【課題】インク流路と吐出口のアライメント精度を良くする目的で感光波長領域の同じ２種類の材料を用い１種類の露光波長のステッパーを用いて露光を行う場合にもパターン崩れを生じず、かつインク流路パターンの耐溶剤性を向上可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
下記（ａ）から（ｆ）の工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。
（ａ）基板上にｉ線感光性樹脂を含むインク流路パターン層を形成する工程
（ｂ）前記インク流路パターン層へのｉ線を含む活性エネルギー線の照射、現像によりインク流路パターンを形成する工程
（ｃ）前記インク流路パターンの表面をｉ線吸収剤により着色する工程
（ｄ）ｉ線照射で硬化するインク流路形成材料を含むインク流路形成層を形成する工程
（ｅ）前記インク流路形成層へのｉ線を含む活性エネルギー線の照射、現像により吐出口を形成する工程
（ｆ）前記インク流路パターンを除去する工程。 （もっと読む）

【課題】複数の流体吐出部を備える流体吐出装置において、ショートした流体吐出部の影響を低減すること。
【解決手段】流体吐出装置は、それぞれ電極付のアクチュエータを備える複数の流体吐出部を備える。前記複数の流体吐出部のうちの１以上の流体吐出部が電気的にショートしているか否か判定し、前記ショートした流体吐出部を削除する。 （もっと読む）

【課題】印字特性の良好なインクジェットヘッドを安定して製造することが可能な方法を提供する。
【解決手段】圧力発生素子が形成された基板の上に、第一のポジ型レジスト層を形成する工程と、前記第一のポジ型レジスト層のうち、インク流路となる部分の少なくとも表面を選択的に着色する工程と、その着色部をマスクとして、前記第一のポジ型レジスト層をパターニングしてインク流路パターンを形成する工程と、その上にインク流路形成部材となる被覆樹脂層を形成する工程と、前記圧力発生素子の上方に位置する前記被覆樹脂層に、吐出口を形成する工程と、前記インク流路パターンを溶解除去して、前記吐出口と連通するインク流路とする工程とを有する方法でインクジェットヘッドを製造する。特に、前記第一のポジ型レジスト層の着色は、その上にパターン形成した第二のレジスト層を形成した状態で行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を備えたＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】膜によって覆われる凹部を有するＭＥＭＳベースデバイスに関する。凹部の上の膜は、高均一性のエピタキシャル層である層のスタックによって形成されているため、非常に均一である。ハンドル層等のスタックの不要な層は、所望の厚さの膜を達成するために、デバイスの完成前に除去される。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズル開口に連通する複数の圧力発生室１２が形成された流路形成基板と、流路形成基板の上方に第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０からなる複数の圧電素子３００とを具備し、圧電体層７０は、第１電極６０及び第２電極８０に挟まれた能動部３２０を有し、第１電極６０は、複数の能動部３２０に亘って形成されると共に、第１電極６０の能動部３２０に対応する第１領域６５の端部６６に、薄膜部６９の厚さ及び第１電極６０の能動部３２０間の第２領域６７の厚さよりも厚い厚膜部６８を設ける。 （もっと読む）

【課題】耐久性を低下させることなく、変位量を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に設けられた振動板５０、５５、６０と、該振動板５０、５５、６０上に設けられて前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００と、を具備し、前記圧力発生室１２の並設方向の側面を画成する隔壁１１と前記振動板５０とを前記圧力発生室１２の並設方向と交差する方向に沿って複数設けられた無機材料からなる柱状部材５１によって接合し、前記隔壁１１と前記振動板５０との間の前記柱状部材５１の周囲に樹脂からなる接着層５２を設ける。 （もっと読む）

【課題】振動板部に任意の寸法で精度良く高潤滑硬質膜を形成することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、絶縁膜１９の振動板８に対応する表面位置に高潤滑硬質膜（ＤＬＣ膜２０）を形成する工程と、絶縁膜１９及び高潤滑硬質膜を保護するエッチング保護膜２１を形成する工程と、シリコン基板３’の振動板８形成面とは反対側面からエッチングを施す工程と、含んでいる。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られ、信頼性の高い高画質記録が可能な圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１１上に積層された振動板２０を有して、振動板２０の撓み方向に圧力を発生する圧電型アクチュエータにおいて、振動板２０を、複数のチャネルに分離された圧電体膜２４と、圧電体膜２４の両面側に積層され圧電体膜２４に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜と、一対の電極膜のうちの基板側１１の一方及び基板１１の間に設けた圧電体膜２４のチャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部１４及び各空隙部１４をはさむ隔壁１５からなる層とから構成した。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータサイズを小さくして更なる高密度化、低駆動電圧化、素子の小型化に対応できる薄膜エクチュエータを提供することを目的とする。液滴吐出装置として述べれば、更なる高密度化に際して必要とされる発生力の飛躍的な増大或いは高粘度の液滴吐出（例えば、ＵＶインクなどの高粘度インク、高顔料濃度インク、各種薄膜形成用原料インク、液状レジスト、ＤＮＡ試料などの生物由来液体等）のために要求される発生力を飛躍的に増大させることを目的とする。
【解決手段】振動板５５を変形させて力を発生させる薄膜アクチュエータ１において、振動板５５上に下電極１１と、第一圧電層１２と、中間電極１３と、第二圧電層１４と、上電極１５と、を順次積層したことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を増やすことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室１１を有する圧力室板と、圧力室板の上方に形成された振動板３０であって、圧力室板と対向した第１の面と、第１の面と反対の第２の面３２を有し、第２の面３２において、複数の圧力室１１とそれぞれオーバーラップした第１領域３３を有する振動板３０と、複数の第１領域３３において、第１の方向に延びるように、それぞれ形成された第１の導電層４０と、圧電体層５０と、第２の導電層６０と、を有し、第１領域３３内において、圧電体層５０と第２の導電層６０とオーバーラップした領域を第２領域３４とし、第１領域３３内において、第１の方向と直交する第２の方向２１０に沿って第２領域３４と連続した領域を第３領域３５とし、第３領域３５の少なくとも一部において振動板３０が露出した露出領域３７を含む。 （もっと読む）

