【課題】本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、複数のインクチャンバが形成される流路プレートと、前記インクチャンバのインクを外部に吐出するために前記インクチャンバに夫々連結される複数のノズルが形成されるノズルプレートと、前記流路プレート及び前記ノズルプレートのうち少なくとも一方に、インクの温度を制御するための熱交換流路が形成される温度制御部と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 電解めっき法で作成した電力配線と端子のうち、電力配線にのみ樹脂からなる部材との密着性を確保するための層を設ける時、端子をレジストで被覆すると除去した際にレジストの残渣が残る可能性がある。また、端子の上にレジスト残渣があると、外部と十分に電気的接続ができない可能性がある。
【解決手段】 樹脂からなる部材と接する電力配線１３０の表層をレーザー光で加熱することで、貴金属の層とニッケルの層から、貴金属とニッケルとを主成分とする合金からなる密着層を設ける。 （もっと読む）

【課題】クロストークを防止することができるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】外部から注入されたインクが保存されるマニホールド１２２と、上記マニホールド１２２からインクを伝達を受け、ノズルを通じて外部に吐出させるためのインクチャンバ１１２と、上記マニホールド１２２と上記インクチャンバ１１２を相互連結するように形成し、複数の連結通路を提供するレストリクタ１５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは複数のインクチャンバが形成される流路プレートと、前記インクチャンバのインクを外部に吐出するために前記インクチャンバに夫々連結される複数のノズルが形成されるノズルプレートと、前記流路プレート及び前記ノズルプレートの内部に形成され、前記インクチャンバの駆動のための振動が隣接する他のインクチャンバに影響を与えるクロストークを防ぐためのエアトラップ部とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】封止信頼性を低下させることなく、記録素子基板と基板支持部材の接着面が従来技術よりも微細化させられるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】記録素子基板２に具備されている、基板支持部材１３と接着する突起８は、金属層９をエッチングマスクとして記録素子基板２をエッチングすることによって、記録素子基板２と同質かつ連続に形成される。したがって、突起８は、金属層９と金属層１４とが金属溶着するのに十分な平坦性を維持した状態で形成されるため、金属層９のバンプを厚くすることなく製造可能であり、安価に製造可能である。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上した圧電アクチュエーターおよびその製造方法、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】金属電極あるいは酸化物電極と比較してヤング率が小さい導電性高分子を上電極８０が含んでいるので、圧電体７０の変形を阻害する効果を小さくできる。したがって、下電極６０と上電極８０との間に印加される同一の電圧に対して変位量のより大きい、より電気機械変換効率のよい圧電アクチュエーター３１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】積層体の位置合わせの精度が比較的高い。
【解決手段】プレート１２２上にアクチュエータユニットを接着する際の位置合わせ用のマーカである凹部１８０ａ（１８０ｂ）がプレート１２２及び１２３に形成されている。凹部１８０ａ（１８０ｂ）においてプレート１２３に形成された部分である底部１８２は、プレート１２２に形成された部分である貫通孔１８１を平面視において内部に含むように形成されている。これにより、凹部１８０ａ（１８０ｂ）の開口１８１ａと凹部１８０ａ（１８０ｂ）の内底面１８２ａとを結ぶ仮想線分Ａを引いたとき、この仮想線分Ａが凹部１８０ａ（１８０ｂ）の内表面１８１ｂ及び１８２ｂと交差することなく開口１８１ａと内底面１８２ａを繋いでいる。 （もっと読む）

【課題】上部電極における応力の集中を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０を覆う圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面３４は、圧電体層３０の上面３２と接続し、基板１０の上面１２に対して第１角度αで傾く第１部分３５と、第１部分３５と接続し、基板１０の上面１２に対して第２角度βで傾く第２部分３６と、を有し、第２角度βは、第１角度αより小さく、上部電極４０は、少なくとも第１部分３５および第２部分３６を覆っている。 （もっと読む）

インクジェット印刷システムは、インク貯蔵器と流体連通し、複数のオリフィス及び対応する複数の付属噴射チャンバを有する印刷ヘッドを含む。印刷ヘッドは、基板と、基板に配置されたバリア層とを含む。バリア層は、一部で複数の流体チャネル及び複数の噴射チャンバを画定する。バリア層は、エポキシ系フォトレジスト材料及びメタクリル酸メチル系フォトレジスト材料から選択された材料を含む。オリフィスプレートは基板上に配置される。オリフィスプレートは、噴射チャンバと流体連通する複数のオリフィスを含む。オリフィスプレートは、ポリイミド及びニッケルから選択された材料を含む。
（もっと読む）

