【課題】ノズル開口の高密度化を図ることができると共に、小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１Ａを有する第１ノズル列と、ノズル開口２１Ｂを有する第２ノズル列とが設けられたノズルプレート２０と、ノズル開口２１Ａに第１の面側４Ａで連通し、第２の面５Ａ側に開口する個別流路が設けられた第１流路形成基板１０Ａ、振動板５０、及び第１圧力発生手段３００を具備する第１アクチュエーター部材２Ａと、第１アクチュエーター部材２Ａの第２の面５Ａ側に設けられて、ノズル開口２１Ｂに第１の面４Ｂ側で連通し、第２の面５Ｂ側に開口する凹形状を有する個別流路及び個別流路とノズル開口２１Ｂとを連通するノズル連通孔が設けられた第２流路形成基板１０Ｂ、振動板５０、及び第２圧力発生手段３００を具備する第２アクチュエーター部材２Ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にｐＨが７以上である前駆体溶液３１を下電極２０上に塗布し、塗布した前駆体溶液３１を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス３０に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板間の位置決めを確実に行って端子部同士を信頼性高く電気的接続することのできる電子回路基板の接合方法の提供。
【解決手段】第1の接続用端子部を有する基板10と第2の接続用端子部を有する基板20とを,第1と第2の接続用端子部とを対面させて位置決めを行った後,基板10,20とを接合することにより第1と第2の接続用端子部との電気的接続を行う電子回路基板の接合方法において,第1の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部112を設けると共に,第2の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部212を設け,第1と第2の接続用端子部とが対面するように基板10,20とを位置合わせした後,位置決め用端子部112,212との間が導通したことを確認することにより基板10,20との位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】高電圧出力とデータ伝送の高速化とを両立することの出来るインクジェットヘッドの駆動回路及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】共通電位又はＫ個の電位の中から選択された電位を所定数の負荷に対して各々印加するための駆動電圧波形を出力する駆動部を備え、所定数の負荷を駆動することでインクを吐出させるインクジェットヘッドの駆動回路であって、駆動部は、複数の半導体チップが積層されて構成され、複数の半導体チップのうち少なくとも１枚における最小の配線幅は、他の半導体チップにおける最小の配線幅より狭く、当該最小の配線幅が狭い第１の半導体チップは、入力データに基づき、一の駆動電圧波形当たりＫ個の駆動電圧選択信号を並列的に出力する選択信号出力部を備え、他の半導体チップは、駆動電圧選択信号が入力されると、駆動電圧波形を生成する駆動電圧波形生成部を備える。 （もっと読む）

【課題】高電圧出力とデータ伝送の高速化とを両立することの出来るインクジェットヘッドの駆動回路及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】Ｋ個（Ｋ≧２）の電位の中から選択された電位又は共通電位を所定数の負荷に対して各々印加するための駆動電圧波形を出力する駆動部を１又は複数備え、所定数の負荷を駆動することでインクを吐出させるインクジェットヘッドの駆動回路及びこの駆動回路を備えるインクジェットヘッドであって、駆動部は、複数の半導体チップが基材の上部に積層されて構成され、この駆動部への入力データに基づき、複数の半導体チップの各々において、半導体チップ毎にＫ個の電位の中から出力可能に設定されたＫ個未満の出力可能電圧及び共通電位を用いて単位駆動電圧波形を生成し、生成された単位駆動電圧波形を更に組み合わせることで、駆動電圧波形を生成する。 （もっと読む）

【課題】基板にスルーホールが形成され、かつ、各インク供給口におけるインクの流体抵抗が概ね同等であるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インク供給口の列が形成された第１の領域と吐出エネルギ発生素子の列が形成された第２の領域とが交互に配置された基板と、吐出エネルギ発生素子に対向する位置に吐出口が形成されたオリフィスプレートと、を有する。このインクジェットヘッドは、基板の表面に設けられた第一配線層と第二配線層を導通させる複数のスルーホール備えている。第１の領域のうちの１つは、複数のスルーホールが設けられた導通部であり、該導通部には、２列のインク供給口設けられ、該２列のインク供給口の間に複数のスルーホールが配列されている。 （もっと読む）

【課題】基板の小型化を図りつつ、供給口を通してのインクの供給性能を確保することができるインクジェット記録ヘッド、および、それを用いるインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】吐出口列Ｌａ−１と吐出口列Ｌａ−２との間に位置するインクの供給口４Ｂは、大きい寸法ｈｃの部分ｗｃと、小さい寸法ｈｆの部分Ｗｆと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）

