【課題】基材の原子が、圧電層の駆動部分に拡散するのを抑制する、圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するためには、圧力室１０が形成される前のキャビティプレート２１にＡＤ法により振動層４１を形成し、振動層４１の上面に共通電極４３を形成した後、共通電極４３が形成された振動層４１の上面にＡＤ法により圧電層４２を形成する。次に、エッチングによりキャビティプレート２１に圧力室１０となる貫通孔を形成してから、圧電層４２の上面の圧力室１０と対向する部分に個別電極４４を形成する。次に、キャビティプレート２１、振動層４１、共通電極４３、圧電層４２及び個別電極４４の積層体を８５０℃程度で加熱することによって、圧電層４２に圧電特性を持たせるためのアニールと、個別電極４４及び共通電極４２の焼成とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】圧力室の側壁部の剛性を低下させることにより、振動板の撓み変形を促進し、圧電アクチュエータの変位量を増大させること。
【解決手段】インクジェットヘッド３は、ノズル５４及び圧力室５３を含むインク流路が形成された流路ユニット３１と、振動板７０と圧電層７１を有する圧電アクチュエータ３２を備えている。また、流路ユニット３１は、互いに積層されるとともに圧力室５３の一部分をそれぞれ形成する圧力室形成孔５３ａ，５３ｂが設けられた、少なくとも２枚のキャビティプレート４１，４２を有する。さらに、前記２枚のキャビティプレート４１，４２のうち、上層に位置してその表面に振動板７０が接合される第１キャビティプレート４１の、圧力室形成孔５３ａの外側領域には、貫通孔５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】一部分が湾曲した圧電層を有する圧電アクチュエータ及び液体移送装置を容易に製造する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するためには、圧力室１０が形成される前のキャビティプレート２１の上面に、ハーフエッチングにより、中央部に向かうほど深くなる湾曲面５１ａを有する凹部５１を形成し、凹部５１を形成したキャビティプレート２１の上面に、ＡＤ法により保護層４１を成膜する。次に、保護層４１の上面に共通電極４３を形成し、さらに、共通電極４３を形成した保護層４１の上面に、ＡＤ法により圧電層４２を成膜する。次に、エッチングにより、キャビティプレート２１の凹部５１が形成された部分を除去して、キャビティプレート２１を貫通する圧力室１０を形成する。次に、圧電層４２の上面に個別電極４４を形成し、その後、加熱処理を行って、圧電層４２のアニールと共通電極４３及び個別電極４４の焼成とを行う。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は，基板１８０の上方に犠牲層１８４を形成する工程と、犠牲層の上方に圧電体層１４２を形成する工程と、圧電体層の上方に第１電極１４０を形成する工程と、第１電極の上方に弾性層１０８を形成する工程と、弾性層の上方に、圧力室１２４を形成するための開口部および圧力室の側壁となる流路側壁１０６を有する流路形成層１０５を形成する工程と、流路形成層の上方に、ノズル孔１２６を有するノズルプレート１０２を形成して、圧力室を形成する工程と、犠牲層を除去して、基板を剥離する工程と、圧電体層の下方に第２電極を形成する工程と、を含み、流路側壁は，感光性樹脂からなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】フォトリソプロセスにおいて、配線パターンが正確に形成でき、配線切れ等の配線パターン異常が少なく、信頼性の高い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】フォトリソプロセスによって、接合基板３０上に配線パターン３５，３７を形成する際に、貫通孔３３に気泡を巻き込んで侵入したレジストＲが、レジストＲの仮焼成工程で気泡Ｂが膨張して貫通孔３３から外部に向かっても、貫通孔３３の内面に形成された段差部３８で破裂、噴出するので、貫通孔３３内部への飛散ですみ、接合基板３０上に塗布されたレジストＲ４への飛散を少なくできる。したがって、塗布したレジストＲの膜厚が均一に保て、その後の工程で、配線パターン３５，３７が正確に形成され、配線切れ等の配線パターン異常を少なくでき、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００の信頼性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】溝が設けられた振動板上にエアロゾルデポジション法を用いて形成した拡散防止層を備える圧電アクチュエータの製造方法、並びに液体吐出ヘッドの製造方法において、拡散防止層を振動板上にムラなく形成する。
【解決手段】拡散防止層形成工程に、振動板８０に含まれる元素の圧電層８１への拡散を規制するセラミックス粒子を含むエアロゾルを、振動板８０の溝８６が形成された面に向けて第一の方向から吹き付ける段階と、前記第一の方向と異なる第二の方向から吹き付ける段階とを含み、振動板８０上の同一範囲につき複数の互いに異なる方向から前記エアロゾルを吹き付けることにより振動板８０上に拡散防止層９０を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減でき、製造プロセスを簡素化できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は，ノズル孔１２６および供給口１２２を有するノズルプレート１０２と、ノズルプレートの上方に形成され、ノズル孔および供給口が通じている圧力室１２４の側壁を構成する基板１０６と、圧力室および基板の上方に形成された弾性板１０８と、弾性板の上方に形成された圧電素子１１２と、を含み、供給口から圧力室に液体が供給され，ノズル孔から液体が吐出される。 （もっと読む）

