【課題】圧電体層のクラックの発生を抑制することができる圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備える液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及びマイクロポンプを提供する。
【解決手段】下電極層形成工程と、圧電体前駆体層積層工程と、圧電体前駆体を結晶化させて圧電体層９を形成する圧電体層形成工程と、上電極層形成工程と、によって圧電素子５６を作成し、圧電素子５６の変形によって圧電素子５６に密着した振動板５５が変形する圧電アクチュエータ２００の製造方法において、圧電体層形成工程で、圧電変形領域の圧電体前駆体層を焼成して多結晶体からなる多結晶部９ａとし、多結晶部９ａと非晶質部９ｂとを有する該圧電体層９を形成する。 （もっと読む）

【課題】支持部材を保持部材に確実に固定するとともに、電気接続部の剥離を防止し、接続信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、エネルギー発生素子２２と、エネルギー発生素子２２に接続された接続端子部４８と、を有するヘッド本体と、接続端子部４８に当接され接続した支持部材配線が形成されたフレキシブル基板６０を有する支持部材６２と、ヘッド本体と接合し、支持部材６２を保持する保持部材７４と、を備え、支持部材６２と保持部材７４は、支持部材７４に設けられた接合部材８８を、保持部材７４のヘッド本体とは反対側の面と接着剤９０を介して接着させることで固定されていることを特徴とするインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】印加電界±１００ｋＶ／ｃｍを印加した寿命テストにおいて、初期の圧電定数に対する１０億回駆動後の圧電定数の比率が９５％以上である信頼性の高い圧電膜を用いた圧電膜素子及び圧電膜デバイスを提供する。
【解決手段】基板上に、下部電極層と、組成式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０.４≦ｘ
≦０.７）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電膜と、上部電極
とを備える圧電膜素子において、印加電界＋１００ｋＶ／ｃｍでの誘電損失および印加電界−１００ｋＶ／ｃｍでの誘電損失が共に、０.４５以下である。 （もっと読む）

【課題】振動板における振動特性と有機溶剤に対する耐性とを高度に両立する液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを効率よく製造可能な液滴吐出ヘッドの製造方法、および前記液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間、および振動フィルム３０と支持板４０との間が、振動フィルム３０の両面を覆うポリオレフィン系樹脂で構成された樹脂層１５、２５、３５を介して接着されている。このポリオレフィン系樹脂は、分子構造中にポリエチレンを含み、さらに不飽和カルボン酸またはその誘導体を含むものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】駆動ＩＣからの発熱を効率的に放熱することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔２を有するノズル基板１と、複数の液室３と、振動板及１７び圧電素子１６が設けられる液室基板１２と、液室基板１２の上方に設けられ液室３に液体を供給する通路が形成される液体供給基板７と、液体供給基板７の上方に設けられた積層構造のフレーム基板９とを有し、液室基板１２上に形成されたバンプ１０に対してフリップチップ実装された駆動ＩＣ１１が圧電素子１６に電圧を印加することにより液室３に圧力を発生させるインクジェット記録ヘッド１００において、フレーム基板９の少なくとも最下方の１枚に一体的に形成または接触した状態で設けられる弾性部材１８を設け、これを液体供給基板７と駆動ＩＣ１１の少なくとも一面とにそれぞれ接触配置した。 （もっと読む）

【課題】安定性の高い前駆体溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る前駆体溶液の製造方法は、酸とアルコールと金属錯体とを含む、複合酸化物の前駆体溶液の製造方法であって、溶媒に対して２０質量％以上の水を添加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、第１のヤング率を有する圧電体層２０と、電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、第１のヤング率より大きい第２のヤング率を有する絶縁体層４０と、を含み、圧電体層２０は、第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた部分２２を有し、挟まれた部分２２の外側に、絶縁体層４０が隣接している。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドへの供給電圧をスイッチング制御する電界効果トランジスタの熱破壊を容易に防ぐインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】予め定められた期間、制御信号を電界効果トランジスタに入力して電界効果トランジスタの出力電圧を除除に立ち上げる。予め定められた期間が経過した時点における電圧に基づき、電界効果トランジスタの特性を特定する。その特定された電界効果トランジスタの特性に対応付けられた期間、制御信号を電界効果トランジスタに入力して出力電圧を供給電圧まで除除に立ち上げる。 （もっと読む）

【課題】 高い生産性を維持しつつ、支持部材と記録素子基板との間を隙間なく接着剤でシールした、インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドが、記録液を吐出するための吐出口列を備えた記録素子基板と、前記記録素子基板を支持するための支持部材と、前記記録素子基板と前記支持部材を接合するための接着剤とを有し、前記支持部材は吐出口列に記録液を供給する複数の記録液供給口を有している。また、前記支持部材の、前記記録素子基板を接着する接着剤と接する面上であり、前記複数の記録液供給口の中で両端に位置する記録液供給口の長手端部に凸部を有する。 （もっと読む）

