【課題】ノズルプレートの耐久性の向上した液体噴射ヘッドおよびブレードの劣化を抑えた液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】ノズルプレート２２の外周に段差部２２０が設けられ、段差部２２０にも撥水膜１００が形成されているので、段差部２２０を形成しないで噴射面２２２に撥水膜１００を形成した場合と比較して、ノズルプレート２２外周の露出した側面２２１の面積を狭くできる。したがって、インクが側面２２１に触れる確率も小さくでき、ノズルプレート２２がエッチングされにくく、ノズルプレート２２の耐久性の向上した記録ヘッドを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】リストリクターが形成されたシリコン基板、シリコン基板の製造方法及びこれを備えたインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】シリコン基板２００は、マニホールドと連結され、第１大きさの第１幅を有する第１連結部２１０と、圧力室と連結され、第２大きさの第２幅を有する第２連結部２２０と、第１連結部２１０と第２連結部２２０を連結し、第１大きさ又は第２大きさより小さい第３大きさの第３幅を有するリストリクター部２３０とを含み、リストリクター部２３０と第１連結部、又はリストリクター部２３０と第２連結部が連結される境界部は曲線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】インクの濡れ、垂れ落ち、浸り、汚染の低減および洗浄容易性、引掻耐性が改善されたプリントヘッドのノズルプレートを提供する。
【解決手段】複数のチャンネルを含むインクジェットプリントヘッドが開示され、ここでこのチャンネルは、インク供給物からのインクで満たされることができ、ここでチャンネルは、プリントヘッドの１つの表面上にあるノズルに終止し、この表面が、フッ素化ポリ（アミド−イミド）コポリマーを含むコーティング組成物２６でコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドのフロント面の汚染を最小限に抑える。
【解決手段】複数のチャンネルを含むインクジェットプリントヘッドにおいて、該チャンネルは、インク供給物からのインクで満たされることができ、プリントヘッドの１つの表面上にあるノズルに終止し、この表面が、シロキサン−エーテルイミドコポリマーおよびフッ素化非イオン性界面活性剤を含むコーティング組成物２６でコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾位置ずれを抑制することができると共に製造工程を合理化した液体噴射ヘッドモジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルプレート２１の一方面２１ａにおけるノズル２２の開口及び他方面２１ｂにおけるノズル２２の開口を結んだ中心線Ｌと、ノズルプレート２１の一方面２１ａに対する法線Ｍとが成す同芯角θを測定し、ノズル２２から吐出されたインクが着弾する記録シートＳとノズルプレート２１との媒体距離ｍ及び同芯角θから、ノズル２２を通る法線Ｍが記録シートＳと交わる点Ｏと中心線Ｌが記録シートＳと交わる点Ｐとの間の距離ｄから補正量Ｄを計算し、保持部材５０のヘッド１０が設置される設置位置から補正量Ｄで補正した位置にヘッド１０を位置決めして保持部材５０に固定する。 （もっと読む）

【課題】洗浄容易性／自己洗浄性を維持するような、十分な液垂れ圧と、低い滑り角を維持するための、高い接触角をもった塗れ防止性コーティングを施されたノズル板を備えたインクジェット印刷ヘッドを提供する．
【解決手段】コーティングは、３００℃まで加熱したときに、約１５％未満の重量損失によって示される高い熱安定性をもつ撥油性低接着性コーティング２６を含み、紫外線（ＵＶ）ゲルインクの液滴および固体インクの液滴が、このコーティング表面に対し、約４５°を超える接触角と、約３０°より小さな滑り角を示し、このコーティングは、少なくとも２００℃の温度に少なくとも３０分間さらされた後に、接触角および滑り角を維持している。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】高い撥液性と液滴の滑落性を有し、洗浄性に優れる撥液表面を有する構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の表面に凹凸構造を有し、前記凹凸構造の凸部の側面の表面側を通り前記基板に平行な線と、前記凸部の側面とのなす角度が、９０°未満であり、かつ、前記角度は、別途測定した、付与される液体の前記凹凸構造と同じ化学的表面状態で凹凸のない平滑面における静的接触角よりも小さいことを特徴とする撥液表面を有する構造体、ノズルプレート、および、これらのクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニットにメンテナンス部材が押し当てられたときの衝撃を緩和して、複数の液滴噴射ヘッドを保持するヘッド保持部材の変形を抑制すること。
【解決手段】ヘッドユニット２は、それぞれノズル１３を備えた複数のインクジェットヘッド１０と、これら複数のインクジェットヘッド１０を保持するヘッド保持部材１１とを有する。ヘッド保持部材１１よりもノズル開口側の位置には、複数のインクジェットヘッド１０に共通のノズルプレート２１が配置されている。メンテナンスの際には、ノズルプレート２１にはキャップ部材１８が接触するが、このノズルプレート２１の前記キャップ部材１８が接触する部分とヘッド保持部材１１との間には、空間が存在している。 （もっと読む）

【課題】インクの温度をより正確かつ追従性良く検出する。