【課題】駆動回路部材の周囲に制御信号を入力するための配線スペースを不要にして、更なる小型化を図ることが可能な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】各圧電体素子へ駆動電圧を印加する駆動回路部材１０の一方の短辺付近に、制御信号を入力するための入力端子部２１を複数配置して、他方の短辺付近に、入力した全ての前記制御信号を出力するための出力端子部２２を複数配置している。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】共通電極抵抗とインク流路のコンプライアンスばらつきを低減することで吐出均一性を向上し、かつノズル数が多いヘッドにおいても小型化することが可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】個別液室１０の領域の振動板１上に下部電極１４、圧電体１５、上部電極１３を含む圧電素子１１が積層され、インク供給路７の領域に圧電素子から延伸された下部電極と下部電極と導通する共通電極配線が形成されると共に、個別液室の配列方向に共通電極配線が延伸されていて、共通電極配線が、第１の共通電極配線１６１と第２の共通電極配線１６２の積層した構造であり、第１の共通電極配線１６１の膜厚が第２の共通電極配線１６２の膜厚より薄く形成されていて、流路基板２と保持基板５の接合領域に、第１の共通電極配線１６１の少なくとも一部を形成し、第２の共通電極配線１６２を形成しない構成とした。 （もっと読む）

【課題】段差のない均一な膜厚の絶縁膜を使用できるようにして絶縁耐圧を高め、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】共通電極を、第１の下電極１４と第１の層間絶縁膜１５を間に介して積層された第２の下電極１６とで形成し、上電極１８から引き出された引き出し配線２０は、第２の下電極１６の個別電極引き出し部１６ａに接続されて、個別電極引き出し部１６ａが個別電極パッド部２１と導通しており、第２の下電極１６の圧電体電極部１６ｂの一部に設けた導通部１６ｂ’は、第１の層間絶縁膜１５のスルーホールを介して第１の下電極１４と導通しており、バイパス配線２４が接続された第２の下電極１６のバイパス配線導通部１６ｃは、導通部１６ｃ’を介して第１の下電極１４と導通している。 （もっと読む）

【課題】配線経路とインク流路孔に対する一度の位置決め作業を行うだけで、共通のベース部材に対して複数のヘッドチップを所定の配列形態で配置させる。
【解決手段】複数のノズル22と圧力室23と、圧力室23の一壁面を構成する振動板204と、圧力室内のインクをノズルから吐出させる圧力発生手段とを有する積層構造からなるヘッドチップ2を、ヘッドユニットベース1に配置したインクジェットヘッドユニットであって、ヘッドユニットベースに、1つのヘッドチップの圧力発生手段へ電力供給するための配線経路と、圧力室へインク供給するためのインク流路孔109とからなるパターンを1単位として、ヘッドチップ2の数に相当する単位数のパターンが所定の配列形態となるように形成され、ヘッドユニットベース1のパターンに対応して、ヘッドチップが圧力発生手段と配線経路とが電気的に接続し、圧力室とインク流路孔とが連通するように積層する。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生や成長が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、Ｃｏと、Ｃｏ及びＦｅの総量とのモル比であるＣｏ／（Ｃｏ＋Ｆｅ）が、０．０２以上０．０７以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】高い電位が付与されうる引出部から第１電極に対してマイグレーションが生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータの最上層の第１圧電層４０の上面には、複数の個別電極４３が配置されている。第１圧電層４０と中間層の第２圧電層４１との間には、個別電極４３と対向して、第１共通電極４４が配置されている。第１共通電極４４は、スルーホール３７内の充填材６５を介して第１圧電層４０の上面に形成された第１引出電極４６まで引き出されている。スルーホール３７内の充填材６５は、第１引出電極４６に取り囲まれている。個別電極４３を形成する導電性材料はＡｕであり、充填材６５を形成する導電性材料はＡｇであり、ＡｕはＡｇよりもマイグレーションが生じにくい材料となっている。 （もっと読む）

【課題】展開した状態で配線部材の基材が対応するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに重なる場合でも、アクチュエータユニットと配線部材との接合工程を容易に行えるようにする。
【解決手段】ＣＯＦ５０ｘの基材５１は、アクチュエータユニット１７に対向する第１領域５１ｘ及び第１領域５１ｘ外にあって接点が形成されていない第２領域５１ｙを含む。第２領域５１ｙは、流路ユニット１２の上面１２ｘにならうように展開された場合に、第１領域５１ｘが対向するアクチュエータユニット１７とは別のアクチュエータユニット１７に平面視で重なる。平面視で第２領域５１ｙが別のアクチュエータユニット１７に重ならないように基材５１を折り曲げ、第２領域５１ｙをＦＰＣ５０ｙで連結し、配線モジュール５０を作製する。配線モジュール５０をアクチュエータユニット１７に対向させて接点接合を行う。 （もっと読む）