【課題】信頼性の向上が十分に得られる圧電体素子などを提供する。
【解決手段】基板２３０と、基板２３０の上に形成された下部電極層２４２と、この下部電極層２４２の上に形成された圧電体層２４３と、この圧電体層２４３の上に形成された上部電極層２４４とを備えた圧電体素子２４０であって、下部電極層２４２が化学式ＡＢＯ3で示され、ＡサイトとＢサイトの比率（Ａ／Ｂ）が１.１以上でなる導電性酸化物からなり、圧電体層２４３がＣＳＤ法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性および機械的強度が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は、少なくともチタン酸バリウム粒子を有する酸化物粉末とバインダーを有する成形体を成形する工程と前記成形体を焼結する工程と前記焼結する工程の後に降温する工程とを含む圧電セラミックスの製造方法であって、前記焼結する工程が前記成形体の収縮過程の温度である第一の温度まで昇温し保持する工程（Ａ）と、工程（Ａ）の後に前記成形体の液相焼結過程の温度である第二の温度まで昇温する工程（Ｂ）と、工程（Ｂ）の後に前記成形体の収縮過程の温度である第三の温度まで降温する工程（Ｃ）と工程（Ｃ）の後に前記第三の温度で保持する工程（Ｄ）を少なくとも有することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】エッジ部に欠損が生じても、侵食による空洞部の発生が抑制されたシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通するノズル孔２１と、ノズル孔２１の内壁面１４を覆うシリコン基板４４の表面を加熱して形成された熱酸化シリコンからなる第１の液滴保護膜４１と、内壁面１４における第１の液滴保護膜４１上及び液滴を吐出する側の面である吐出面１５に形成された第２の液滴保護膜４２と、を備えるシリコンノズル基板１であって、第１の液滴保護膜４１の膜厚は、内壁面１４おける第２の液滴保護膜４２の膜厚の１倍以上であることを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】静電気が基板に到達して起こる基板へのダメージを防止することができる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子３を有する基板１と、前記液体を吐出する吐出口１０及び吐出口に連通する液体流路１１を構成する流路形成部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材に配置された導電膜１２と、導電膜と電気的に接続された抵抗体と、を備える液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの熱処理でも安定して膜の積層が可能で、製造工程を短縮できる電気−機械変換膜の作製方法と、電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第1の電極と、電気-機械変換膜８３と、第2の電極とを順次設けて成る電気-機械変換素子を基板又は下地膜上に備えた液体吐出ヘッド構成体の、電気-機械変換膜８３を、少なくとも酸化チタン等の光触媒機能を有する化合物から成る表面改質膜８０を形成する工程と、表面改質膜８０に選択的に光を照射して光照射部位の親水性を高め、光照射部位と光未照射部位との水に対する接触角の差を60°を超えるように制御する工程により親水性とされた部位８１に直接、もしくは親水性部位８１に第1の電極を設けこれを介してインクジェット法によりパターン化して設ける電気−機械変換素子。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の繰り返し印加に対して特性劣化の小さな圧電アクチュエータ、該圧電アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板３０、振動層膜４０、圧電体膜６０、二つの電極膜５０、７０を有する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体膜に接触して、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるバリア層１０、１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー発生素子の耐キャビテーション層として金属材料からなる金属層を備えた液体吐出ヘッドにおいて、キャビテーション等の影響により絶縁層にピンホールが生じると、金属層がインクに対して陽電位となり溶出してしまう可能性があった。
【解決手段】 キャビテーション等の影響により絶縁層にピンホールが生じたとしても、金属層にかかる電位がインクの電位より陰電位となるようにエネルギー発生素子を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装
置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と圧電体層７０に設
けられた電極６０と、電極８０と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０
は、Ａサイトに、カリウム、ナトリウム、及びビスマスを含み、Ｂサイトにニオブ、鉄、
及びクロムを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上に設けられた第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、（１００）配向のペロブスカイト構造を有し、前記第２電極８０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅が、前記第１電極６０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生や成長が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、Ｃｏと、Ｃｏ及びＦｅの総量とのモル比であるＣｏ／（Ｃｏ＋Ｆｅ）が、０．０２以上０．０７以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】個別液室基板の反りが小さい液滴吐出ヘッド、前記液滴吐出ヘッドを有するインクカートリッジ、前記インクカートリッジを有する画像形成装置、並びに前記液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 複数のノズル孔を有し、前記ノズル孔に連通する複数の圧力室の床面の一面となるノズル板と、
前記圧力室の壁面と、該各圧力室のノズル板に対向する側の床面を形成する振動板と、該振動板を介して設けられた圧電素子と、を有する個別液室基板と、
前記圧電素子を駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣと、
前記圧力室に液滴を供給する供給口及び共通液室とが設けられた共通液室基板と、
を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記個別液室基板は、前記ノズル板の接合面側の表面近傍の領域に、前記圧力室の幅方向両側の壁面間に亘って少なくとも一つの梁部を備え、前記梁部と前記壁面とは同じ材料でかつ連続した構造である液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】記録品位に影響のない信頼性の高い記録動作が行える液体吐出ヘッドにおいて、記録動作が完了するまでの時間を短縮できる液体吐出ヘッドの制御方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を備えた基体と、複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁性材料からなる絶縁層と、絶縁層の上に設けられた金属材料からなる保護層と、複数のエネルギー発生素子の其々に対応して設けれ、液体を吐出するための複数の吐出口と、を備えた液体吐出ヘッドの制御方法において、複数の吐出口から液体が吐出されているかを確認する工程を設け、吐出口から液体が吐出していないと確認されたときに、複数のエネルギー発生素子を駆動するために必要なエネルギー量を決定する。 （もっと読む）

