【課題】流体吐出装置の熱酸化物コーティングを提供する。
【解決手段】流体吐出装置は、流路本体と、第１の酸化物層と、膜と、第２の酸化物層と、を含む。流路本体は、第１の外表面と、その反対側の第２の外表面と、複数の流路であってそれぞれが少なくとも第１の外表面から第２の外表面まで延在する流路と、を有する。第１の酸化物層は、少なくとも流路のそれぞれの内表面並びに流路本体の第１の外表面及び第２の外表面を被覆し、｛１００｝面に沿った厚さの変動が５％未満である。膜は、第１の外表面を有する。第２の酸化物層は、膜の第１の外表面を被覆し、｛１００｝面に沿った厚さの変動が５％未満であり、第１の酸化物層と結合される。 （もっと読む）

【課題】高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子とそれに通電するためのスイッチング素子とがｐ型半導体基体１に集積化されている。スイッチング素子は、半導体基体１の表面に設けられたｎ型ウェル領域２と、それに隣接して設けられチャネル領域を提供するｐ型ベース領域６と、その表面側に設けられたｎ型ソース領域７と、ｎ型ウェル領域２の表面側に設けられたｎ型ドレイン領域８，９と、チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極４とを有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタである。ベース領域６は、ドレイン領域８，９を横方向に分離するように設けられた、ウェル領域２より不純物濃度の高い半導体からなる。 （もっと読む）

