【課題】インク流路の変形が少なく、接合強度の安定性に優れ、容易かつ安価に生産できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】凹溝が形成されたキャビティ板１０と、平板状の振動板２０とを、前記凹溝を覆うように気密に接合してインクジェット記録ヘッドの製造方法において、キャビティ板及び振動板が非結晶性熱可塑性樹脂からなり、前記非結晶性熱可塑性樹脂と相溶性を有する有機溶剤を、少なくとも一方の接合面に塗布し、互いの接合面を重ね合わせてキャビティ板と振動板とを接合し、その接合の際にインク流路内に余剰に流出した有機溶剤を、該有機溶剤と混和性を有し且つ実質的に前記非結晶性熱可塑性樹脂との相溶性が無い液体をインク流路内に通して排出する。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上して製造コストを削減する。
【解決手段】圧力発生室を含む溝部１１が流路形成基板１０に設けられ且つ各圧力発生室に対応して圧電素子７０が設けられた複数枚のチップを形成する工程と、各チップ上の圧電素子の電気的特性をそれぞれ検出する検査工程と、検査工程で検出された各圧電素子の電気的特性に基づいてチップを選択し、チップとノズルプレート２０Ａを含む他の構成部品との組み立てを行う組立工程とを具備し、組立工程では、検査工程で各圧電素子の電気的特性にばらつきが検出されたチップを選択した場合に、選択した２枚のチップを流路形成基板の一方面側で接合して各流路形成基板の溝部同士を連通させて液体流路を形成し、圧力発生室を流路形成基板の端面側に開口させた後、ノズルプレートを流路形成基板の端面に接合して流路形成基板の端面でノズル開口と圧力発生室とを連通させるようにする。 （もっと読む）

【課題】チップ周囲封止材の塗布時間を短縮するインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドの提供。
【解決手段】ＴＡＢのリードＨ１３０３近傍にチップ周囲封止材１９を注入する穴２２を設け、また、支持部材Ｈ１４００はその穴がリード下部に連通する構成とするインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドの製造方法において、有機膜をインク遮断層及びインク流路形成膜の密着層として使用しているが、一般に有機膜はエッチング分布が良くない。インクジェット記録ヘッドでは、パターニング分布を少なくとも１５％以内に押さえなければ、パターニング幅が規格から外れてしまうことになる。そこで、ＣＤＥ装置の大幅な改造を行うことなく、前記枚葉式のＣＤＥ装置に近いパターニング分布を得ること。
【解決手段】 処理チャンバー内のラジカル化されたエッチングガスを、均一に被処理物に届くようにエッチングガスのノズル部及び、エッチングガスの気流が均一に流れるように制御する制御板を設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】カバーとインクジェットヘッド及びその近傍とをシーリングした弾性接着剤をコーティング剤で覆うことでインクの付着による膨潤を防止し、カバーの剥離を防止する。
【解決手段】駆動回路、配線パターン及びインクジェットヘッド３の一部を樹脂材からなるカバー７で保護する。そして、カバーの左右、後方の側面端部をベース板に接着固定し、前方をインクジェットヘッドの側面及び上面に接着固定する。このとき、カバーとベース板及びインクジェットヘッドとの接触部全体をシーリングするように弾性接着剤９を厚めに塗布する。そして、弾性接着剤の上に耐インク性に優れたコーティング剤１０を塗布する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドに用いられる積層セラミック基板を高精度で、安価に製造することを目的とする。
【解決手段】 セラミックグリーンシートを複数積層して形成する基板において、少なくとも記録素子基板を搭載する側の層は、焼成後に加工されることを特徴とする。加工方法は、切削加工、サンドブラスト加工、レーザー加工により行われる。 （もっと読む）