【課題】安定したインク吐出特性を得ることが可能な電気機械変換素子、液体噴射ヘッド、及び、電気機械変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０１または下地膜上に所望のパターンに形成された導電性酸化物層を含む第１の電極３０３と、第１の電極３０３上に所望のパターンに形成された金属からなる第２の電極３０４と、第１の電極３０３上において、第２の電極３０４の形成領域以外の領域に所望のパターンに形成された電気機械変換膜３０５と、電気機械変換膜３０５上に所望のパターンに形成された導電性酸化物層を含む第３の電極３０６とを有し、第２の電極３０４が白金族金属以外の遷移金属からなる金属または、白金族金属以外の遷移金属と白金族金属との合金である電気機械変換素子。 （もっと読む）

【課題】 線膨張形成数の違いから発生した反りによる応力に基づいたヘッド本体を構成
する積層基板の剥離を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装
置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレー
トと、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、圧力発生室に圧力
を付与し、ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを含むヘッド本体２０と、ヘ
ッド本体が固定される固定板７０と、を含み、固定板には、ノズル開口が露出される露出
部開口７１と、露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔７２、７３とが設
けられている。液体噴射ヘッドユニット１及び液体噴射装置Ｉは、これを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電変位の低下を防き、圧電変形時の応力集中に伴うクラックが圧電薄膜に発生することを抑制できるとともに、優れた圧電性を有する圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュール１０の構造は、延伸エリアＥＡにバッファ層ＬＢを設けることで、上電極層ＬＵと下電極層ＬＬとの電気的絶縁を実現するだけでなく、窓空間ＷＳ１内の駆動エリアＭＶ内にのみ圧電薄膜ＬＰを局在させることが可能となる。これにより、圧電変位の低下を防ぐことができるとともに、圧電変形時の応力集中に伴うクラックが圧電薄膜ＬＰに発生することを抑制できる。また、バッファ層ＬＢの絶縁材料は、バッファ層ＬＢ上に形成された圧電薄膜ＬＰを形成する圧電材料と同種の結晶構造を有することで、密着性を高めるとともに、圧電性の低下を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的の一つは、複数の部材が積層された支持部材において、フィルタと支持部材との接合強度を高め、簡便な構成で、液体中の混入物が吐出素子基板へ浸入することを抑制した液体吐出ヘッドを得ることである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出口素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記支持部材は、前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも１つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体が焼成されて形成されている液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の欠損を防止して、レーザパターニング処理の際に、レーザビームが照射されない領域に、前記側壁の両面に形成される電極部間に跨って金属膜が残ることのない技術を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのアクチュエータ列を短手方向で見て、圧力室の側壁をなす台形部と、前記台形部の側面から側方に向けて張り出す平坦部Ｓ１とからなる凸形状に形成した圧電部材により構成し、前記平坦部が基板１に形成された凹部１１に嵌合した構成とした。 （もっと読む）

【課題】インク保護膜が剥離しにくく、接着不良を起こしにくいシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通させて形成したノズル孔２１を有し、吐出面１５側からノズル孔２１を介してインクの液滴を吐出するシリコンノズル基板１であって、吐出面１５は平面視でノズル孔２１を含み表面に撥水膜４３が形成されている撥水領域１１と撥水領域１１を囲む環状の領域である非撥水領域１２とに区画されており、撥水領域１１には撥水膜４３とシリコン基板４４との間にインク保護膜４１が形成されており、非撥水領域１２にはインク保護膜４１が薄く形成されているか又は全く形成されておらず、シリコン基板４４の端面１３にはインク保護膜４１が全く形成されていないことを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】 フレキシブル配線基板の屈曲部の張り出しや接着部の浮き上がりの恐れを低減でき、フレキシブル配線基板の、インクジェット記録装置内部の部品や記録用紙との接触による損傷の恐れを低減する。
【解決手段】 フレキシブル配線基板１４は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する液体吐出ヘッド１に用いられ、樹脂からなる基材４０１と、該基材４０１に積層され、エネルギー発生素子に電気的に接続される電気配線４０４ａと、を有し、屈曲された屈曲部１４ｂを備えている。屈曲部１４ｂの稜線１４ｃを跨いで電気配線４００４ａが配されており、フレキシブル配線基板１４は、基材４０１のうちの、電気配線４０４ａが配されていない領域に、稜線１４ｃを跨いで配された、エネルギー発生素子に電気的に接続されない金属層４０４ｂを有する。 （もっと読む）