【課題】表面の凹凸パターンの凸部高さの均一化を図ることのできる印刷用版の製造方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ_２ボックス層１４ｂを有するＳＯＩ基板１４ｋの活性層１４ａにフォトリソグラフィ技術により凹凸パターンを形成して成形型１４とする工程と、成形型１４の凹凸パターン形成面に液体状樹脂１３ａを塗布する工程と、成形型１４の凹凸パターン面に塗布された液体状樹脂１３ａの層を挟んで、ガラス基板５２を成形型１４に押圧させ、その状態で加熱により液体状樹脂１３ａを硬化させて硬化樹脂層１３とする工程と、成形型１４を硬化樹脂層１３から剥離して、前記凹凸パターンが転写された硬化樹脂層１３とガラス基板５２からなる印刷用版５０を得る工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】個別電極と液体加圧室との間に位置ずれが生じても、液滴の吐出特性の変動が少ない液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０が開口している流路部材４と、セラミック振動板５２１ａ上に、共通電極５３４、圧電セラミック層５２１ｂおよび複数の個別電極本体５３５ａがこの順で積層されている圧電アクチュエータユニット２１とが積層されている液体吐出ヘッド１３であって、セラミック振動板５２１ａには、複数の液体加圧室１０と対向する流路部材４側の面に、平面形状が液体加圧室１０を内包する形状で、共通電極５３４が露出しない深さで開口している凹部５２１ｃがそれぞれ設けられているとともに、個別電極本体５３４ａの平面形状は、それぞれ凹部５２１ｃより小さい液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】貫通電極と他の部材とを絶縁するための絶縁性の膜が精度良く形成され、電気的特性が良好である液体吐出ヘッド用基板を歩留まり良く製造する方法を提供する。
【解決手段】（１）液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子１と、該素子と電気的に接続された電極層１１と、を第１の面側に有する基材２を用意する工程と、（２）基材の第１の面の裏面である第２の面に、電極層の一部が底面となる凹部５を設ける工程と、（３）凹部の内側面と底面とを絶縁性の膜２１で被覆する工程と、（４）底面を被覆する絶縁性の膜の一部をレーザー光２２により除去して、電極層を部分的に露出させる工程と、（５）電極層の露出した部分と電気的に接続するように、基板の第１の面と第２の面との間を貫通する貫通電極を設ける工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく且つ安定して良好な噴射特性が得られる液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２を備えた流路形成基板１０と、流路形成基板１０上に設けられる圧電素子３００と、を具備し、圧電素子３００が、圧電体層７０とこの圧電体層７０の両面に設けられる一対の電極６０，８０とで構成されていると共に、圧電体層７０がＢａＴｉＯ_３と、ＣａＴｉＯ_３と、（Ｂｉ_１／２Ｎａ_１／２）ＴｉＯ_３とを含有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルが形成された吐出面の撥水処理を容易に行うことができるとともにノズルからのインクの良好な吐出状態を実現することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】インクを吐出するノズルが形成される金属製のノズルプレート及びノズルに連通するインク流路を形成する複数の金属製のヘッドプレートを積層してインクジェットヘッドを製造する場合、ノズルが形成されていないノズルプレートを最外側に配置した状態でヘッドプレートと積層して拡散接合により一体化し、一体化された積層プレートのノズルプレート表面に対して撥水性樹脂微粒子を共析させた複合メッキ被膜を形成して撥水処理し、撥水処理されたノズルプレートに対して放電加工によりノズル孔を形成することで、撥水処理の影響を受けずにノズル孔を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドを構成する層間構造の間に発生し得る隙間を除去することにより、インクジェットヘッド内の気泡発生を防止できるので、より改善された性能のインクジェットヘッドを製造することができ、その製造収率を向上させることができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、インクジェットヘッドを充填剤の溶融温度以上に加熱する工程と、インクジェットヘッド内の隙間が充填されるように、インクジェットヘッドに充填剤を充填する工程と、インクジェットヘッドの隙間に充填剤が残存するようにしながら、インクジェットヘッドの外部に充填剤を排出する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板側の電極端子とリード端子との間の結合部が一旦加熱されて冷却された際に応力が生じても、結合部での信頼性の低下が抑えられる記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明の記録ヘッドは、電極パッド１０６とインナーリード１０５とがスタッドバンプ１０７を介して接続されている。電極パッド１０６とスタッドバンプ１０７との間の接続は、電極パッド１０６とスタッドバンプ１０７とが接触した状態で超音波振動が接続部に第一の方向に印加されることで行われている。そして、インナーリード１０５とスタッドバンプ１０７との間の接続は、インナーリード１０５とスタッドバンプ１０７とが接触した状態で超音波振動が接続部に第一の方向に交差する第二の方向に印加されることで行われている。 （もっと読む）