【課題】キュリー温度が低く、強誘電性能に優れた非鉛系ペロブスカイト型酸化物を提供する。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物は、下記一般式（Ｐ）で表されるものである。
（Ｂｉ_ｘ1，Ｂａ_ｘ2，Ｘ_ｘ３）（Ｆｅ_ｙ1，Ｔｉ_ｙ2，Ｍｎ_ｙ３）Ｏ_３ ・・・（Ｐ）
（式中、Ｂｉ及びＢａはＡサイト元素であり、ＸはＰｂ，Ｂａを除く平均イオン価数２価の１種又は複数種のＡサイト元素である。Ｆｅ，Ｔｉ，ＭｎはＢサイト元素である。Ｏは酸素。０＜ｘ１＋ｘ２＜１．０，０＜ｘ３＜１．０，０＜ｙ１＋ｙ２≦１．０，０≦ｙ３＜１．０，０＜ｘ１，０＜ｘ２，０＜ｙ１，０＜ｙ２。Ａサイト元素とＢサイト元素と酸素のモル比は１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】本発明はマイクロエジェクター及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるマイクロエジェクターは、チャンバ内の上部空間に配置される隔壁部と前記チャンバ内の下部空間に配置され前記隔壁部と共に流体の吐出方向と同一方向に流路を形成する突出部とを含む流路プレートと、前記流路プレートの上部の前記チャンバに対応するように形成され、前記チャンバからノズルへ流体吐出の駆動力を提供するアクチュエータと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、インク流路が形成されるインクジェット基板と、上記インクジェット基板から上記インク流路の外側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離による切断面が形成される切断部と、上記切断部の一面から上記インクジェット基板の厚さ方向の内側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離を補助する切断補助部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ダミー基板上に圧電アクチュエータを形成するステップと、前記圧電アクチュエータをインクジェットヘッドのヘッドセル単位に切断するステップと、前記圧電アクチュエータと対応する位置に形成されるインクチャンバを含むインクジェットヘッド基板を設けるステップと、前記圧電アクチュエータと前記インクチャンバが互いに対応するよう、前記ダミー基板と前記インクジェットヘッド基板を接合するステップと、前記ダミー基板を除去するステップと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】引出電極間の短絡による圧電アクチュエーターの駆動不良の減少した圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子７３の形成工程後、エッチング工程において、後に形成される引出電極９０間の振動板５３の少なくとも一部を、エッチング残り上電極膜８３が除去され、振動板５３が除去されない条件でエッチングする。圧電素子形成工程の際に、エッチング残り上電極膜８３が引出電極９０間に生じても、エッチング残り上電極膜８３がエッチングによって分断され、エッチング残り上電極膜８３に形成される引出電極９０間の絶縁を保つことができる。したがって、引出電極９０間の短絡によって生じる圧電アクチュエーターの駆動不良が減少した圧電アクチュエーターの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】露出電極は、圧電層の振動層と反対側に露出しているため、エッチングによって貫通孔を形成する場合には、露出電極を形成した後に貫通孔を形成すると、エッチング液によって露出電極が損傷しまう虞がある。また、これを防止するためには、エッチングにより貫通孔を形成する前に、露出電極にマスクをするなど余分な工程が必要となる。
【解決手段】本発明の目的は、エッチング液によって露出電極が損傷してしまうことがなく、上述したマスクの処理などが不要な圧電アクチュエータの製造方法、及び、このような圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供することである。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、インクなどの液体に対する耐性に優れ、流路形成部材の基体との密着性が良好であり、信頼性の高い吐出性能を有する液体吐出ヘッドを提供とすることにある。
【解決手段】本発明は、基体と、該基体の上に液体を吐出するための吐出口と該吐出口に連通する液体流路とを構成する流路形成部材と、を含む液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材は有機樹脂で形成され、前記基体の上であって前記流路形成部材の内部に無機材料からなる土台部材を有し、該土台部材は前記流路形成部材と接する面に凹凸を有することを特徴とする液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 高精度に流路、吐出口が形成された液体吐出ヘッドを高い生産効率で得られる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路の壁を備えた流路壁部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、特定の化合物を含む組成物の層を基板上に設ける工程と、
前記組成物の層を露光し、露光された部分を除去して、前記組成物の層から前記流路の型を形成する工程と、カチオン重合性の樹脂と、カチオン重合開始剤と、を含んだ前記流路壁部材となる被覆層を前記型を被覆するように設ける工程と、前記被覆層を露光し、露光が行われなかった部分を除去して前記吐出口を形成する工程と、前記型を除去して前記流路を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体
噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室５２と、圧力発生室５２
内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段１１と、複数の圧力発生室５２の共通の液
体室となるマニホールド５３と、マニホールド５３を封止する可撓性材料からなる封止膜
６１を有する封止基板６０とを具備し、封止膜６１上のマニホールド５３に対向する領域
には、金属パターンからなる発熱部６７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高精度な寸法で、高い歩留りで形成できるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１０では、高剛性のアルミナ等のセラミックスからなる圧力室支持部材３０上に、金属製の圧力室プレート４０を接着している。圧力室プレート４０には圧力室４３が形成され、圧力室支持部材３０には、圧力室４３にインクを供給するインク供給路３１と、圧力室４３からインクをノズルプレート２０に形成したノズル孔２１に吐出するインク出口孔３３とを形成している。そして、圧力室プレート４０上には、ダイアフラム５０を設け、当該ダイアフラム５０上に、圧電素子ユニット６０を設けて、圧電素子ユニット６０の圧電素子活性部により圧力室４３のインクに圧力を付加する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ圧電素子，圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置、ならびに圧電素子の製造方法等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と第２電極とによって挟まれた圧電体層を有する圧電素子であって、前記第１電極は、前記圧電体層側の第１の面を有する第１導電層と、前記第１の面において形成され、前記第１の面側の第２の面を有する第２導電層と、を含み、前記第１の面の法線方向から見て、互いにオーバーラップする、前記第１電極、前記圧電体層および前記第２電極から構成される部分を、駆動部としたとき、前記第２導電層の少なくとも一部は、前記駆動部内の前記第１の面の外周辺よりも内側に配置され、前記第２の面の面積は、前記駆動部内の前記第１の面の面積よりも小さく、前記第２導電層は、ニッケル酸ランタンを主成分とする。 （もっと読む）

【課題】位置決めピンにより位置決め孔の開口縁部にチッピングが生じることを抑制して印刷品質が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル開口を有するヘッド本体１０と、位置決めピン２３が設けられたベースプレート２０と、位置決め孔５１が設けられてシリコン基板からなる位置決めプレート５０とを備え、位置決めピン２３を位置決め孔５１に挿通することでヘッド本体１０をベースプレート２０の所定位置に配置し、位置決め孔５１の位置決めピン２３が挿通される側の開口縁部を面取りする。 （もっと読む）

