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Fターム[2C057AP31]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | ヘッドの製造 (18,267) | 加工方法 (12,269) | エッチング使用 (2,606)

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【課題】 印刷時に、開口から吐出されたインク滴をできるだけまっすぐ前方に飛翔させることができるため、印刷精度の高い印刷を行うことが可能な圧電インクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズルプレート1dの、ノズル3の開口30が形成された表面1eに、その平面形状の中心から外周縁までの距離Lが、全周に亘って、式(1):
1.2R<L<2R (1)
〔Rは、ノズルの開口30の円の半径である。〕
を満足する範囲内とされた、撥水処理されない領域A1を設け、この領域A1より外は撥水層12を形成して撥水処理した圧電インクジェットヘッドである。 (もっと読む)


【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子は,基体と、基体の上方に形成されたバッファ層5と、バッファ層5の上方に形成された圧電体膜6と、圧電体膜6の上方に形成されたバリア層8と、を含み、バッファ層5は、ペロブスカイト型のPb((Zr1−aTi1−b)Oからなり、バリア層8は、ペロブスカイト型のPb((Zr1−cTi1−d)Oからなり、Xは、V、Nb、およびTaのうちの少なくとも二種からなり、Zは、V、Nb、およびTaのうちの少なくとも二種からなり、aは、0.15≦a≦0.8の範囲であり、bは、0.05≦b≦0.4の範囲であり、cは、0.15≦c≦0.8の範囲であり、dは、0.05≦d≦0.4の範囲であり、圧電体膜は、ペロブスカイト型のリラクサー材料からなる。 (もっと読む)


【課題】 インクジェット記録時に発生するサテライトやミストを大幅に低減することができる記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 1つのヒーターに対し2つの吐出ノズル2を備えている。また、それぞれの吐出ノズル2の中心線がヘッドの吐出方向で交差する構造である。 (もっと読む)


【課題】 高解像度化が図れ、かつ小型化も図れるようにした液滴吐出ヘッドの製造方法と、その製造方法によって製造される液滴吐出ヘッドと、その液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル56と、ノズル56と連通し、液体が充填される圧力室50と、圧力室50の一部を構成する振動板48と、圧力室50へ流路66、68を介して供給する液体をプールするプール室38と、振動板48を変位させる圧電素子46と、を有する液滴吐出ヘッド32の製造方法であって、支持基板76上に振動板48を設けるとともに、振動板48に圧電素子46を設け、配線90を備えた天板40を振動板48に設けた後、支持基板76を振動板48から取り外してなる圧電素子基板70に、圧力室50が形成された流路基板72を接合する。そして、この製造方法によって製造される液滴吐出ヘッド32と、その液滴吐出ヘッド32を備えた液滴吐出装置10とする。 (もっと読む)


【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】開口4を封止することで形成される中空構造部分2を有した機能素子1において、前記開口4を物理蒸着によって成膜される封止膜6で封止する。そして、前記封止膜6は、前記物理蒸着の際の成膜温度または成膜後のアニール温度が、当該封止膜6の成膜材料のリフロー温度以上に昇温することにより形成する。これにより、前記封止膜6の成膜材料が溶融して表面張力による流動を起こすようにして、前記開口4内への封止膜6の成膜材料の充填を容易にする。 (もっと読む)


【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層(流路となる構造)とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、一般式(1)で表されるポリメタクリレート共重合体系樹脂とメラミン系の縮合性架橋剤とを有する分子間架橋型のポジ型感光性樹脂組成物の、電離放射線の照射による主鎖の崩壊反応により形成する。
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【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】た開口3を封止することで形成される中空構造部分2を有した機能素子1において、前記開口3の断面形状を、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成し、開口側壁部分が垂直面である場合に比べて、開口形成時の残渣物の除去を容易にし、前記開口3を封止する封止膜5の成膜材料を堆積させるのも容易にする。 (もっと読む)


【課題】 カルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂を用いたポジ型感光性樹脂組成物の露光感度を向上させるととも、感光波長の選択幅を広げること、更には、このポジ型感光性樹脂組成物を用いることで基板から吐出口方向への高さ方向に形状が変化するインク流路を精度良く、かつ効率良く形成できるパターン形成方法及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくともカルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂と光酸発生剤とを用いてポジ型の感光性樹脂組成物を調製する。 (もっと読む)


【課題】低電圧で高速でのインク液滴の吐出が可能な静電式インクジェットの液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口が形成された吐出基板と、各吐出口に対応する吐出電極と、吐出口を通過して吐出基板から突出する溶液ガイドとを有し、かつ、溶液ガイドは、少なくとも先端部が樹脂材料に高誘電率材料粒子を分散してなる複合材料で形成されたものであることにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】 ノズルプレートの製造工程の簡略化を図るとともに、より微細な凹凸を低コストで形成することができるノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出するためのノズル孔の周囲に微小な凹凸が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記凹凸の凸部または凹部に対応した凸部202A1を有する型202Aを用いて、前記凹凸の凸部とほぼ同パターンのマスク205を基板105の表面に形成する第1の工程と、マスク205を用いて基板105をエッチングすることにより、基板105の表面に微小な凹凸を形成する第2の工程とを有する。 (もっと読む)


