【課題】 絶縁性と圧電性が良好で、鉛とカリウムを含まない圧電材料、前記圧電材料を用いた圧電素子または積層圧電素子を提供する。
【解決手段】 下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなる圧電材料。
一般式（１）
（１−ｘ）｛（Ｎａ_ｙＢａ_１−ｚ）（Ｎｂ_ｚＴｉ_１−ｚ）Ｏ_３｝−ｘＢｉＦｅＯ_３（式中、ｘ、ｙ、ｚは、０＜ｘ≦０．０１５、０．８０≦ｙ≦０．９５、０．８５≦ｚ≦０．９５を表す。）上記の圧電材料と、前記圧電材料に接して設けられた一対の電極とを少なくとも有する圧電素子。上記の圧電材料からなる圧電材料層と、内部電極を含む電極とが交互に積層された積層圧電素子。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ耐電圧性が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】 第１電極６０、圧電体層７０、及び第２電極８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、Ｘ線光電子分光測定においてＣ １ｓに起因するピークのＣ−Ｃ、Ｃ−Ｈ状態の結合エネルギーを２８４．８ｅＶとして規格化し、結合エネルギー７７５ｅＶ以上７８５ｅＶ以下の範囲において得られたピークを、ガウス関数を用いてピーク分離したとき、７７９．０±０．８ｅＶにピークを有すると共に、前記ピークよりも強度の低いピークを高結合エネルギー側に１本以上有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ変位特性の高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】第１電極６０、圧電体層７０、及び第２電極８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、Ｘ線光電子分光測定においてＣ １ｓに起因するピークのＣ−Ｃ、Ｃ−Ｈ状態の結合エネルギーを２８４．８ｅＶとして規格化し、結合エネルギー７７５ｅＶ以上７８５ｅＶ以下の範囲において得られたピークを、ガウス関数を用いてピーク分離したとき、７８０．５±０．８ｅＶにピークを有すると共に、前記ピークよりも強度の低いピークを低結合エネルギー側に１本以上有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層及び該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸ビスマス、チタン酸バリウム、及び亜鉛酸チタン酸ビスマスを含む複合酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】圧電定数を向上させた圧電素子、前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】一対の電極４０１，４０２と、一対の電極４０１，４０２に接して設けられた圧電材料４０３を少なくとも有する圧電素子４１０であって、圧電材料４０３はチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒４０４、４０９の集合体４０５からなり、集合体４０５の結晶粒の中の少なくとも電極４０１と接している結晶粒４０４が、粒内に転位層４０７を有する。 （もっと読む）

【課題】 電解メッキによって圧電部材に電極を形成する。
【解決手段】 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記無鉛圧電部材に第１導電パターンを形成し、前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第１導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、電解メッキによって前記第１導電パターン上に第２導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出するために利用されるエネルギとして熱エネルギを利用するインクジェットヘッドにおいて、インクに接触する熱作用部上に蓄積されるコゲを確実かつ均一に除去できるようにする。
【解決手段】インクジェットヘッドは、電気熱変換素子１０８とインク流路内のインクとの接触を遮断する絶縁性の保護層１０６と、保護層の電気熱変換素子によって加熱される部分を覆うように形成された複数の上部保護層１０７とを含む。上部保護層はイリジウムまたはルテニウムを含む材料によって形成されている。上部保護層は、タンタルまたはニオブを含む材料で形成された導電層１０９を介して保護層の上に配置され、外部から導電層を介してアノード電極となる電圧が印加される。これにより、上部保護層の表面層が電気化学反応によって溶出し、熱作用部上のコゲが均一かつ確実に除去される。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性および機械的強度が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 チタン酸バリウムおよび該チタン酸バリウムに対して０．０４質量％以上０．２０質量％以下のマンガンを含有する圧電セラミックスであって、前記圧電セラミックスを構成する結晶粒は円相当径が３０μｍ以上３００μｍ以下の結晶粒Ａと、円相当径が０．５μｍ以上３μｍ以下の結晶粒Ｂを含有し、前記結晶粒Ａおよび前記結晶粒Ｂは各々が凝集して凝集体を形成し、かつ前記結晶粒Ａの凝集体と、前記結晶粒Ｂの凝集体が海島構造を形成している圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、リーク電流が低減された圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力室と、セラミックスおよび前記セラミックスに設けられた電極を有する圧電素子と、を備えた液滴噴射ヘッドであって、前記セラミックスは、鉄酸ビスマスと、チタン酸ビスマスカリウムと、マンガン酸ビスマスと、を含む固溶体からなる。 （もっと読む）

