【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧Ｖ_ａを印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０としたとき、（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）／Ｖ_ａが７０ｐｍ／Ｖ以上且つ比誘電率が７００以下である。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、且つ、リーク電流の発生を抑制することができ、歪量が大きく、緻密で、さらに低温で焼成できるチタン酸バリウム系の圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と該圧電体層７０を挟む電極６０、８０と前記圧電体層７０の少なくとも一方側の面に設けられたバッファー層６５とを備えた圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン、チタンに対して３モル％以下の銅、チタンに対して２モル％以上５モル％以下のリチウム及びチタンに対して２モル％以上５モル％以下のホウ素を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、前記バッファー層は、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】弾性膜の変位量の向上を図ったインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、ノズル開口部に連通する圧力発生室の一部を構成する弾性膜と、端部が弾性膜に接続され、中央部は弾性膜と空隙を介して対向し、下部電極、圧電膜、上部電極が積層された圧電膜積層部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着層１５、２５、３５が、ポリシルセスキオキサンで構成される主骨格と、該主骨格同士を連結する連結部とを有するポリシルセスキオキサン誘導体を主材料として構成され、前記連結部は、その主鎖を構成する炭素の数が４以上、１０以下のメチレン鎖を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】エッチングのばらつきによらず安定して基板を切断することができるシリコンウェハーのブレイクパターン、シリコンウェハー、および、シリコン基板を提供する。
【解決手段】表面を（１１０）面３９としたシリコンウェハー３８に、（１１０）面３９に直交する第１の（１１１）面４２の面方向に切断予定線を設定し、該切断予定線上に貫通孔４０を複数列設し、貫通孔４０は、第１の（１１１）面４２と、第１の（１１１）面４２と交差する第２の（１１１）面４３と、第２の（１１１）面４３と第１の（１１１）面４２とに交差する第３の（１１１）面４４と、を有し、第２の（１１１）面４３と第３の（１１１）面４４の端縁との交差点を、隣り合う貫通孔４０に最も近接する点とし、第１の（１１１）面４２に直交する方向における交差点の位置を、隣り合う貫通孔４０の当該交差点に近接する側の相対する第１の（１１１）面４２の間に設定した。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の駆動時に当該圧電振動子が島部から受ける反力を低減し、圧電振動子の変形を防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部は、圧力室の開口部を封止する弾性膜部と、該弾性膜部上に設けられ、圧電振動子の先端部が接合される島部３５と、を有し、島部の長手方向の中央部４１の幅は、該島部の長手方向両端部４０の幅よりも狭く設定され、島部の中央部の長手方向の寸法は、圧電振動子の同方向の寸法よりも短い。 （もっと読む）

【課題】キャリッジの走査によりキャリッジに生じる振動によって噴射速度、液滴の着弾位置などの噴射特性が低下することを抑制し、好適な噴射特性をもつ液体噴射装置および液体噴射装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】記録ヘッド２を備えるプリンター１は、キャビティ内のインクに生じる圧力変動を逆起電力として検出する圧電素子を有する圧電装置１００と、記録ヘッド２および圧電装置１００を搭載したキャリッジ３を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構４と、記録ヘッド２による噴射動作を制御するプリントコントローラー１１０を備えている。プリントコントローラー１１０は、キャリッジ３を移動させることによって圧電装置１００の圧電素子に発生する逆起電力の変化に応じて、記録ヘッド２の圧電振動子に印加する噴射パルスを変更する。 （もっと読む）

【課題】振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板を備える信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動板３０と、圧電素子（振動手段）５０とを有し、振動板３０は、圧電素子５０の変位面が固定される島状をなす島部３１と、この島部３１の外周部に位置する、島部３１よりも厚さの薄い薄膜部３３とを有しており、これら島部３１と薄膜部３３とが同一の構成材料により一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】下部電極にバイアス電圧を印加しても加圧液室内の導電性の液体に電圧は印加されず液体の吐出性能を維持できる。
【解決手段】加圧液室１２内を昇圧する振動板３０は、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜、ポリシリコン、シリコン酸化膜、ｐドープしたポリシリコン、シリコン酸化膜の順に成膜することで形成されている。振動板３０におけるｐドープしたポリシリコンは接地（ＧＮＤ）されている。液滴吐出ヘッドにおける下部電極５１と加圧液室１２との間に、ｐドープしたポリシリコンに相当し接地されている導電層３１を設けている。このため、下部電極５１にバイアス電圧を印加して駆動する方法を用いた場合下部電極５１と導電層３１との間に電界が生じ、下部電極と加圧液室との間には電界は生じない。 （もっと読む）

【課題】振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板、かかる液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造可能な液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、および信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持部４０で構成される振動板３５と、圧電素子５０とを有し、支持部４０が光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする。また、支持部４０は、未硬化の光硬化性樹脂を振動フィルム３０の一方の面上に塗布して塗布膜を得た後、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させて得られたものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】製造コストを上げることなく微細な構造を有するフィルタを部品の製造工程において構成し、ノズル径を微細化した場合でも異物による目詰まりの発生を防止することができ、且つ、クラック等の発生を防ぐ十分な強度を有するインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】インクを吐出するノズルが複数形成されたノズル板と、前記ノズル板に接合し、前記ノズルに通じる個別液室と、個別流路を介して前記個別液室と連結する液供給室と、が前記ノズルごとに形成された流路基板と、前記流路基板の前記ノズル板とは反対側に積層され、前記個別液室に対応する位置に下部電極、圧電体及び上部電極を含む圧電素子が形成された振動板と、を有するインクジェットヘッドであって、前記ノズルごとに形成された液供給室が、一の液供給室と他の液供給室とが隔壁により区画されると共に、前記各液供給室がそれぞれ複数のインク供給口を有するインクジェットヘッドにより解決する。 （もっと読む）