【課題】ノズルの加工時間の増大を低く抑えつつ、液滴の吐出方向のばらつきを低減できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】実施形態のノズルプレートは、プレート基板と、前記プレート基板を貫通する、断面積の異なる複数の孔部が大きさ順に同軸に結合し、前記プレート基板表面付近に、断面積が最小の孔部の前記軸方向の凹凸のピッチが最小である側壁を有するノズルとを備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾位置ずれを抑制することができると共に製造工程を合理化した液体噴射ヘッドモジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルプレート２１の一方面２１ａにおけるノズル２２の開口及び他方面２１ｂにおけるノズル２２の開口を結んだ中心線Ｌと、ノズルプレート２１の一方面２１ａに対する法線Ｍとが成す同芯角θを測定し、ノズル２２から吐出されたインクが着弾する記録シートＳとノズルプレート２１との媒体距離ｍ及び同芯角θから、ノズル２２を通る法線Ｍが記録シートＳと交わる点Ｏと中心線Ｌが記録シートＳと交わる点Ｐとの間の距離ｄから補正量Ｄを計算し、保持部材５０のヘッド１０が設置される設置位置から補正量Ｄで補正した位置にヘッド１０を位置決めして保持部材５０に固定する。 （もっと読む）

【課題】簡便なプロセス工程によりコストダウンを実現するとともに、長期にわたり吐出信頼性を獲得することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル孔１２を有するノズル形成基板１０およびノズル孔１２内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板１０表面の撥水膜１４に保護フィルム１６を貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔１２内部の撥水膜１４をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルム１６を剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、保護フィルム１６の粘着成分および基材にポリシロキサンを含有しない液滴吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インク吐出ヘッドのノズル孔部の硬化を防止し、ノズル孔の精度を向上させる。
【解決手段】基板２０１上のエネルギー発生素子２０２周囲位置の流路壁２０３の端面を覆いつつ、流路壁２０３により区画される空間では流路壁２０３の端面よりも低い領域を有する第一の犠牲層２０４を形成し、第一の犠牲層２０４の表面に紫外線を吸収可能な第二の犠牲層２０５を形成し、流路壁２０３の端面よりも低い領域がないよう、第二の犠牲層２０５の表面に第三の犠牲層２０６を形成し、少なくとも第二の犠牲層２０５を残存させつつ、犠牲層を流路壁２０３の端面が露出するまで除去し、形成されたノズル形成層２０７上にノズル孔１１０に相当するマスク部２０８ａが形成されたフォトマスク２０８を形成し、紫外線２０９を照射しノズル形成層２０７を硬化させ、溶解液に浸漬させて、ノズル孔部２０７ａおよび犠牲層を除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】耐久性のある非湿潤コーティングの提供。
【解決手段】第１の表面、第２の表面、および第２の表面と接触した液体を吐出できるオリフィス１４０を有する液体吐出装置において、少なくとも第１の表面上に露出された非湿潤性層、および第２の表面上に露出された保護層１９０を有し、保護層１９０は、非湿潤性層よりも湿潤性である。この装置の製造には、第１と第２の表面に非湿潤性層を堆積させ、第１の表面にマスキングし、必要に応じて、第２の表面から非湿潤性層を除去し、第２の表面上に保護層１９０を堆積させる各工程が含まれ得る。 （もっと読む）