【課題】圧電素子を含む振動板の破壊に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られる圧電型アクチュエータなどの提供。
【解決手段】ノズル開口（41）に連通する流路形成基板（30）に形成された圧力発生室（33）と、圧力発生室に対応する領域に振動板として機能する剛性調整膜(24)、上部電極（23a）、上部電極下に設けられた圧電体層(22)及び圧電体層の裏面側に設けられた固定電極(12)の積層膜からなる圧電素子（20）とを備える圧電型アクチュエータにおいて、圧力発生室側と振動室側の少なくとも一方に振動板過度変形止め部(27)を有し、駆動時には圧電素子は、過度変形止め部には接触しないようにした。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの動きが阻害されること、及び、アクチュエータに接続される平型柔軟基板の配線が短絡したり損傷したりすることを抑制する。
【解決手段】基材５１上に、複数のランド５８を形成する。ランド５８が形成されたランド領域６０に係るランド５８及びその周囲を除く領域に、第１絶縁性エポキシ樹脂をスクリーン印刷すると共に完全硬化させて第１カバーコート６５を形成する。第１カバーコート６５の各孔６５ａ内に、第２絶縁性エポキシ樹脂をスクリーン印刷すると共に半硬化させて第２カバーコート６６を形成する。そして、個別バンプ１３６が半硬化状態の第２カバーコート６６を貫通して対向するランド５８に当接するように、アクチュエータユニット２１とＣＯＦ５０とを配置する。加熱加圧処理を施すことによって、第２カバーコート６６を完全硬化させる。 （もっと読む）

【課題】発熱素子上の保護層および耐キャビテーション膜の被覆性が良好で、耐久性に優れた液体吐出装置用の回路基板、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】電極材料層上に形成されたレジスト層を除去する工程において、少なくともフッ素を含むガスを用いたアッシングを行い、該アッシング後に、前記電極材料層表面に形成された、少なくとも前記レジスト層の灰化物もしくは前記電極材料層の化合物のいずれかを除去する。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】所望の領域のみに精度よく圧電体及び電極を形成できる圧電型アクチュエータの製造方法、該圧電型アクチュエータの製造方法で製造される圧電型アクチュエータ、並びに各装置を提供する。
【解決手段】基板上に圧電体素子を形成する圧電型アクチュエータの製造方法として、シリコン基板５１に設けられた共通電極４表面の圧電体素子形成領域５ａを囲む凹部５を有する隔壁層３を設ける工程と、前記凹部５に圧電体材料を含む圧電体ゾルゲル液７ａをインクジェット法により塗布して圧電体７を形成する工程と、前記凹部５の前記圧電体７上に電極材料を含む液体をインクジェット法により塗布して対向電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、ポリエステル変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】複数の電極層と圧電膜層とを積層した場合において、製造コストを低減しつつ、複数の電極層間を容易に接続することができ、装置に組み込んで使用しても信頼性が高い圧電膜の積層体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】正電極層１２を積層体１の積層方向に垂直な方向の一端部側に寄せて配置し、負電極層１２を他端部側に寄せて配置する。そして、積層体の一端部側及び他端部側に夫々共通電極１３を形成し、同一極性の電極層１２同士を共通電極１３と接触させて導通する。 （もっと読む）

【課題】配線部材と圧電アクチュエータとを接合する際に、溶融した導電材料のはみ出しを少なくするとともに、圧電アクチュエータと配線部材との距離を設けることができる配線ユニットの接合構造を提供すること。
【解決手段】ＣＯＦ５０の基材５１の一方の面にはランド５２が設けられ、ランド５２に対応する位置で、第１突出部１０１ａと、それよりも突出量が低い第２突出部１０１ｂとを有する突出部１０１が配置された板状部材を、基材５１の他方の面側から一方の面側押圧させた状態で両者を接着接合させることにより、突出部に対応するランド部５２には、第１凸状電極部５２ａとそれよりも突出量が低い第２凸状電極部５２ｂとが形成され、この第２凸状電極部５２ｂ上に導電性材料４６が塗布される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子及び振動板の変位特性の低下及び変位量のばらつきの発生を抑制して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する流路５２が形成された流路形成基板５０と、該流路形成基板５０の一方面側に設けられた振動板５５と、前記振動板５５上に接着剤６３を介して接着された圧電素子１１と、を具備し、前記振動板５５には、前記圧電素子１１が接着される厚肉部としての島部５９が設けられており、前記島部５９と前記圧電素子１１との接着面の少なくとも一方に溝部６２を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性を確保し、かつ空域の断面積を確保した微細な構造体を製造方法することが可能な構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層１０ａと第２の層１０ｂとがこの順で積層されている基板１２を用意する工程と、前記構造体を形成するための型となる型部材の一部である第２の型を前記第２の層１０ｂから形成する工程と、前記第２の型をマスクとして前記第１の層１０ａをエッチングして、前記型部材の他の一部である第１の型を前記第１の層から形成する工程と、前記第１の型と前記第２の型とを被覆するように前記構造体となる被覆層１３を設ける工程と、前記第１の型と前記第２の型とを除去して前記構造体を形成する工程と、を含む構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数の流体吐出部を備える流体吐出装置において、ショートした流体吐出部の影響を低減すること。
【解決手段】流体吐出装置は、それぞれ電極付のアクチュエータを備える複数の流体吐出部を備える。前記複数の流体吐出部のうちの１以上の流体吐出部が電気的にショートしているか否か判定し、前記ショートした流体吐出部を削除する。 （もっと読む）