マイクロ流体噴出ヘッド用半導体基板。この基板は、該基板上に配置された複数の流体噴出アクチュエータを含む。それら流体噴出アクチュエータの各々は、薄膜ヒータと該ヒータと隣接する1つ或はそれ以上の保護層とを含む薄いヒータ・スタックを含む。前記薄膜ヒータが、AlN、TaN、並びに、TaAl合金から本質的に成るナノ-結晶世構造を有するタンタル・アルミニウム窒素薄膜材料から構成され、その薄膜材料が約30から約100オーム/スクエアまでの範囲のシート抵抗を有する。薄膜材料は、約30から約70原子%までのタンタル、約10から約40原子%までのアルミニウム、並びに、約5から約30原子%の窒素を含有することから成る。 (もっと読む)


液滴射出器は液体流を制御するための複数の突起を有する。
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【解決手段】
インクジェットプリントヘッド(130)は、1つ以上の噴出モジュール(131)を備え、各モジュールはシリコンチップ(34)、モジュールのフロント部(133)に隣接した複数の噴出ノズル(139)、ノズル用の噴出セル(137)及びセル(137)のインク用の分配チャンネル(138)を備える。モジュールはフロント部(133)に隣接し分配チャンネル(138)に流体連通する分布チャンネル(149)と、関連チップ(134)に一体化されたノズル層(152)とを備え、噴出ノズル(139)がフロント部に平行に作られる。ヘッド(130)は、モジュールが取り付けられ且つ分配チャンネル(138)と流体連通するインク用供給ダクト(143)を形成する支持部(132)と、供給ダクト(143)と噴出セル(139)との間に流体密封を保証するため支持部とモジュールの間に設けられた密封手段(150)と、を更に備える。 (もっと読む)


微細加工されたデバイス、および微細加工されたデバイスを形成するための方法が記載される。シリコン(680)を含む薄膜が、シリコン・オン・インシュレーター基材(685)をシリコン基材に接着させることによって、シリコン本体(25)の上に形成される。シリコン・オン・インシュレーター基材の、ハンドル層(695)および絶縁体層(690)は、取り除かれ、シリコン本体に接着されたシリコンの薄膜を残し、その結果、膜と本体との間には、絶縁体物質の介在層は残らない。圧電性層は、膜に接着される。
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【課題】高粘度インクがノズルプレート上で移動しやすく、高粘度インクをノズルプレート上から除去しやすくすることにより、ワイピングにより正常なインク吐出ができる状態に回復させることを容易にする。
【解決手段】予め粗面化処理(酸素プラズマ処理又はサンドブラスト処理)により表面粗さ(Ra)0.01〜0.1とされたノズルプレート21表面に、フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としてプラズマCVD法により0.5μm以下のプラズマ重合膜を形成し、その皮膜上にフッ素樹脂を塗布し、撥インク膜を形成する。プラズマ重合の原料となるフッ素含有化合物としては、パーフルオロアルカン、パーフルオロアルケン、パーフルオロエーテルが好ましい。ノズルプレート21の基材は、ガラス転移点(Tg)100℃以上の樹脂又は金属からなることが望ましい。 (もっと読む)


【課題】 振動板の変位量を低下することなく圧電素子の絶縁破壊を防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12と、この圧力発生室12に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電素子300の外周面に絶縁体からなる保護膜100を有し、且つ該保護膜100は、前記圧電素子300の上面の主要部に対向する領域に他の領域よりも膜厚の薄い薄膜部100aを有することにより、圧電体層70の絶縁破壊が防止され且つ圧電素子の駆動による振動板の変位が阻害されない。 (もっと読む)


【課題】 ワイヤボンディング不良の発生を防止することにより、製品の歩留まり及び信頼性を向上させたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動用基板1と、駆動用基板1上にポリイミド層21を介して配置されたドライバーICチップ11と、このチップ11と駆動用基板1との間に配置された圧電体膜6と、圧電体膜6にチップ11からの電圧を印加するためのボンディングワイヤ13と、駆動用基板1内に形成された圧力発生室1bであって、圧電体膜6によって加圧されるインクを入れる圧力発生室1bと、チップ11の裏面と圧電体膜6との間にポリイミド層21により設けられた空間11aであって、圧力発生室1b内のインクを加圧する際に圧電体膜6の動きを阻害しないための空間11aと、を具備するものである。 (もっと読む)


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