【目的】上下２段に配置した圧力室の間に共通の配線層を配置することにより、高密度化及び小型化と工数の簡略化とを同時に図ることができると共に、上下の各圧力室を独立して動作させることが可能なインクジェットヘッドの提供。
【構成】圧力発生手段によってインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、第１の圧力室11が形成され、該第１の圧力室11の壁面の一部を形成する第１の振動板13に配設された第１の圧力発生手段を有する第１の層10と、第２の圧力室21が形成され、該第２の圧力室21の壁面の一部を形成する第２の振動板23に配設された第２の圧力発生手段を有する第２の層20と、前記第１の層10の前記第１の圧力発生手段及び前記第２の層20の前記第２の圧力発生手段にそれぞれ電圧を印加する配線が形成された配線層30とを有し、前記配線層30は、前記第１の層10と前記第２の層20との間に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の膜厚のパターン化した電気機械変換膜を製造する製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極上に部分的に表面改質を行う工程と、第１の電極上にゾルゲル液をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程と、前記のゾルゲル液をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程とを繰返し行い所望の膜厚を得る工程と、でゾルゲル法にて電気機械変換膜を形成する電気機械変換膜の製造方法において、第１の電極上にゾルゲル液をインクジェット方式により部分的に塗布する工程では、第１層目のゾルゲル液の塗布の着弾時の隣接ドットが重なるように配置され、第２層目以降のゾルゲル液の塗布量を第１層目のゾルゲル液の塗布量より少量とし、着弾時の隣接ドットが重ならないように配置されるようにパターン化した。 （もっと読む）

【課題】変位量が大きく、且つ信頼性の高い薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０１と、基板１０１の上に形成され、両端または周縁が基板１０１に固定された下電極膜１０３と、下電極膜１０３の上に形成され、駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する圧電体膜１０４と、圧電体膜１０４の上に形成された上電極膜１０５と、を有する薄膜アクチュエータ１であって、上電極膜１０５は、複数の電極膜から構成され、複数の電極膜のうち、圧電体膜１０４に接する電極膜は、初期応力としての引張応力を有し、圧電体膜１０４に接する電極膜の上層の電極膜は、引張応力よりも小さい初期応力を有している。 （もっと読む）

【課題】超疎油性表面を有するインクジェットプリントヘッド前面またはノズルプレートを提供する。
【解決手段】シリコン基板１２の上に、シリコン基板１２を侵食せずに選択的なエッチングが可能である第１材料１４を設け、シリコン基板１２または第１材料１４を侵食せずに選択的なエッチングが可能である第２材料１６を蒸着する。エッチングにより、柱または溝のアレイ１８を有する、テクスチャを持たせたシリコン基板（左側）、または、張出し凹状構造２０を備える柱または溝のアレイ１８を有する、テクスチャを持たせたシリコン表面（右側）を作製する。 （もっと読む）

【課題】スパッタに必要な金属が減少することである。
【解決手段】関連基板にマークを作製する複数のマーキングデバイスタイプから選択される関連マーキングデバイスで用いる平面加工構造であって、基板と、前記基板に取り付けられた非上昇アンカー部分および前記基板に延在する剥離部分を有する自揚スプリングフィンガーであって、前記剥離部分が、近端および遠端を有し、前記遠端が、マーキング流体の放出を促す作用をする先端を含み、エッチングすると、前記自揚スプリングフィンガーの前記剥離部分が、前記面から上昇する、自揚スプリングフィンガーとを含む平面加工構造。 （もっと読む）

【課題】活性部に作用する力の方向を揃え、圧電特性のばらつきを低減する圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】共通電極４３を挟んでほぼ同じ厚みの２枚のグリーンシート４８を積層する（積層工程）。そして、２枚のグリーンシート４８及び共通電極４３を一体に所定の焼成温度で焼成する（焼成工程）。その後、２枚の圧電シート５０の反り方向を確認し、２枚の圧電シート５０の積層体の凹となった側の一方の圧電シート５０に活性部Ｒ１を形成することを決定する（活性部位置決定工程）。そして、圧電層４１の活性部Ｒ１を形成することとなる部分の表面に複数の個別電極４２を形成し、個別電極４２と共通電極４３の間に電圧を印加して、これらの電極間の圧電層４１の部分を厚み方向と平行な方向に分極させて、活性部Ｒ１を形成する（活性部形成工程）。 （もっと読む）

