【課題】コストを低減して外部配線と容易に接続することができる圧電素子ユニット、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１７と、該圧電素子１７の第１の面３４ａと接合された一端面３５ａを有する第１の基板３５と、を具備し、前記圧電素子１７は、前記第１の面３４ａとは反対側の第２の基板１２側の面となる第２の面３４ｃと、前記第１の面３４ａ及び第２の面３４ｃとは直交し、外部配線５０との接続部となる個別外部電極４３が形成された第３の面３４ｂと、前記圧電素子１７の外部表面に設けられた共通外部電極４４と、前記第１の面３４ａと前記第３の面３４ｂとの境界に設けられて、当該第１の面３４ａ及び第３の面３４ｂに対して斜めに形成された傾斜面と、を有し、該傾斜面が、個別外部電極４３と共通外部電極４４とを分断する境界部４０となっている。 （もっと読む）

【課題】小形化及び部品点数の削減を実現し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】第１及び第２の圧力発生室の容積をそれぞれ変化させる第１及び第２の圧電素子１６Ａ，１６Ｂと、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの前記第１及び第２の圧力発生室とは反対側に配設されて圧電素子１６Ａ，１６Ｂの一部が接合されている共通の固定部材３３と、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動する駆動信号が外部から供給される入力端子と圧電素子１６Ａ，１６Ｂに前記駆動信号を供給する出力端子とが形成された可撓性を有する信号線フィルム３５とを備え、信号線フィルム３５は、固定部材３３の一方の側面で前記入力端子と圧電素子１６Ａに前記駆動信号を供給する出力端子を有する第１の配線部３５Ａと、この第１の配線部３５Ａから固定部材３３の他方の側面に回り込んで第２の圧電素子１６Ｂに前記駆動信号を供給する出力端子を有する第２の配線部３５Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの基板において圧力室や流路などを高密度に配置でき、それによってリフィル周波数の向上を可能とする。
【解決手段】供給口２４の右側に配置されるヒータ９に対する電源‐ヒータ配線１０ａおよびヒータ‐駆動回路配線１０ｂは、個々の供給口を隔てるはり部２０を利用して這いまわしすることができる。これとともに、流路および圧力室にインクを供給するための複数の供給口を設け、これら複数の供給口をはり部によって隔てるようにすることにより、それぞれの供給口の両側に吐出口など吐出に係る構造を配置でき、上記吐出に係る構造を比較的高い密度で配置した場合でも、その配置による制約を受けずにそれぞれのヒータなどを必要で充分なサイズおよび配置とすることができる。また、ヒータと電源配線や駆動回路とを連結する配線も供給口の隔壁となるはり部に這いまわしをすることから、上記複数の供給口の配置を効率的に利用した配線が可能となる。 （もっと読む）

【課題】消費電力を増加することなく、絶縁膜の帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のそれぞれに絶縁膜１９を、絶縁膜１９の表面のそれぞれに絶縁膜２０を、形成し、各絶縁膜２０の互いの当接部以外の部分に導電性の導線部２１を接続した。 （もっと読む）

【課題】クロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッド及び該ヘッドに適した配線構造を提供すると共に、配線構造の製造コストを下げる。
【解決手段】配線板２０の中央部２１には第１及び第２ドライバ２３、７３が実装され、中央部２１には各ドライバ２３，７３に対応する配線が設けられた第１及び第２延在部２２，７２が接合される。第１延在部２２にはドライバ２３に対応する電源線２５及びグランド線２６、圧電アクチュエータ３側に導通される第１及び第２定電位配線２７，２８、第１及び第２短絡線２９，３０が設けられ、第２延在部７２には、ドライバ７３に対応する電源線７５及びグランド線７６のみが設けられる。更に、第２ドライバ７３に接続された個別配線７４を第１ドライバ２３に接続された個別配線２４よりも多くしている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化に伴う出力配線数の増大に容易に対応することができるとともに、フラットケーブルを引き回す際の作業性を高めることができ、さらに、製造コストを十分に低減することができる、ドライバＩＣの配線構造および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１ドライバＩＣ１００Ａおよび第２ドライバＩＣ１００Ｂは、アクチュエータユニット４８の表面電極が設けられた領域Ｔを挟むようにして配置されており、同じ「共通入力信号」が入力される第１共通入力信号端子１２０ｃと第２共通入力信号端子１３２ｃとが第１ドライバＩＣ１００Ａおよび第２ドライバＩＣ１００Ｂのそれぞれの外部に配設された共通化配線１１４を含む電気径路を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出させるためのエネルギを発生する素子の駆動信号を伝送するために電気配線部材から延在する複数の接続端子に接続される複数の電極端子と、接続端子が電極端子に接続される接続部までの、前記接続端子の延在部分を前記記録素子基板に対して絶縁するための絶縁部とを具え、接続部が、複数の接続端子間の毛細管力により広がる封止剤により封止されてなるインクジェット記録ヘッドにおいて、絶縁部による封止剤の堰き止めに起因した封止剤の不存在領域が生じないようにする。
【解決手段】複数の接続端子Ｈ１３０４のそれぞれに接する分離した複数の凸状部１１１によって絶縁部１１０を構成し、凸状部間には封止剤Ｈ１３０７の通過を許容するための溝１１２が形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】低電圧化を可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた振動板側電極８に密接して設けられて圧電変位して振動板Ａを変位変形させる圧電素子Ｂと、を備え、圧電素子Ｂは、圧電素子側電極１２及び振動板側電極間８に複数の圧電膜９、１１と、各圧電膜と交互に積層された隣り合う複数の層からなる中間電極１０と、を備え、各圧電膜は、中間電極１０を構成する各層と、振動板側電極８又は圧電素子側電極１２との間に電位を印加されることで変位するようにした。 （もっと読む）

