【課題】見かけ上の圧電特性の低下を抑制する。
【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、積層された上部圧電層４０及び下部圧電層４１と、上部圧電層４０の上面に配置された複数の個別電極４３と、上部圧電層４０と下部圧電層４１の間に配置された第１共通電極４４及び第２共通電極４５と、接着剤４２を介して下部圧電層４１と接着された金属膜４６とを有している。下部圧電層４１の第１共通電極４４と重なる部分には、凹部４１ａが形成されている。個別電極４３は所定の駆動電位とグランド電位のいずれかの電位が選択的に付与され、第１共通電極４４は駆動電位に保持され、第２共通電極４５はグランド電位に保持される。接着剤４２は、下部圧電層４１よりも誘電率の低い接着剤であり、下部圧電層４１と金属膜４６を接着している。また、下部圧電層４１の凹部４１ａにも接着剤４２が充填されている。 （もっと読む）

【課題】液滴がより微細化したとしても、ノズルごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制し、より高精度な液滴吐出が可能な液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド２２は、縦振動型圧電素子を有する液滴吐出ヘッド２２であって、液滴を吐出するノズル２７を有するノズルプレート１と、ノズル２７に連通する連通孔１６と連通孔１６に連通され圧力を発生する圧力室４を有するスペーサ３と、圧力室４を振動させる振動板７とを備え、ノズルプレート１とスペーサ３と振動板７とを支持する基台１３を有する液滴吐出ヘッド２２において、基台１３が、金属製である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子において、成膜中及び／又は成膜後に圧電膜にかかる応力を効果的に緩和する。
【解決手段】圧電素子１は、基板１０上に下部電極３０と圧電膜４０と上部電極５０とが順次積層されてなり、基板１０と圧電膜４０との間に、基板１０の基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状体２１からなる柱状構造膜２０を備えたものである。柱状構造膜２０は、成膜中及び／又は成膜後の圧電膜４０にかかる応力を緩和する応力緩和層として機能することができる。電極とは別に柱状構造膜２０を設ける代わりに、下部電極３０を柱状構造膜構造としてもよい。 （もっと読む）