流体噴射カートリッジは、第１間隔の流体流路を有する本体と、より狭い第２間隔の流体流路を有するダイと、第１表面で本体に接合され、第２表面でダイにプラズマ接合されるインターポーザとを含む。このインターポーザは、第１表面と第２表面との間に流体流路を含み、これらの流路は本体及びダイのそれぞれの流路と実質的に整列する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減でき、製造プロセスを簡素化できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は，ノズル孔１２６を有するノズルプレート１０２と、ノズルプレートの上方に形成され、貫通孔１２８、供給口１２２、およびリザーバ空間１２０を有するリザーバプレート１０４と、リザーバプレートの上方に形成され、貫通孔および供給口が通じている圧力室１２４の側壁を構成する基板１０６と、圧力室および基板の上方に形成された弾性板１０８と、弾性板の上方に形成された圧電素子１１２と、を含み、リザーバ空間から供給口を介して圧力室に液体が供給され，液体が貫通孔を介してノズル孔から吐出される。 （もっと読む）

【課題】流路ユニットと一体化された振動板と圧電層とを接着剤で接合したときに、圧力室上における振動板の変形を抑制して接着剤の厚みが不均一になるのを防止する。
【解決手段】まず、圧力室３３を有する流路ユニット２２に、圧力室３３に対応する凹部７０が形成された振動板６０を一体化させる。次に、振動板６０の流路ユニット２２との接合面と反対側の面に、前記凹部７０を覆うように、且つ、前記振動板６０との間に接着剤８１を介在させながら、圧電層６１〜６３を設置する。そして、振動板６０と圧電層６１〜６３のうちの一方を他方に押し付けて、接着剤８１によって圧電層６１〜６３を振動板６０に接着する接着する。その際、圧電層６１〜６３で覆われた凹部７０内を減圧することで、振動板６０の圧力室３３と対向する部分を圧電層６１〜６３側に引き寄せる。 （もっと読む）

【課題】 ＢＴＪのヒータボードプロセス（単層配線対応）で、ヒータ保護膜として最適な膜厚と、異方性エッチングストップ層として必要な膜厚を実現するためのインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッド・プロセスを提案する。
【解決手段】 ｐ−ＳｉＮｘをヒータ保護膜として必要な膜厚まで成膜し、その後にヒータ上部にＴａの耐キャビテェーション層を形成後、ｐ−ＳｉＮｘを再度メンブレンとして必要な膜厚まで成膜する。
次に、２層目のｐ−ＳｉＮｘをＴａをエッチングストップ層として削りこみ、ヒータ保護膜それぞれに必要な膜厚を実現する。 （もっと読む）

【課題】 ページ幅インクジェットプリントヘッド及び同プリントヘッドを駆動する方法を提供すること。
【解決手段】 画像を印刷するために、所定の温度範囲内においてページ幅インクジェットプリントヘッドを駆動する方法は、少なくとも一つの温度センサと温度判別ユニットとによって基板の温度を検知するステップと、温度が所定のしきい値を下回るかをインク吐出駆動ユニットが判定するステップと、温度が所定のしきい値を下回るとプリントヘッドが所定のしきい値を超える温度に加熱されるようにアクチュエータを加熱する予熱工程を実行するステップと、熱アクチュエータが、プリントヘッドからインクを吐出するには不十分であるエネルギーによって加熱されるように、予熱工程を制御するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリントヘッド用のノズル組立体を提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッド用のノズル組立体は、アクチュエータを有するインクジェットノズルを備え、前記アクチュエータの抵抗性素子が電流によって加熱されるときに、アクチュエータがインクジェットノズルからインク滴を吐出させる。ノズル組立体はまた、エネルギーパルスをアクチュエータの抵抗性素子に供給するための駆動トランジスタと、駆動トランジスタを制御するための制御ロジックと、を備える。駆動トランジスタと制御ロジックとがシリコン基板上に形成され、且つインクジェットノズルが、駆動トランジスタと制御ユニットとの少なくとも一つを覆うように形成される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの特性を向上させる。また、生産性の高い液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板〔１３〕の第１面上に配置された圧電素子〔Ｐｉ〕と、前記振動板の前記第１面と逆側の面である第２面と対向して配置された平板部材〔２１〕と、前記振動板および前記平板部材との間に位置し、キャビティ〔Ｃａ〕およびリザーバ〔Ｒ〕を区画する側壁部材〔１１、３１〕と、を有し、前記リザーバ〔Ｒ〕に吐出液を供給する供給孔〔２１ａ〕を前記平板部材〔２１〕に設ける。かかる構成によれば、供給孔を、振動板側と逆側に位置する平板部材に設けたので、供給孔の加工が容易となる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリントヘッド組立体を提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッド組立体は、長手方向に離間して配置された複数の電力供給点とアース供給点とを含むインクジェットプリントヘッドと、長手方向に延びる少なくとも一つの電力母線及びアース母線と、複数の電力供給点を少なくとも一つの電力母線に接続し且つ複数のアース供給点を少なくとも一つのアース母線に接続するように構成された少なくとも一つのＴＡＢフィルムと、該フィルムの一方の面に設けられ、母線をそれぞれ対応する電力及びアース供給点に接続する電圧及びアース相互接続手段と、該フィルムの他方の面に設けられ、プリントヘッドにプリントコントローラからの制御データを提供するように構成された制御線相互接続手段とを備え、該フィルムは、プリントヘッドの一つのエッジに沿って接続されることのみが必要なように構成される。 （もっと読む）