【解決手段】液体を吐出するためのノズルと、温度を検出するためのダイオードと、を有するノズルプレートを備えた液体吐出装置において、前記ノズルプレートは半導体で形成され、前記ダイオードは前記ノズルプレートに所定物質を添加することにより生成されたＰ型半導体およびＮ型半導体で形成される構成とした。また、上記ダイオードにおける電圧降下に応じて温度を検出する温度検出部と、温度検出部により検出された温度に基づいて上記液体の吐出を制御する吐出制御部とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板からの反射による露光パターンへの影響を抑制し、吐出口パターンを安定的に形成できる、印字品位の優れた液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】明細書中に定義される構造を有する液体吐出ヘッドの製造方法であり、１）エネルギー発生素子２が設けられた基板１上に工程６において溶解可能な樹脂からなる液体流路型４を形成する工程と、２）液体流路型４を工程４の露光波長に対する屈折率がｎの感光性樹脂層５ａで被覆する工程と、３）感光性樹脂層５ａの上に工程４の露光波長に対する屈折率が√ｎ−０．２以上√ｎ＋０．２以下の反射防止膜８を形成する工程と、４）感光性樹脂層５ａ及び反射防止膜８を露光及び現像して、吐出口７を形成する工程と、５）基板１に液体供給口９を形成する工程と、６）液体流路型４を溶解して液体供給口９から除去する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェットのプリントヘッド前面のためのコーティングであり、インク汚染を防止し、インク液滴が前面から出ても残渣を残さないコーティング方法を提供する。
【解決手段】インクジェットのプリントヘッド前面のためのコーティングであって、このコーティングが、複数のセグメント、共有結合性有機骨格（ＣＯＦ）として整列された複数のリンカーを含む構造化有機フィルム（ＳＯＦ）を含むコーティング。インクジェットのプリントヘッドの前面上に噴出されたＵＶ硬化性インクの液滴または噴出された固体インクの液滴が、約１４０°〜約６０°の接触角を示す、コーティング。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる複数の孔が重なる孔を製造するとき、孔を分離する分離膜が破れ難い製造方法を提供する。
【解決手段】第１面３ａと第２面３ｂとが対向するノズルプレート３に第２位置決め孔１９を形成する。ノズルプレート３の第１面３ａより第２外側凹部１９ａを形成する第１凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａに熱酸化膜を形成する分離膜形成工程と、第２面３ｂにエッチングガスを流動して第２外側凹部１９ａと対向する場所に第２面３ｂから熱酸化膜まで第２内側孔１９ｂを形成する第２凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとの間に位置する熱酸化膜３０を除去して第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとを貫通する第２位置決め孔１９を形成する分離膜除去工程と、を有し、第２内側孔１９ｂは平面視において辺１９ｄと辺１９ｄとが交差する場所が円弧１９ｅとなっている多角形または円形である。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射特性のばらつきや低下を抑制して、ノズルプレートの剥離及び液体の漏出を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が噴射されるノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、前記ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、が接着剤２５を介して接合された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル開口２１が形成されたシリコン基板の少なくとも前記ノズル開口２１の内面にレジストを形成する工程と、前記レジストが形成された前記シリコン基板の前記流路形成基板１０に接合される接合面２０ｂをドライエッチングする工程と、ドライエッチングした前記シリコン基板の前記レジストを除去して前記ノズルプレート２０を形成する工程と、前記ノズルプレート２０の前記接合面２０ｂを前記流路形成基板１０に接着剤２５を介して接合する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】撥液層の端部位置精度が良く滴吐出特性のばらつきが少なく、かつインク充填性及び気泡排出性の良いインク滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔が存在するノズル部領域と、ノズル孔に連通する液室の少なくとも一部が存在する液室部領域と、液室内の液体を加圧してノズル孔から液滴を吐出するための圧力発生手段とを備え、前記ノズル孔の液室側とは反対側の吐出面側に撥液層が形成された液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記ノズル部領域と前記液室部領域とを共通組成の材料を用いてノズル・液室部材として一体に形成するプロセスと、一体形成されたノズル・液室部材の上記吐出面側と反対側に、導電性構造体を密着してこれらを接地して保持するプロセスと、撥液剤を微粒子化した上で帯電させるプロセスと、帯電した微粒子化撥液剤を前記吐出面側に塗布して撥液層を成膜するプロセスとを有する。 （もっと読む）