【課題】流路部材に局所的に負荷が掛かることを防止して信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に供給されるインクが流通する第１流路及び第２流路をそれぞれ有する第１流路部材１７及び第２流路部材２１と、第１流路部材１７及び前記第２流路部材２１に挟持された環状のシール部材１８とを備え、前記１流路及び前記第２流路は、第１流路部材１７、第２流路部材２１及びシール部材１８とで画成された空間部１００内で連通し、シール部材１８の第１流路部材１７との接合面９１には、空間部１００を外部に連通させる大気開放路９０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、高さの異なる押圧面を有する電気配線基板Ｈ１３００と記録素子ユニットＨ３０００との接着固定において、リードＬ１の下部の接着剤が安定的に圧搾されて、高い電気接合信頼性を持ったインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する事にある。
【解決手段】 記録液を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板を接着固定する支持基板と、前記記録素子基板に吐出信号を伝達する電気配線基板とを備え、前記電気配線基板と、前記支持基板とを接着剤を用いて接着固定して得られるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記電気配線基板には、前記電気配線基板の接着の際に圧力を付与する為の、高さの異なる押圧面を複数有し、前記支持基板には接着の際に前記電気配線基板からの圧力を受圧する受圧面を有し、前記押圧面のうち、少なくとも２つの面を低弾性部材によって押圧する事を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】印刷品質の低下を抑制する。
【解決手段】インクジェットヘッド２２１は、インクの液滴を吐出するノズル穴２２６を有するノズルプレート２２４と、ノズル穴２２６に対応する位置に形成されノズル穴２２６を外部に露出させる開口部２２８を有し、ノズルプレート２２４に積層された保護プレート２２５とを備え、開口部２２８は、少なくとも一部がノズル穴２２６から遠ざかる先端側ほど幅が小さくなる切込部２３０ａ，２３０ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】長期に亘り充分な接着性とインク吐出性を有する液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する吐出口を有するノズル板と、前記吐出口が連通する個別液室を有する流路板と、を備え、前記ノズル板と前記流路板とは、エポキシ接着剤が硬化して接合されてなり、アミド系有機溶剤と、水と、を含むインクを吐出し、前記アミド系有機溶剤量は、前記インク中に２０重量％以上含有されてなり、且つ、Ｎ−メチルピロリドン、２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、及び下記構造式（１）で示される化合物のいずれか１以上を含み、前記エポキシ接着剤は、（Ａ）水酸基を有しないエポキシ樹脂モノマーと、（Ｂ）アミン系硬化剤と、を含有する。
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【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子、この圧電素子を備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】圧電体層３０の凹部３２内に第２電極４０が形成される。これによれば、第２電極４０の側面４２０が圧電体層３０で覆われているため、第２電極４０の側面４２０付近の電界集中を緩和することができる。したがって、放電が発生しづらくなる。 （もっと読む）

【課題】良好に変位させることができ且つ圧電体層の破壊を抑制することができる圧電アクチュエーター及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】
圧電体層７０は、第１電極６０と第２電極８０との間に挟まれた能動部７０ａと、第１電極６０と第２電極８０との間に挟まれていない非能動部７０ｂと、を有し、非能動部７０ｂの少なくとも一部に、能動部７０ａよりも密度の小さいポーラス部７１が設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドのノズル状態の検出精度を向上させながらも、高速な記録を実現する記録装置を提供する。
【解決手段】不吐検出動作とヒータ抵抗値の測定動作の両方の結果に基づいて、不良ノズルの良否を判断する。また、ヒータ抵抗値の測定を、不吐検出動作の休止時間時に行うことで高速な検出が可能になる。更には、ヒータ抵抗値の測定後に不吐検出動作を実行することで、異常なノズルの駆動を防止しノズルに不要なダメージを与えることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用に対しても印字品質の劣化が少ない液滴吐出ヘッド用のノズルプレートを製造する。
【解決手段】表面にフッ素を含む撥水層２ｄを有する液滴吐出ヘッド用のノズルプレート３の製造方法において、少なくとも、加水分解性基を有するフッ素含有有機シラン化合物を真空蒸着する工程と、水分子と酸を含む材料ガスを蒸着雰囲気中に導入する工程と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位部分と非変位部分との境に応力が集中しやすく、故障の原因になっていた。
【解決手段】 複数のノズルに対応する所定の流路を形成した流路形成基板を、上記ノズルを形成したノズルプレートと、振動板とではさみ、同振動板における流路形成基板とは反対の面には各流路に対応して圧電素子を配設しており、同圧電素子に所定の駆動信号を与えると同圧電素子が変位し、流路形成基板の所定の流路に充填されている液体が各流路に対応するインク等の液体がノズルより吐出される。ここで、上記振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成するにあたり、上記圧電素子と隣接する金属製部材からなるおもり材を形成している。圧電素子の変位を繰り返すときに応力が集中しやすい部位が生じるが、おもり材を形成することで応力集中に耐えられるようになる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）