位置と、基板搬出部Ｅｘから基板Ｗを搬出する送出位置との間を移動し、制御装置は、基板Ｗを受取るべく基板支持装置１０を第１又は第２受取位置に配置し、印刷パターン２１１、２１２のうち何れかのパターンを用いて印刷が行われるように基板支持装置１０を配置し、印刷後の基板Ｗを搬出すべく基板支持装置１０を送出位置に配置する。 （もっと読む）