【課題】 基板サイズ増大を抑えながら、配線サブヒータの耐久性を向上させる。
【解決手段】 第１の導電層と、絶縁層と、一対の第２の導電層とを有する液体吐出ヘッド用基板は、絶縁層を貫通して第１の導電層と第２の導電層が電気的に接続する、第１の接続部と、第１の接続部より接触面積が小さい第２の接続部とを有しており、第２の導電層は、第２の導電層の他方より第２の導電層の一方を高電位とするように、電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】誘電率を精度よく測定する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、圧電層１２ａ，１２ｂそれぞれの表面に設けられている第１および第２の駆動電極パターン４１，４２、定電位電極パターン４３を備える。定電位電極パターン４３は、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、駆動電極パターン４１，４２の測定電極部４１ａ，４２ａに対し、間隔を存在させて平行に延びる測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃを有する。測定電極部４１ａと測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃとの間隔ｈ１と、測定電極部４２ａと測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃとの間隔ｈ２は大きさが異なる。定電位電極パターン４３と駆動電極パターン４１，４２とにより、複数の圧電層についての面内方向の静電容量をそれぞれ測定し、測定した両静電容量に基づき、誘電率を求める。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの発生を防ぐことができる圧電アクチュエータ装置及びそれを備えた液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ装置９０は、圧電層７１と、圧電層７１の両面にそれぞれ設けられ、圧電層７１を挟んで相対向する共通電極７３及び個別電極７２とを備えた圧電アクチュエータ３２と、個別電極７２に共通電極７３よりも高い電位を付与して、個別電極７２から共通電極７３に向かう方向に電界を発生させるドライバＩＣ８０とを備えている。そして、個別電極７２は、共通電極７３に比べて相対的にマイグレーションしにくい材料により形成されている。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板の回路に対するサブヒータの熱の影響を抑制しつつ、記録素子基板の温度を制御するサブヒータを配置できる記録素子基板を提供する。
【解決手段】 複数の記録素子を備えた記録素子列と、前記記録素子を駆動する駆動回路とを備えた記録素子基板であって、前記記録素子基板の表面を垂直な方向からみて前記記録素子列を囲むように配置され、前記記録素子基板の断面をみて前記駆動回路に含まれる容量素子または抵抗素子の上方または下方に配置されているヒータを備える。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上、及び、液体の温度検出精度の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とノズルプレート３３とを備えるチップ本体３４、及び、アクチュエータプレート３０に形成された溝部３５内に充填された液体の温度を検出する温度センサ５０、を備え、溝部３５の側壁３６に形成された駆動電極３７に対して温度センサ５０の検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を印圧することで側壁３６を変形させて溝部３５内の液体をノズル孔３３ａから吐出させるヘッドチップ２１において、温度センサ５０は、チップ本体３４の外周面に設置されていると共に、チップ本体３４に形成されてアクチュエータプレート３０の実装部３０ａまで延設された引回し配線５１を介して外部に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度を向上させることが可能なインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明はインクジェット記録ヘッドは、複数の突起部４を有する。これら各突起部４は、インク吐出デバイス１の上面１ｂ上に各電気接続部３の配列方向と平行に配列され、上面１ｂに平行な方向であってかつ各電気接続部３の配列方向に直交する方向から見て各電気接続部３の間に配置されている。さらに、隣接する各突起部４どうしの間隔は、突起部４の最頂部４ａにおいてはインナーリード５の軸線方向と直交する方向の幅ｂより広く、かつ最頂部４ａから突起部４の底部４ｄに向けて狭くなっている。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比が小さい埋め込み配線の場合においてもディッシングの発生を防止することで、ヒーターボードとしての機能を満足し、かつ、導電膜の成膜（メッキ）膜厚を薄くし、研磨時間（タクト）短縮と研磨プロセス数の単一化により、製造コストを削減する埋め込み配線の形成方法及びインクジェットヘッドのヒーターボードを提供する。
【解決手段】絶縁膜に凹部を形成し、該凹部に導電膜を形成することにより埋め込み配線を形成する埋め込み配線の形成方法において、従来であれば余分に研磨する必要がある導電膜部分を予め研磨前に粘着剤に接着させて除去した後、導電膜を機械的研磨又は機械的化学的研磨により絶縁膜の凸面と面一になるように研磨することを特徴とする埋め込み配線の形成方法。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を行う大気開放部を封止するときに封止材が不必要な部分に流れ出して接合不良、接続不良、特性不良を起こす。
【解決手段】空隙１３に連通する連通路１５と、連通路１５を外部に連通させる大気開放孔４２を有する大気開放部１６と、大気開放部１６の大気開放孔４２を封止する封止材３６と、大気開放部１６の周囲を囲む凸段差部３７とが設けられ、大気開放孔４２を通じてガス導入を行った後に封止材３６で大気開放孔４２を封止するとき、封止材３６の流動性が残っている段階でも凸段差部３７で堰きとめられて、大気開放部１６以外の箇所への流れ出しが防止される。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの高密度化に対応するためにリード配線間の距離が短くなっても、マイグレーション等の発生を防ぎ、信頼性を維持することができる静電アクチュエーター等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａとを備え、振動板２２と個別電極部１２Ａとの間に電圧を印加して静電気力を発生させて振動板２２を駆動する静電アクチュエーターであって、電極基板１０は、ドライバーＩＣ５０と電気的に接続するための端子部１２Ｃ、個別電極部１２Ａと端子部１２Ｃとを電気的に接続するリード配線部１２Ｂ及び複数のリード配線部１２Ｂを被覆して絶縁を行うための絶縁膜１５をさらに有するものである。 （もっと読む）

