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Fターム[2C057AG44]の内容

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【課題】初期撓みを抑制しつつ圧電素子の駆動による振動板の変位量を向上させることが困難であった。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、第1電極、一方側において第1電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側に形成された第2電極を有し、前記圧力発生室に対応して形成され圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子間に形成された中間セグメントと、引張応力を有する所定の素材で形成され、前記圧電素子と中間セグメントとの間を接続する接続膜とを備える構成とした。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70に電界を印加する電極60,80と、を具備する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドIであって、圧電体層70は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層70が単斜晶から菱面晶へ変化する。 (もっと読む)


【課題】駆動電極がフレキシブル印刷回路と正確かつ堅固に連結されて駆動電極が扁平に具備されるようにする圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】駆動電圧を提供する上部及び下部電極127、123と、上部及び下部電極127、123の間に圧電体液が固化されて形成され、インクジェットヘッド100に具備される複数の圧力チャンバ114内のインクにそれぞれ駆動力を提供する圧電体125と、を含み、圧電体125は、複数の圧力チャンバ114それぞれの上部に個別に具備される分枝部と分枝部の一端で複数の分枝部とそれぞれ連結されながら一体に具備される大面積部とを含む圧電アクチュエータ120を含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層70と圧電体層70に設けられた電極60,80とを具備する圧電素子300を備え、圧電体層70は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層70に駆動電圧Vを印加したときの変位量をZmax、その後印加電圧を0Vにしたときの変位量をZとしたとき、(Zmax−Z)/Vが70pm/V以上且つ比誘電率が700以下である。 (もっと読む)


【課題】 絶縁性と圧電性が良好で、鉛とカリウムを含まない圧電材料、前記圧電材料を用いた圧電素子または積層圧電素子を提供する。
【解決手段】 下記一般式(1)で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなる圧電材料。
一般式(1)
(1−x){(NaBa1−z)(NbTi1−z)O}−xBiFeO(式中、x、y、zは、0<x≦0.015、0.80≦y≦0.95、0.85≦z≦0.95を表す。)上記の圧電材料と、前記圧電材料に接して設けられた一対の電極とを少なくとも有する圧電素子。上記の圧電材料からなる圧電材料層と、内部電極を含む電極とが交互に積層された積層圧電素子。 (もっと読む)


【課題】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む圧電体層を備える圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電体層は、少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むぺロブスカイト型酸化物を有する第1の層と、前記第1の層上に形成され、少なくとも鉛、ジルコニウム、及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を有する第2の層と、を備える。 (もっと読む)


【課題】単結晶基板上において、圧電薄膜を良好な単結晶の状態で確実にエピタキシャル成長させて成膜し、圧電特性を確実に向上させる圧電素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子10は、以下の工程によって製造される。単結晶基板1を、振動する振動部1Aと、振動部1Aと連結されて振動が生じない非振動部1Bとに分けたときに、単結晶基板1上で、非振動部1B上を含む領域であって、振動部1A上の圧電薄膜3の成膜領域を除く領域に、圧電薄膜3の単結晶での成長を阻害する阻害膜2を成膜する。次に、上記成膜領域となる振動部1A上の少なくとも一部に、圧電薄膜3を単結晶でエピタキシャル成長させて成膜するとともに、阻害膜2上に、圧電薄膜3を非晶質または多結晶で成膜する。その後、阻害膜2上に成膜された圧電薄膜3を除去する。 (もっと読む)


【課題】ノズル開口の高密度化を図ることができると共に、小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口21Aを有する第1ノズル列と、ノズル開口21Bを有する第2ノズル列とが設けられたノズルプレート20と、ノズル開口21Aに第1の面側4Aで連通し、第2の面5A側に開口する個別流路が設けられた第1流路形成基板10A、振動板50、及び第1圧力発生手段300を具備する第1アクチュエーター部材2Aと、第1アクチュエーター部材2Aの第2の面5A側に設けられて、ノズル開口21Bに第1の面4B側で連通し、第2の面5B側に開口する凹形状を有する個別流路及び個別流路とノズル開口21Bとを連通するノズル連通孔が設けられた第2流路形成基板10B、振動板50、及び第2圧力発生手段300を具備する第2アクチュエーター部材2Bと、を具備する。 (もっと読む)


【課題】インク吐出における残留振動の抑制と糸引きの防止と、を同時に達成することができるインクジェットヘッドの駆動波形およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するために吐出ノズル22に連なる圧電素子33に印加される第1駆動パルスP1と、吐出されたインクの糸引きを切るために圧電素子33に印加される第2駆動パルスP2とを有するインクジェットヘッド11の駆動波形Pであって、第1駆動パルスP1の立下り終了点と、第2駆動パルスP2の立上り開始点との間の待ち時間T7を、0.5μsから0.8μsとしている。 (もっと読む)


【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層14、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板10を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子20A、20B、20Cと上部電極40とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極14が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 (もっと読む)


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