【課題】温度あるいは湿度サイクルによる記録素子基板の破損の可能性と、接合部からのインクの漏れの可能性を共に低減する。
【解決手段】凹部１１１の底面１１６は、インク供給口と連通するインク流路の開口１１４ａと、インク流路の開口の周囲を延びる主平面１２４と、主平面と凹部の側壁との間を電気接続部非形成側面１１８ｂに沿って延びる溝部１１６と、を含んでいる。記録素子基板は主平面上で、接着剤を介して支持部材に接合されている。電気接続部形成側面と凹部の側壁との間の空間は、電気接続部とともに封止材１０４によって封止されている。電気接続部非形成側面の少なくとも一部は封止材１０４で覆われずに露出しており、接着剤１１５の凹部の側壁に面する表面の少なくとも一部は封止材１０４によって封止されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体を構成する基板間の剥離を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッド
ユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２６が設けられたノズルプレート２７と、ノズル
開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板２１と、ノズルプレートと流路形成
基板との間に設けられ、圧力発生室とノズル開口に連通する連通路２３ａが設けられた連
通板２３と、圧力発生室に圧力を付与してノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段
とを含むヘッド本体、及び連通板と連通板の外周部で接合されてヘッド本体が固定される
固定部材（固定板）７０を備え、固定板には、ノズル開口が露出される露出部開口７１と
、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）

【課題】ノズルカバー部材に薄板を使用した際でも機能上耐えうる十分な剛性を確保出来る液体吐出ヘッドを提案する。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出ヘッド３４において、ノズル孔をノズル面１０３ａに形成するノズル板１０３と、液体吐出ヘッドのフレーム部材１１７にノズル板を結合するノズルカバー２００を備え、ノズルカバーはノズル板の周囲部のうち互いに対向する２側端と対向する一方の枠状端部２００ａと他の２側端と対向する他方の枠状端部２００ｂとを結合して枠状に形成され、枠状端部２００ａにはノズル板のノズル面の縁面を覆う屈曲片部ｐ２を形成し、他方の枠状端部にはノズル面１０３ａに平行な方向に沿って延伸しノズル面より退却して配置される側方縦板部ｐ５と、側方縦板部の全域に渡り並接され対向するフレーム部材に向け折り曲げられる直状屈曲部ｐ７とが形成される。 （もっと読む）

【課題】 Ｔａは耐キャビテーション層として広く使用されているが、近年はさらに耐久性に優れた耐キャビテーション層が必要となっている。
【解決手段】 配線層３に接続された発熱抵抗体２上に絶縁層４を形成し、その上に耐キャビテーション層を形成する。該耐キャビテーション層を下部保護層５、中間層６、上部保護層７によって形成することにより、耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体に設けられた被覆部材を保護し、駆動配線を回路基板に確実に接合させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
ノズル開口２６を有するノズルプレート２７を備えるヘッド本体２０と、ヘッド本体２０が固定されたケース部材６０とを備え、記録シートＳに対して第１方向Ｘに相対移動する記録ヘッド１０である。ヘッド本体２０には、その側面及びノズルプレート２７の周縁を被覆するカバーヘッド７０が設けられている。ケース部材７０の第１方向Ｘにおける端部６０ｂとヘッド本体２０との間に、ヘッド本体２０ごとに保護壁６５が設けられている。保護壁６５は、保護壁６５の第２方向Ｙの範囲Ｒ１がカバーヘッド７０の第２方向Ｙの範囲Ｒ２を含み、かつ第３方向Ｚにおいてノズルプレート２７よりもケース部材６０側に位置している。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションによる発熱素子の破壊を防ぐとともに、液滴を吐出する際のミストの発生を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１０１が、液体を吐出する吐出口１００と、液体を供給する液体供給口から吐出口１００へ液体を供給するための流路３００と、短辺と長辺の比が２．５以上の矩形で、その長手方向が流路３００の延在方向に沿って配置されている、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱素子４０１と、を備えている。吐出口１００から液体が吐出される方向から見て、発熱素子４０１の、流路３００内の液体の流れ方向における下流側の端部が、吐出口１００の下流側の端部と上流側の端部との間に位置している。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、長期間液漏れ等のない安定した流路構造体を提供する。
【解決手段】第１流路部(28)が形成された第１基板(20)に、第１密着層（22）を介してＡｕを含む第１貴金属層(26)が形成されており、第1貴金属層(26)上に筒状構造からなるＡｕ構造体（40）が接合されている。また、第２流路部(38)が形成された第２基板(30)に、第２密着層(32)を介してＡｕを含む第２貴金属層（36）が形成されており、第２貴金属層（36）とＡｕ構造体（40）が接合されている。この流路構造体(50)により、第１流路部（28）とＡｕ構造体（40）の中空部(42)と第２流路部（38）とがつながった流路が形成される。Ａｕ構造体(40)の組成はＡｕが９０％以上である。Ａｕ粒子を用いて成形後、加熱・加圧することでＡｕ構造体（40）を得ることができる。