【課題】簡単に組み立てることができると共にコンパクトに構成することができる基板アッセンブリ等を提供すること。
【解決手段】両面にそれぞれ接着部を有するベースプレート２１と、平板状の基板本体２６から「Ｌ」字状に屈曲する導通部２７から成る一対のフィルム基板と、を備え、各導通部２７を内向きに且つ所定の間隙を存して一対のフィルム基板を対向配置する配置工程Ｓ１と、間隙にベースプレート２１の挿入端面を各導通部２７の先端部位に突き当てる挿入工程Ｓ２と、各フィルム基板を内側に寄せて各基板本体２６を接着部に接着する接着工程Ｓ３と、を経て、一対のフィルム基板がベースプレート２１に組み付けられた基板アッセンブリであって、一対の導通部２７の先端部位が、挿入端面の延在方向において、それぞれ斜めに且つ相補的形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出特性のばらつきを抑える。
【解決手段】 流路ユニットには、複数の圧力室と、複数の圧力室の各配列方向に関して最も外側にある圧力室から配列方向外側に離隔した空隙とが形成されている。アクチュエータユニット４２は、各圧力室と対向する位置に形成された個別電極６０と、各空隙と対向する位置に形成された周縁電極６５と、共通電極とを有している。個別電極６０、周縁電極６５及び共通電極は、ドライバＩＣ５１と接続されている。ドライバＩＣ５１は、異なる電位を交互に繰り返すインク吐出信号を生成すると共に、個別電極６０に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、所定電位に保持されたスタンバイ信号及び基準電位に保持された基準信号を生成すると共に、個別電極６０に吐出信号を供給しているときに、スタンバイ信号を周縁電極６５に供給し、基準信号を共通電極に供給する。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの高密度化に対応するためにリード配線の距離が短くなっても、マイグレーション等の発生を防ぎ、信頼性を維持することができる静電アクチュエーター等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａとを備え、振動板２２と個別電極部１２Ａとの間に電圧を印加して静電気力を発生させて振動板２２を駆動する静電アクチュエーターであって、電極基板１０は、発振駆動回路４１と個別電極部１２Ａとを電気的に接続するためのリード配線部１２Ｂ及びリード配線部１２Ｂの端子となる部分を残し、部分的に複数のリード配線部１２Ｂを被覆して絶縁を行うための絶縁膜１３をさらに有するものである。 （もっと読む）