【課題】側面にインクを吐出するサイド吐出方式のインクジェットプリントヘッド内の流路を単純化し、インクジェットプリントヘッドにインクを供給するカートリッジヘッドのパッケージングを容易にする。
【解決手段】本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドは、インクを側面に吐出するノズルが長さ方向に形成されるヘッドプレートと、前記ヘッドプレートの底面に形成され、インクを流入するインク流入口と、前記インク流入口から流入されるインクを貯蔵し、前記ノズルと連通される圧力チャンバと、前記圧力チャンバと連通される前記ノズルを介して吐出されるインクの方向と垂直に駆動力を提供するよう、前記圧力チャンバとメンブレンを介して配置される圧電体と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】配線層部の反りを防止すると共に、簡易な構成で圧電素子の設置空間内と大気を連通すること。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル１１と、各ノズルに連通され、吐出するインクを貯留する複数の圧力室４１と、複数の圧力室の一壁部となる振動板５０と、振動板に積層され、振動板を挟んで圧力室に対向する位置に形成された空間７１を有する隔壁部材７０と、空間内で振動板に設けられ、駆動電圧の印加により振動板を変位させる圧電素子６０と、隔壁部材に積層され、圧電素子に駆動電圧を印加する電極６１，６２に接続された配線層部８０と、を備え、配線層部における空間に露出する面には、空間と大気とを連通する溝８９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動部を低抵抗で接続することができるアクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター１００は、振動板１１０と、振動板１１０の上方に形成された所定の方向に延びる第１導電層１２２と、第１導電層１２２を覆う圧電体層１２４と、圧電体層１２４の上方に形成された第２導電層１２６と、振動板１１０の上方および第２導電層１２６の上方に形成された金属層１３０，１３２と、金属層１３０，１３２と電気的に接続された電極１４０と、を含み、第１導電層１２２、第２導電層１２６、および第１導電層１２２と第２導電層１２６とで挟まれた圧電体層１２４は、駆動部１２０を構成し、駆動部１２０は、前記所定の方向に垂直な方向Ａに複数配列され、金属層１３０，１３２は、複数の第２導電層１２６と交差し、複数の第２導電層１２６と電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及びコスト低減を実現する。
【解決手段】ヘッド１の基部１ｘは、流路部材１０、光吸収性樹脂部材２０、及び光透過性樹脂部材３０を含む。光透過性樹脂部材３０はＰＰ樹脂からなり、リザーバ３５及びダンパー膜３２を有する。光吸収性樹脂部材２０はＰＢＴ樹脂又はＡＢＳ樹脂からなり、リザーバ３５と流路部材１０内のインク流路とを連通する接続流路２０ｙを有する。光吸収性樹脂部材２０は流路部材１０を支持するよう流路部材１０の上面に固定されている。光透過性樹脂部材３０は、光吸収性樹脂部材２０の上面２１ａにレーザー溶着によって接合されており、流路部材１０から離隔している。光透過性樹脂部材３０は流路部材１０に直接固定されず、光吸収性樹脂部材２０が流路部材１０に固定されている。 （もっと読む）

【課題】振動板と流路形成基板との相対的な位置ずれの検査精度が低下してしまうという課題がある。
【解決手段】圧電振動子が接合されるための島部３８の周囲をエッチング処理し、島部３８より薄い層からなる薄膜部を有する振動板を形成する振動板エッチング処理工程と、島部３８に対応する領域に形成され、ノズル開口に通じる圧力室となるための空部を形成する隔壁４４と、振動板との相対的な位置の基準となる基準パターン４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）と、を有する流路形成基板をエッチング処理により形成する流路形成基板エッチング処理工程と、振動板と流路形成基板とを接合する接合工程と、を含み、流路形成基板エッチング処理工程では、隔壁４４と基準パターン４６とを形成するための一つのマスクパターンを用いて１回の露光処理により、隔壁４４と基準パターン４６とを形成する液体噴射ヘッド１の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、上部に振動板が設けられたヘッドボディを用意する工程と、振動板の上面に下部電極をコーティングする工程と、振動板の上側に開放領域が形成されるようにレジストをパターニングする工程と、開放領域内に圧電体を充填する工程と、圧電体の上面に上部電極を選択的にコーティングする工程と、レジストを除去する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱伸縮する膜材料を用いた場合でも精度の高い穴や突起の形成が行える構造体の製造方法。
【解決手段】熱伸縮する膜材料３５に、互いに独立した島状の突起２４又は穴を形成する構造体の製造方法であって、予め測定された、該膜材料が熱伸縮により伸縮する伸縮量に基づいて、熱伸縮による該膜材料の伸縮を考慮して該突起又は該穴の形成位置を決定し、決定された該形成位置に対して所定の加工を実施することにより、熱伸縮後の該膜材料における該島状又は該穴を所望の位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いアクチュエーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター１００の製造方法は、第１領域１２５の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第１開口部１５０を形成し、かつ第２領域１２７の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第２開口部１５２を形成する工程と、第１領域１２５の上方、第２領域１２７の上方、および被覆層１３０の上方に第１金属層１４２を成膜する工程と、第１金属層１４２の上方に第２金属層１４４を成膜する工程と、第１金属層１４２および第２金属層１４４をパターニングして、第２開口部１５２を介して第２導電層１４６と電気的に接続するリード配線１４０を形成する工程と、第１領域１２５の上方に成膜された第２金属層１４４を除去して第３導電層１２８を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