密着層（22,32）と貴金属層（26,36）の間に、Ａｕの拡散を抑止する拡散ブロック層（24,34）を設ける態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】駆動素子の放熱を効率よく行って、駆動素子の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動素子の耐久性を向上し、さらに液体の温度に対する影響を可及的に低減して液体噴射特性を向上させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】熱伝導部材３５を有する圧電素子ユニット１８と、該圧電素子ユニットが収容される収容部１９を有するケースヘッド２０と、前記圧電素子に接続されて当該圧電素子を駆動する駆動素子６０が実装されたフレキシブルプリント基板５０とを具備し、さらにペルチェ素子６１の吸熱面６１Ａを前記駆動素子に対向させるとともに、前記ペルチェ素子の発熱面６１Ｂの熱を端部が前記ケースヘッドの外部に臨んでいる放熱部材を介して放熱させるように前記ケースヘッドの前記収容部に配設した。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って圧電特性の低下を抑制することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０上にランタンニッケル酸化物を主成分とする金属酸化膜２００を形成する工程と、金属酸化膜２００上に圧電体層７０となる圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を７００℃以上、９００℃以下で加熱し結晶化させて圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電体能動部の端部における圧電体層の破壊を抑制できる圧電素子並びにそれを備える液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１電極６０と、第２電極８０と、第１電極６０と第２電極８０との間に設けられた圧電体層７０と、第１電極６０の圧電体層７０とは反対側に設けられた振動板５０と、を備え、圧電体層７０が、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた実質的に駆動部となる圧電体能動部３２０を具備し、振動板５０が、圧電体能動部３２０の端部において他の領域よりも厚さが厚くなっている構成とする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの変位の低下を抑制しつつ、アクチュエータを好適に保護できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド５は、上面２１ａに形成された凹部により加圧室３１が構成された基体２１と、加圧室３１を塞ぐように上面２１ａに重ねられ、加圧室３１側への撓み変形を生じるアクチュエータ２３と、アクチュエータ２３に重ねられた保護層４７とを有する。保護層４７は、平面透視において加圧室３１の縁部内側から縁部外側に跨る外周部５１を有するとともに、平面透視において加圧室３１の中央側の一部に重なる領域が開口４９とされている。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体を移動させることで内部の換気を行う。
【解決手段】インク噴射ヘッド５の移動に伴って、移動方向に対向する開口３５（もしく
は開口３７）から換気管３６（もしくは換気管３８）を通してヘッド本体２１の内部に外
気が導入されると共に、換気管３８（もしくは換気管３６）を通してヘッド本体２１の内
部の排気が行われ、ケース３１の内部の換気を行う。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、電気的特性に優れた電気機械変換膜の作製方法を提供する。
【解決手段】基板１上に形成された下部電極をＳＡＭ材料２により所定のパターンに表面改質する工程と、前記下部電極上の表面改質を行わない領域に、インクジェット方式５によりゾルゲル液６を塗布する工程と、前記基板１の両面から赤外線を照射して前記ゾルゲル液６を熱処理する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】耐圧が高く且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスセリウムとチタン酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｃｅと、Ｃｅ及びＢｉの総量とのモル比であるＣｅ／（Ｃｅ＋Ｂｉ）が、０．０３以上０．１０以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ₂被膜とフッ素系撥水被膜との密着性を高めて耐ワイピング性能を向上できるノズルプレート、このノズルプレートを有する液滴吐出ヘッド、及び、この液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル板４３は、ノズルプレート１２１と、被膜積層体１２５と、を有している。この被膜積層体１２５は、ＳｉＯ₂薄膜層１２２とフッ素系撥水層１２３とを順次重ねて形成されており、さらに、当該被膜積層体１２５に内包されるとともにＳｉＯ₂薄膜層１２２とフッ素系撥水層１２３とにまたがるように配置された多数のＳｉＯ₂粒子１２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含む金属錯体混合物と、シリコーンオイルと、溶媒と、を含み、金属錯体混合物と溶媒との総量１００容量部に対してシリコーンオイルを５容量部以下含む。所定量のシリコーンオイルを含むことにより、圧電セラミックス膜を形成する際の焼成工程における熱膨張が抑制されて、圧電セラミックス膜の残留応力を低減させることができる。これにより、クラックの発生が抑制されたニオブ酸カリウムナトリウム系の圧電材料からなる圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、ビスマス及び鉄を含む金属錯体混合物と、ポリエチレングリコールと、ターピネオールと、溶媒と、を含む。ポリエチレングリコールと、沸点の高いターピネオールとを含むことにより、鉄酸ビスマス系の圧電材料からなりクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。また、圧電特性の良好な圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】保護膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体層７０上方に第２電極８０を形成する工程と、塩素を含有するガスを第２電極に接触させて、第２電極の上面に凸部８３を形成する工程と、第２電極の上面の前記凸部が形成された面に保護膜１００を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）