【課題】表側と裏側とを有する基板を含むマイクロエレクトロニクス・デバイスに基板を貫通する相互接続部を形成する方法を提供する。
【解決手段】基板の表側に回路素子（１３４）を形成するステップと、回路素子（１３４）に達するトレンチ（１３８）を基板の裏側に形成するステップと、ポリマー絶縁材料からなる層（１４０）をトレンチ（１３８）内に形成するステップと、ポリマー絶縁材料からなる層（１４０）を基板の表側から露出させるために、回路素子（１３４）に開口（１５０）を形成するステップと、ポリマー絶縁材料からなる層（１４０）のうち開口（１５０）によって露出された部分を基板の表側から除去するステップと、回路素子（１３４）と電気的に通じている導電相互接続層（１４２）をトレンチ（１３８）内に形成するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】製造過程におけるシリコンウエハーの欠けや割れの発生を抑制できると共に、異
物の発生を抑制することができるシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造
方法を提供する。
【解決手段】第１のウエハー１１０上に圧力発生素子を形成すると共に、第２のウエハー
１３０上に第１の基板１０が収まる深さの凹部１３１を形成し、第２のウエハー１３０の
凹部１３１内に第１のウエハー１１０を接合して接合体２００を形成し、第２のウエハー
１３０の第１のウエハー１１０が接合された面の少なくとも外周部に耐エッチング性を有
する材料からなる保護膜１５０を形成してこの保護膜１５０で第２のウエハー１１０の表
面を覆い、接合体２００の第１のウエハー１１０側の面を、第１のウエハー１１０の表面
と第２のウエハー１３０の表面とが同一平面となるまで加工し、その後、接合体２００を
所定サイズの複数のチップに分割する。 （もっと読む）

【課題】微粒子が微細孔の内部に累積して微細孔を塞ぐのを回避可能なノズルプレートを提供する。
【解決手段】プレート１２は、当該プレート１２の頂部および底部を貫通するよう形成され、かつ内表面が平滑であり、内径がプレート１２の底部から頂部へ向かうに従い大きくなるよう形成される複数の微細孔１４を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、それぞれ異なるサイズの液滴を吐出する厚みの異なる流路壁を同一基板上に有する液体吐出ヘッドを容易に製造できる方法を提供する。
【解決手段】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、少なくとも、第１の液滴と該第１の液滴よりも大きいサイズの第２の液滴とを吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、流路壁は第１液滴用流路壁と第２液滴用流路壁とを含み、（１）基板上に溶解可能な樹脂を配置しパターニングすることにより流路パターンを形成する工程と、（２）前記基板及び前記流路パターンの上に第１の被覆樹脂を配置しパターニングすることにより、前記第１液滴用流路壁と前記第２液滴用流路壁の土台を形成する工程と、（３）前記基板、前記流路パターン及び前記土台の上に表面が前記第１液滴用流路壁よりも高くなるように第２の被覆樹脂を配置しパターニングすることにより、前記第２液滴用流路壁を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有するアクチュエータ、液滴噴射ヘッド、並びにそれらの製造方法と液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ２００は、第１の面を有する基板と、第１の方向に延びる複数の第１の導電層４０と、第１の導電層４０の少なくとも一部を、それぞれ覆うように形成された第１の部分５１と、第１の部分５１以外の第２の部分５２ａと、を有する、圧電体層５０と、第１の面と直交する方向から見て、第１の導電層４０の少なくとも一部とオーバーラップし、かつ、第１の部分５１の少なくとも一部を覆う第２の導電層６０と、第２の導電層６０の上に形成され、第１の方向に延びる第１リード配線７１と、第１リード配線７１の一部を覆うように形成された保護膜８０と、を含み、圧電体層５０は複数の第１の開口部５６を有し、圧電体層５０の第１の部分５１は、第１の開口部５６に挟まれた部分である。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのようなマイクロ電子機械デバイスにおけるノズルを形成するための方法および装置を含む技術を提供すること。
【解決手段】ノズル４６０は、層４２０がデバイスの別の部分４４０上にボンディングされる前に、層４２０内に形成される。ボンディング前に、層４２０内にノズル４６０を形成すると、所望の深さと所望の幾何学的形状を有するノズル４６０を形成することができる。ノズル４６０に対して、特定の幾何学的形状を選択すると、インク流れの抵抗を減らし、マイクロ電子機械デバイスにわたるノズル４６０の均質性を改善できる。 （もっと読む）