【課題】ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなう。
【解決手段】インクを収容可能な共通液室１０１と、共通液室１０１から流入されるインクをエネルギー発生素子２０２によって吐出可能なノズル１０２ごとのノズルチャンバ１０３とを含み構成されるインク室１１０を区画する壁部のうち、インクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される基板２０１および保護膜２０３と、ノズルチャンバを区画するノズル層２０４と、を有し、基板２０１、保護膜２０３およびノズル層２０４とは異なる場所に形成され、１１０インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、犠牲層が除去された後、犠牲層除去口を封止する封止部材としての接点保護材１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】目詰まりを防止すると共に、撥水層が剥がれたり付着物が付着したりしても容易に撥水層を再生し得ることにより、結果的に長寿命を確保し得る液体吐出ノズル、及び液体吐出ノズルにおける撥水層の再生方法を提供する。
【解決手段】吐出液を収容する液溜容器１０と、液溜容器１０の下側に連通する吐出筒２０とを備える。吐出筒２０の吐出口先端２０ａ、吐出筒２０の内壁面２０ｂ、及び液溜容器１０の内壁面１０ａには撥水層５が設けられている。撥水層５は、フッ素系撥水層からなっている。フッ素系撥水層の下地層として、酸化アルミ層と酸化ケイ素層との積層膜が用いられている。積層された酸化アルミ層、酸化ケイ素層及びフッ素系撥水層の総膜厚は２５ｎｍ以下であり、フッ素系撥水層の膜厚は１〜４ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルの内壁面の液状体に対する前進接触角及び後退接触角を最適化することによって気泡の巻き込みを低減し、安定的な吐出を行うことができ、高速化を図ることができる液滴吐出ヘッド及び記録装置を提供すること。
【解決手段】ノズル１３から液状体を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル１３の内壁面は、前記液状体に対する前進接触角が５０°以下であり、後退接触角が９０°以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド、及び、前記液滴吐出ヘッドを備え、前記ノズル１３から吐出される液状体を被記録材に着弾させることによって記録を行うことを特徴とする記録装置。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを構成する基板、圧電部材、枠部材をそれぞれ作成して接着する構成では、部品点数が増え、製造工数も増えてしまう。結果として製造原価が高くなっている。
【解決手段】
少なくとも一部が圧電部材よりなる基板と、基板の一面に形成された共通流路と、第１の開口部を通して共通流路に連通する圧力室と、圧力室に流体的に接続するノズルと、圧力室の内面に形成され駆動回路に接続する電極と、基板に設けられ共通流路を挟んで第１の開口部に対向する位置に第２の開口部を有し共通流路に接続する溝と、その溝の少なくとも一部を封止する封止材料と、を有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】吐出面を効率良くクリーニングすることができると共に、ワイパや吐出面が部分的に劣化するのを抑制する。
【解決手段】ヘッドの吐出面２ａに、主走査方向に延在する１６本の溝１０９ａ及び１０本のダミー溝１０９ｂが、副走査方向に互いに平行に配列されている。溝１０９ａの底部に、インク滴を吐出する吐出口１０８ａが形成されている。吐出面２ａにおける副走査方向に関する一方から順に、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ１、４本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ２〜Ｘ４、及び、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ５が配列されている。互いに隣接している溝群Ｘ１〜Ｘ５間の離隔距離ｌ１〜ｌ４が、各溝群Ｘ１〜Ｘ５において互いに隣接している溝１０９ａ間の離隔距離ｌａ〜ｌｋより大きくなっている。ダミー溝１０９ｂが、各溝群Ｘ１〜Ｘ５の副搬送方向に関する両側にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】記録開始時の吐出安定性およびサテライト・ミスト低減を両立する記録ヘッド。
【解決手段】エネルギー発生素子と、エネルギー発生素子からエネルギーを付与する液体を収容するための室と、室から外部に液体を吐出するための吐出口とを備え、エネルギー発生素子から室内の液体にエネルギーを付与することで、吐出口から液体を吐出する記録ヘッドであって、吐出口は、液体を吐出する方向と直交する断面において吐出口の内側に凸となり、液体を吐出する方向に関してテーパ角度Θ１を有し、吐出口から液体が吐出される際にそれらの間に液体のメニスカスを形成することができる、少なくとも２つの突起と、少なくとも２つの突起とは異なる吐出口の部分であり、液体を吐出する方向に関してテーパ角度Θ２を有する外縁部と、を有し、テーパ角度Θ１およびΘ２は、式０°≦Θ１≦１０°およびΘ２＞Θ１を満たす記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】撥液層の端部位置精度が良く滴吐出特性のばらつきが少なく、かつインク充填性及び気泡排出性の良いインク滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔が存在するノズル部領域と、ノズル孔に連通する液室の少なくとも一部が存在する液室部領域と、液室内の液体を加圧してノズル孔から液滴を吐出するための圧力発生手段とを備え、前記ノズル孔の液室側とは反対側の吐出面側に撥液層が形成された液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記ノズル部領域と前記液室部領域とを共通組成の材料を用いてノズル・液室部材として一体に形成するプロセスと、一体形成されたノズル・液室部材の上記吐出面側と反対側に、導電性構造体を密着してこれらを接地して保持するプロセスと、撥液剤を微粒子化した上で帯電させるプロセスと、帯電した微粒子化撥液剤を前記吐出面側に塗布して撥液層を成膜するプロセスとを有する。 （もっと読む）

【課題】液体の無駄な消費を抑制すると共に、高精度な液体の噴射を行うことができる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】下地用又は重ね塗り用の第１液体を吐出する第１液体噴射ヘッド２２０Ａと、第２液体を吐出する第２液体噴射ヘッド２２０Ｂと、を具備し、前記第１液体噴射ヘッド２２０Ａには、複数の圧力発生室と、各圧力発生室毎に連通する複数のノズル開口からなるノズル群が設けられており、前記第２液体噴射ヘッド２２０Ｂには、複数の圧力発生室と、各圧力発生室毎に連通する１つのノズル開口が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比のホールやトレンチの多段構造を高い加工精度で容易に形成することができるシリコン構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンからなる基材１に凹部４の一部である初期凹部４ａを形成する初期凹部形成工程と、初期凹部４ａの凹部側壁４２ａに保護膜を形成する保護膜形成工程と、凹部側壁４２ａの保護膜に隣接した基材１の一部を隔壁１２として残存させて、初期凹部４ａに隣接する周回領域の基材１を深さ方向に異方性エッチングするエッチング工程と、残存した突起状の隔壁を酸化してシリコン酸化物を形成する突起状隔壁酸化工程と、酸化した突起状の隔壁を除去する突起状隔壁除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の傾斜部が垂直部およびノズル基板平面と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って円筒孔部１１ｄを形成し、その後、円筒孔部内にＳｉＯ₂膜４５を形成する。反対側の面からＳｉＯ₂膜４５をチャージアップさせながらエッチングを行い、第１のノズル孔部１１ａと所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂ、第３のノズル孔部１１ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】インクと電極との間の電気的な絶縁を維持することができ、印字品質が良好で、耐久性に優れたインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、複数の溝を有する圧電材料で構成された基板と、基板の端面に接着剤で固定されたノズルプレートとを具備する。ノズルプレートは、溝の長手方向に沿う一端を閉塞するとともに、溝に連通するようにレーザ加工された複数のノズルを有する。基板の溝の内面に駆動電圧が印加される電極が形成されている。電極は、溝の内面を覆うように互いに積層された複数の金属層で構成され、溝の内面から離れた表面が平坦化されている。電極の表面に第１の無機膜が積層されている。第１の無機膜の上に、溝内に露出されるとともに溝に供給されたインクに浸かる第２の無機膜が積層されている。 （もっと読む）