【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧Ｖ_ａを印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０としたとき、（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）／Ｖ_ａが７０ｐｍ／Ｖ以上且つ比誘電率が７００以下である。 （もっと読む）

【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】駆動電極がフレキシブル印刷回路と正確かつ堅固に連結されて駆動電極が扁平に具備されるようにする圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】駆動電圧を提供する上部及び下部電極１２７、１２３と、上部及び下部電極１２７、１２３の間に圧電体液が固化されて形成され、インクジェットヘッド１００に具備される複数の圧力チャンバ１１４内のインクにそれぞれ駆動力を提供する圧電体１２５と、を含み、圧電体１２５は、複数の圧力チャンバ１１４それぞれの上部に個別に具備される分枝部と分枝部の一端で複数の分枝部とそれぞれ連結されながら一体に具備される大面積部とを含む圧電アクチュエータ１２０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を備える圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電体層は、少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むぺロブスカイト型酸化物を有する第１の層と、前記第１の層上に形成され、少なくとも鉛、ジルコニウム、及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を有する第２の層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】単結晶基板上において、圧電薄膜を良好な単結晶の状態で確実にエピタキシャル成長させて成膜し、圧電特性を確実に向上させる圧電素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、以下の工程によって製造される。単結晶基板１を、振動する振動部１Ａと、振動部１Ａと連結されて振動が生じない非振動部１Ｂとに分けたときに、単結晶基板１上で、非振動部１Ｂ上を含む領域であって、振動部１Ａ上の圧電薄膜３の成膜領域を除く領域に、圧電薄膜３の単結晶での成長を阻害する阻害膜２を成膜する。次に、上記成膜領域となる振動部１Ａ上の少なくとも一部に、圧電薄膜３を単結晶でエピタキシャル成長させて成膜するとともに、阻害膜２上に、圧電薄膜３を非晶質または多結晶で成膜する。その後、阻害膜２上に成膜された圧電薄膜３を除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも大幅に少ない原材料及び製造エネルギーを用いて、かつ、従来よりも短工程で製造することが可能な機能性デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理することにより金属酸化物又は金属となる液体材料を準備する第１工程と、基材上に液体材料を塗布することにより金属酸化物又は金属の前駆体組成物からなる前駆体組成物層を形成する第２工程と、前駆体組成物層に対して凹凸型を用いて型押し加工を施すことにより前駆体組成物層に残膜を含む型押し構造を形成する第３工程と、型押し構造が形成された前駆体組成物層に対して大気圧プラズマ又は減圧プラズマによるアッシング処理を施すことにより残膜を処理する第４工程と、前駆体組成物層を熱処理することにより、前駆体組成物層から金属酸化物又は金属からなる型押し構造体を形成する第５工程とをこの順序で含む型押し構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、歪量および信頼性が向上した圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、圧電体層２０、及び前記圧電体層に電圧を印加する電極３０を有する圧電素子１００と、を含み、前記圧電体層は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層は、（１１１）面の配向強度αの、（１００）面の配向強度βに対する強度比γ（α／β）が、３以上である。 （もっと読む）

【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】（１００）に優先配向したニッケル酸ランタンを少なくとも表面に有する電極（２０）を形成する工程（Ｓ１）と、電極（２０）の表面に少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む前駆体溶液３１を塗布する工程（Ｓ２）と、該塗布した前駆体溶液３１を結晶化させて（１００）に優先配向したペロブスカイト型酸化物を含む圧電体層３０を形成する工程（Ｓ３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】インクカートリッジを長期間保持しても、駆動パルス変化、出力画像変化が少なく、十分な吐出特性と印字耐久性、印字に伴う温度上昇も少ないインクカートリッジの提供。
【解決手段】サーマルインクジェットヘッドを具備するインクカートリッジである。発熱部がインクと接する面に保護層を有し、インクが、保護層を溶解する物質と下記一般式（１）で表される化合物とを含有し、且つ、下記一般式（１）で表される化合物のインク中の含有量Ｘ（質量％）が１≦Ｘ≦３０を満足し、保護層のインクと接する部分の表面積に対するインク液室の容積の割合が５０μｍ³／μｍ²以下である。
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【課題】環境負荷が小さく、且つ、リーク電流の発生を抑制することができ、歪量が大きく、緻密で、さらに低温で焼成できるチタン酸バリウム系の圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と該圧電体層７０を挟む電極６０、８０と前記圧電体層７０の少なくとも一方側の面に設けられたバッファー層６５とを備えた圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン、チタンに対して３モル％以下の銅、チタンに対して２モル％以上５モル％以下のリチウム及びチタンに対して２モル％以上５モル％以下のホウ素を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、前記バッファー層は、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部５は、積層された薄板状の圧電部材６２を有する円形状のメンブレン６と、電極とを備えている。電極は、圧電部材６２の第１領域６８と第２領域６９とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材６２に設けられた複数組の一対の第１電極６３、６５及び第２電極６４を備えている。 （もっと読む）

【課題】強誘電体材料層の電気特性をより一層向上させることが可能な強誘電体材料層の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の１つの強誘電体材料層の製造方法は、基材上にゾルゲル溶液を塗布することにより、強誘電体材料の前駆体層を形成する強誘電体材料前駆体層形成工程と、その前駆体層を１２０℃〜２５０℃の範囲内にある第１温度で乾燥させる乾燥工程と、その前駆体層を第１温度よりも高く、かつ、１５０℃〜３００℃の範囲内にある第２温度に加熱した状態で前述の前駆体層に対して型押し加工を施す型押し工程と、その前駆体層を第２温度よりも高い第３温度で熱処理することにより、その前駆体層から強誘電体材料層を形成する強誘電体材料層形成工程とを、この順序で含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子が、ＡＬＣＶＤ法により形成された酸化アルミニウム膜を含む保護膜１００によって覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、圧電体層にクラックがより形成されにくい圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力発生室と、圧電体部、及び前記圧電体部に設けられた電極を有する圧電素子と、を含み、前記圧電体部は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、前記圧電体部は、前記ペロブスカイト型複合酸化物からなる第1圧電体層および第２圧電体層と、前記第１圧電体層及び第２圧電体層に挟まれた膜厚５ｎｍ以上２０ｎｍ以下の酸化イリジウムからなる中間層と、を有する。 （もっと読む）