Fターム[2C057AN00]の内容
インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | 走査方式 (1,991)
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Fターム[2C057AN00]に分類される特許
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静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置、並びに静電型アクチュエータの製造方法
【課題】 振動板表面に均一な保護膜を備え、作動特性の優れた静電型アクチュエータの提供。
【解決手段】 振動板電極22を含み表面に保護膜26を形成した振動板20と、この振動板20に空隙14aを介して対向配置された固定電極12とを備え、前記空隙14aに連通する連通路56と、前記連通路56を大気中に開放する第一の開放孔55a及び第二の開放孔55bと、第一の開放孔55aを封止する第一の封止部材58aと、第二の開放孔55bを封止する第一の封止部材58aとは異なった材質の第二の封止部材58bとを備えたことを特徴とする静電型アクチュエータ2。
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