圧電ユニットは、流体チャンバと、流体出口と、薄膜圧電セラミック素子および流体チャンバの壁の機能を果たす膜を含むアクチュエータと、アクチュエータの支持部分がアクチュエータの駆動の主移動方向において移動しないようにすると同時に、支持部分の少なくとも２つの側で係る駆動の移動を可能にするように構成された支持要素とを含み、支持要素は、アクチュエータのおおよそ反対側に延在するユニット部分に接続される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの高密度化のための、ノズル連通孔の開口部を小さくできるエッチング方法が望まれていた。
【解決手段】シリコン単結晶基板にエッチングによりノズル連通孔とリザーバとインク供給口とを備える流路形成基板の製造方法であって、前記ノズル連通孔の形成領域内の前記ノズル連通孔の連通方向に、レーザー照射により前記シリコン単結晶基板の改質部を連続的に積層する改質相形成工程と、前記ノズル連通孔の形成範囲及び前記リザーバの形成範囲をエッチングにより穿孔する第１エッチング工程と、前記インク供給口の形成範囲をエッチングにより前記インク供給口を形成する第２エッチング工程とを含む流路形成基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】所望のばらつきの少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドの製造工程において高精度に検査できる製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、第１電極６０と、圧電体層と、第２電極とをこの順で備えてなり、全体が被覆膜１００に覆われた一対の検査用基準圧電素子５０２Ａと、第２電極の上面を露出させる開口部１０１が設けられた被覆膜に覆われた一対のシート抵抗測定用圧電素子５０１Ａとを備え、前記圧電素子の並設方向の一端側の前記検査用基準圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒｓ１と前記検査用圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、前記圧電素子の並設方向の他端側の検査用基準圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒｓ２と前記検査用圧電素子の第２電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．１４以内である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明は、インクを保存するインクチャンバが形成されたシリコン材質の上部基板と、前記上部基板に接合され、前記インクチャンバと連結される連結通路及びレストリクタが加工されて形成された低温同時焼成セラミック材質の中間基板と、前記中間基板に接合され、前記連結通路と連結されるノズルが加工されて形成されたシリコン材質の下部基板と、を含むインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。本発明によると、陽極接合により、シリコン基板からなる基板とセラミック基板とを接合することによって基板間の接合を緻密で容易にし、製造歩留りが向上したインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】高剛性、高変位の圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、その製造方法、並びに、その駆動方法、及び、画像記録装置を提供する。
【解決手段】上下に変位して、圧力室１１２の容積を拡縮させる圧電アクチュエータ１３４が、初期状態において、圧力室側に凸状に湾曲して形成される。圧電アクチュエータ１３４は、駆動電圧が印加されると、中立点を超えて、圧力室１１２とは反対方向に変位して、圧力室１１２の容積を拡大させ、駆動電圧の印加を停止すると、元の状態に復帰して、圧力室１１２の容積を縮小させる。 （もっと読む）

【課題】気泡の巻き込みによる噴射の不具合を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】結晶性基材から成り、インクを噴射するノズル８がエッチング加工により開設されたノズル基板を有し、ノズルは、結晶性基材の板厚方向に同軸上で連続し直径の異なる複数のノズル部から成り、各ノズル部のうち最も噴射側に位置する第１の直径Ｄ１の第１ノズル部８ａと、当該第１ノズル部に連続し第１の直径よりも大きい第２の直径Ｄ２の第２ノズル部８ｂとの径差が、第１の直径に対して０．１以上０．４以下である。 （もっと読む）