【課題】 複製によってインクジェットプリントヘッドを製作する方法を提供すること。
【解決手段】 印刷媒体の幅に及ぶインクジェットノズル配列を有するインクジェットプリントヘッドを製作する方法は、各々のノズル配列が動作可能にＣＭＯＳ駆動回路に接続されるように、基板に対して実施される集積回路製作技術を用いてインクジェットノズル配列を製作するステップを含む。該ノズル配列を製作するステップは、所望の形態を有する配列を得るように、ノズル配列の一つに対して実施される複製手順を使用することを含む。この複製手順では、複数のノズルのポッドを満たすように単一のノズル配列が複製される。ノズル配列を製作するステップはさらに、ポッド群を形成するようにポッドを複製するステップと、プリントヘッドのセグメントを形成するようにポッド群を複製するステップと、プリントヘッドを形成するようにセグメントを複製するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】供給口の壁面に形成された保護層が剥離しにくく、かつ、インクが容易に基板まで浸透しない構造を備えたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギー発生素子１３を一方の面に有する基板１０と、エネルギー発生素子１３に対応して設けられたインクの吐出口１１と、吐出口１１に連通するインクの流路１９とを有する。インクジェット記録ヘッドは、基板１０の一方の面から一方の面の裏面である他方の面までを貫通し、流路１９と連通する供給口３と、供給口３の内壁を覆う被覆膜２とをさらに有する。被覆膜２は基板１０の一方の面の上にまで設けられ、かつ被覆膜２は基板１０の一方の面の上に設けられた層間絶縁層３２に覆われている。 （もっと読む）

【課題】ストレート部に液体を導入する領域を異方性エッチングで形成する場合、ノズル形状は、ストレート部を構成する円柱と、液体導入領域を構成する円柱状の凹部とを組み合わせた凸形状となる。液体導入領域とストレート部に段付きの形状を用いた場合、液滴吐出器内での液体のメニスカスが乱れるため、圧力発生室の駆動周波数を上昇させた場合液体の吐出に乱れが発生し、高速駆動が困難となり、描画速度が低下する。
【解決手段】第１マスクとしてのフォトレジスト層２１１をマスクとして異方性エッチングを行うことでノズルとなる凹部ａを形成し、第２マスクとしてのフォトレジスト層２１２をマスクとして等方性ウェットエッチングを行い、お椀型の凹部ｂを形成する。従来用いられていた円柱状の凹部を用いる場合と比べ、液滴吐出ヘッド１１５からの吐出による振動に対して、液体のメニスカスが安定し、高速描画が可能となる。 （もっと読む）

インクジェット印刷装置用プリントヘッドアセンブリはプリントヘッドダイと、プリントヘッドダイに接続されるフレキシブル回路とを備える。プリントヘッドダイは、基板と、基板に電気的に接続される第１の接地ネットワークと、素子層と、素子層に電気的に接続される第２の接地ネットワークとを備える。第１の接地ネットワークおよび第２の接地ネットワークはプリントヘッドダイ内で相互に電気的に絶縁される。第１の接地ネットワークおよび第２の接地ネットワークはフレキシブル回路において相互に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】発泡室およびインク流路を形成するインク流路壁を高い寸法精度で形成可能な、注型法を用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板の上に、インク流路壁となる構造を有する第一のネガ型レジスト層を形成し、それを被覆するように第一の光崩壊性ポジ型レジスト層を形成した上で、第一のネガ型レジスト層の表面が露出するまで研磨する。その後、研磨面の上にインク流路となる構造を有する第二の光崩壊性ポジ型レジスト層を形成し、それを被覆するように第二のネガ型レジスト層を形成した上で、インク吐出口を形成する。そして、第一の光崩壊性ポジ型レジスト層および第二の光崩壊性ポジ型レジスト層を除去して、発泡室およびインク流路を形成する。 （もっと読む）