【課題】優れた熱曲げアクチュエータなどを提供する。
【解決手段】熱曲げアクチュエータは、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、を含む。アクティブビームに電流が流れると、アクティブビームはパッシブビームに対して膨張し、その結果、アクチュエータの曲げが生じる。パッシブビームは、窒化シリコンから成る第１層と、二酸化シリコンから成る第２層と、を含む。第２層は、第１層とアクティブビームとの間に狭持され、第１層のための断熱をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 駆動耐久性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】 第１電極６０上であって、圧電素子３００の幅方向における圧電体層７０の両端部に対応する領域には、第１電極６０を形成する膜よりも硬い材料からなる補強部６５が設けられ、補強部６５は、圧電素子３００の幅方向内側に向かって厚さが漸小する。 （もっと読む）

【課題】結晶性の良好な誘電体膜を有し、良好なヒステリシス特性を有することができるキャパシタを提供する。
【解決手段】本発明に係るキャパシタ１００は，下部電極４と、下部電極４の上方に形成され、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛からなる第１誘電体膜１１と、第１誘電体膜１１の上方に形成され、チタン酸ジルコン酸鉛、または、前記第１誘電体膜を構成するニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛よりもＮｂ組成が小さいニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛からなる第２誘電体膜１３と、第２誘電体膜１３の上方に形成された上部電極６と，を含む。 （もっと読む）

【課題】 基板サイズ増大を抑えながら、配線サブヒータの耐久性を向上させる。
【解決手段】 第１の導電層と、絶縁層と、一対の第２の導電層とを有する液体吐出ヘッド用基板は、絶縁層を貫通して第１の導電層と第２の導電層が電気的に接続する、第１の接続部と、第１の接続部より接触面積が小さい第２の接続部とを有しており、第２の導電層は、第２の導電層の他方より第２の導電層の一方を高電位とするように、電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）

【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、下電極６０と、下電極６０上に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０の下電極６０とは反対側に形成された上電極８０と、を備え、圧力発生室１２に圧力を発生させてノズル開口から液滴を吐出する圧電素子３００と、を具備し、下電極６０は、ランタンニッケル酸化物を含む第一電極層６１と、第一電極層６１の圧電体層７０側に形成され、ペロブスカイト型構造を有する遷移金属酸化物を含む第二電極層６２と、を有し、第二電極層６２の面内の格子定数は、第一電極層６１の面内の格子定数よりも大きく、且つ圧電体層７０の面内の格子定数よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の厚さを均一に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数の流路形成基板用ウエハー１１０に順番に圧電体前駆体膜となる塗布溶液７３をスピンコート法により塗布する際に、圧電体前駆体膜の各層となる塗布溶液７３の塗布を開始する流路形成基板用ウエハー１１０の順番を所定枚数ずらして行う。 （もっと読む）

【課題】圧電体を用いない新規なアクチュエータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１００は、変形可能な基板１０と、前記基板１０の上方に設けられ、開口部２２を有する磁石体２０と、前記基板１０の上方に設けられ、かつ、前記磁石体２０を取り囲むように配置されたコイル３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータとして駆動耐久特性を確保しつつ、酸化物系の対向電極などに水素化アモルファスカーボン（ａ−Ｃ：Ｈ）膜を形成することができる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板２０と、振動板２０にギャップＧを隔てて対向する対向電極３０とを備え、振動板２０の対向電極３０との対向面に絶縁膜２１が形成された静電アクチュエータであって、振動板２０の絶縁膜２１と対向電極３０とのいずれか一方の面上に、保護膜１０１が形成されるとともに、保護膜１０１の上に水素化アモルファスカーボン膜（ａ−Ｃ：Ｈ膜）１００が形成され、保護膜１０１が酸素原子を含まない誘電体の保護膜である。 （もっと読む）

【課題】有用なインクジェットプリントヘッド、プリンタシステム、および泡形成液体の液滴を射出する方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、泡形成液体が収容される複数のチャンバと、上記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、上記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが上記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、を備え、各ヒーター素子が上記泡形成液体と熱接触するように設けられ、各ヒーター素子が、上記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する上記ノズルを通して上記泡形成液体の液滴を射出させるため、上記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、各チャンバ内の圧力は、約１気圧である。 （もっと読む）