【課題】内部応力の発生を抑制できるとともに、発泡室のパターン不良の発生を防止できる、インクジェット記録ヘッド用基板、記録ヘッド、記録装置及びインクジェット記録ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッド用基板１１は、インク流路２５及び吐出口２３に連通する発泡室２２が形成されることとなる流路形成部材２１が積層されるものである。このインクジェット記録ヘッド用基板１１において、流路形成部材２１の、発泡室２２の周縁であって発泡室２２の側壁２１ａに繋がる下端面２１ｂに対応する位置に形成された、上面が平坦な平坦化層１を有する。さらに本発明のインクジェット記録ヘッド用基板１１は、平坦化層１の周囲に形成された、流路形成部材２１が直接接触する接触面２１ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成され、短辺と長辺を有する圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、を含み、圧電体層３０の対向する短辺が、平面視において、下部電極２０より外側に位置し、下部電極２０の側面と圧電体層３０とが接する領域に空洞部５０を有する。 （もっと読む）

【課題】ばらつきが少ない安定した吐出特性が得られる吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の吐出ヘッドの製造方法は、液状体の流路をフォトリソグラフィ法により形成する流路形成工程を備え、露光工程において、複数の流路の設計上の基準寸法に対して、露光中心Ｅ₀からの距離Ｌに応じた寸法補正が施された複数の流路露光パターンＣ１〜Ｃ２２を有するマスク２００を用いて、マザー基板１０３を一括露光した。 （もっと読む）

【課題】各圧力発生室に対応する振動板の変位量を均一化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が設けられたシリコン基板からなる流路形成基板１０と、流路形成基板１０上に設けられて圧力発生室１２の一方面を構成する振動板と、振動板を変位させて圧力発生室１２内に圧力を付与する圧力発生手段３００とを具備すると共に、振動板が、圧力発生室１２に対向する領域のシリコン基板に不純物がドープされてなる拡散層５５を含み、振動板の変形に伴う拡散層５５の抵抗値の変化を検出する検出手段２０２と、検出手段２０２の検出結果に基づいて圧力発生手段３００に印加する駆動電圧を調整する調整手段２０３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】優れた撥インク性を有し、かつその撥インク性を長時間保持できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズル２が設けられたノズルプレート１と、このノズルプレート１の表面を覆う樹脂膜３とを備えている。樹脂膜３は、鉛筆硬度が２Ｈ以上のものであり、この樹脂膜３の表面における少なくともノズル２の周縁領域は、最大高さが０．０２μｍ以上２μｍ以下の微細突起が０．１〜２００００個／μｍ²の分布密度で分布する３１凹凸面３２であって算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以下である凹凸面３２となっている。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドに設けられる複数の液体吐出基板同士の間、もしくは液体吐出基板の周囲に配されたプレートとの間にインクが溜まることなく、さらに、液体吐出基板の損傷などが生じないインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】樹脂５０７内部に空洞５０８を設けることで、隣り合う液体吐出基板２００と液体吐出基板２００の間に窪みを作ることなく、樹脂５０７の実質的な体積を減らしている。これによって液体吐出基板２００間の窪みにインク等が溜まることが無く、製造工程や製品の使用環境における温度変化で樹脂が伸縮しても、空洞５０８が無く樹脂５０７で満たされている場合と比べて、液体吐出基板２００に加わる外力を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】切断ブレードによって凹部を有する各種基板を良好に切断することができる基板の切断方法、及び基板を良好に切断して歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一方面側に凹部２２を有する基板４００を切断ブレード５０１で切断する際に、基板４００の凹部２２とは反対側の面を保持し、基板４００を凹部２２側の面から切断する。 （もっと読む）

【課題】複数種のインクを吐出することができ、小型化を図るとともに複数種インクによる印刷を可能とするヘッドチップユニット及びヘッドチップユニットの製造方法、インクジェットヘッド、並びに、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 ヘッドチップユニット２０は、一縁端２１ａ側から他縁端２１ｂ側に向かって形成されて他縁端２１ｂ側に開口するチャネル２９と配列方向に形成されてチャネル２９と一縁端２１ａ側で連通するインク室３２とを有するヘッドチップ２１が複数積層され、ヘッドチップ２１のインク室３２は、一方側Ｒ１に積層されている他のヘッドチップ２１のチャネル２９及びインク室３２と積層方向Ｒに重ならない位置まで形成された供給部３５を有し、一方側Ｒ１に積層された他のヘッドチップ２１には一方側Ｒ１に開口しヘッドチップ２１を貫通して供給部３５まで連通するインク供給孔３６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、高密度化、多ノズル化を容易に実現することが可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とし、さらには本発明の液滴吐出ヘッドを搭載することにより、装置の小型化を可能にし、高繊細・高品位の液滴吐出と高速駆動に対応し得る液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５のそれぞれに連通する吐出室６と、前記吐出室の底壁で形成される振動板８を変位可能に駆動するアクチュエータ１４と、前記吐出室のそれぞれに共通に連通するリザーバ部１７とは、それぞれ異なる平面上に区画形成され、前記リザーバ部の形成面１３に垂直な方向の投影面が前記吐出室および前記アクチュエータの形成面１１、１２内に包含されるように、前記吐出室６、前記アクチュエータ１４、前記リザーバ部１７をこの順に積層配置した構造とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な工程で撥水性の劣化、流路形成材の膨潤、流路形成材の基板面からの剥がれが生じ難い製法を提供する。
【解決手段】 吐出圧発生素子と、少なくとも流路となる部分を占有する固体層（流路型材）がポジ型レジストにより形成された基体上に、ノズル形成部材であるネガ型の活性エネルギー線硬化性材料を被覆し露光、現像により吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成するインクジェットヘッドの形成方法において、吐出口を形成する工程で吐出口と同様にしてガス抜き穴を形成する。 （もっと読む）

【課題】低い駆動電圧であっても変形量を十分大きくする。
【解決手段】圧電アクチュエータ５０は、圧電材料層５３における振動板５１と個別電極５５とによって挟まれている動作部２が流路ユニット４０の圧力室２１と対向するように、流路ユニット４０に接合されている。圧電材料層５３における動作部２の中央部分２ａは上向きに分極されており、縁部分２ｂは下向きに分極されている。これにより、個別電極５５に駆動電位を印加し、動作部２に下向きの電界を作用させると、圧電アクチュエータ５０における動作部２の中央部分２ａに対応する箇所は圧力室２１とは反対側に凸となるように湾曲し、縁部分２ｂに対応する箇所は流路ユニット４０に接合されている側とは反対側の端部が圧力室２１とは反対側に変位するように湾曲する。 （もっと読む）

【課題】製造中に基板の反りや亀裂、破損等が発生することなく、かつ精度の高い記録ヘッドを提供できるようにすること
【解決手段】シリコン基体１０１にポーラスシリコン層１０２を形成し、その上にインクジェット記録ヘッドの構成要素となる各層を形成し、吐出口１０９を形成した後にシリコン基体１０１を切り離し、その後にインク供給口を形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性に優れた液状体吐出ヘッドおよびその製造方法、並びに液状体吐出装置を提供すること。
【解決手段】液状体導入部材４０のフランジ部４３をケース３０のフランジ取付部３２上に配置することにより、液状体導入部材４０の溶着突起４４を、シート状部材５３を介して、ケース３０のフランジ取付部３２に当接させる。次に、フランジ部４３の上面４３ｂからホーン５５を押し当てて超音波振動を与え、いわゆる超音波溶着を行う。これにより溶着突起４４の周りの領域で摩擦熱が発生し、当該領域における溶着突起４４、シート状部材５３、フランジ取付部３２が溶融されて溶着が行われる。 （もっと読む）