【課題】剛性の調整が容易な液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するためのノズル孔２１に連通した圧力室１１を有する圧力室板と、圧力室板の上方に形成された振動板３０であって、圧力室板と対向した第１の面３１と、第１の面３１と反対側の第２の面３２を有し、第２の面３２において、圧力室１１とオーバーラップした第１領域３３を有する振動板３０と、第１領域３３において、第１の方向２００に延びるように形成された第１の導電層４０と、第１の導電層４０を覆うように形成された圧電体層５０と、圧電体層５０の少なくとも一部を覆うように形成された第２の導電層６０と、を有し、圧電体層５０は、第１領域３３内において、第１の導電層４０とオーバーラップするように形成されている。 （もっと読む）

【課題】中抜き部の端部での応力集中に起因する圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供する。
【解決手段】圧電素子３００に対向する領域には、被覆膜１００及び第２の電極８０の一部が除去された中抜き部１０１が設けられており、中抜き部１０１を画成する被覆膜１００の端面の流路形成基板１０に対する傾斜角度θ１と中抜き部１０１を画成する第２の電極８０の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしている構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの変位量を制御することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室１１と、その上方に形成され、圧力室１１とオーバーラップした第１領域３３を有する振動板と、第１領域３３において、第１の方向２００に延び、第１の方向２００における一方の端部４１を第１領域３３内に有するように形成された第１の導電層４０と、第１の導電層４０を覆うように形成された圧電体層５０と、第１領域３３において、端部４１を含む第１の導電層４０とオーバーラップし、圧電体層５０の一部を覆い、第１の方向２００における一方の端部６１を第１領域３３内に有するように形成された第２の導電層６０と、第２の導電層６０の上に形成された第１金属層７１と、を有し、圧電アクチュエータの変位量のばらつきを抑制した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高密度化、高品質化、高画質化と低コスト化を満たすことができる、液体吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルを有したノズル基板と、各ノズルが連通する液体を蓄える液室が設けられた液室ユニットと、液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、液室内の液体を加圧する圧力を発生させるための駆動手段とを有している。そして、本発明の液体吐出ヘッドにおいて、液室ユニットは、機械加工処理で形成された第１の液室基板と、該第１の液室基板と同一組成であって、かつ機械加工処理とは異なる加工処理で形成された平坦な第２の液室基板とが積層して形成される。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と振動板から成る圧力発生部材（アクチュエータ）の曲がり方向を一様にして液体吐出量を増加させると共に、製造コストを上げたり集積度を低下させないように、圧力発生部材について工夫すること。
【解決手段】圧力室(15)と、この圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(17)及び液体供給路(18)と、上記圧力室の一部を構成する振動板(14)、及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子(13)により構成され、上記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、上記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出装置を前提として、
上記振動板(14)の一部の剛性を変えて、上記電気機械変換素子の曲がり方向が一様になるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜間に発生する界面分極による帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のうち少なくとも一方に絶縁膜を多層に形成し、絶縁膜間に導電性の導線部２１を介在させている。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性に優れ、かつ高電圧駆動が可能で高密度化に対応でき、またプロセス適応性に優れた静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、個別電極５の対向面を階段状の多段構造に形成した静電アクチュエータ４であって、個別電極５の対向面の最上段と最下段とに、物性が異なる表面保護膜８ａ、８ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットが破損するのを抑制する。
【解決手段】共通インク室、共通インク室の出口から圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットの上面９ａに、窪み１２２ａが形成されている。窪み１２２ａは、平面形状がアクチュエータユニット２１を収容可能なサイズと形状を有しており、その底面１２２ｂにアクチュエータユニット２１が固定されている。窪み１２２ａの深さが、アクチュエータユニット２１の厚みよりも小さくなっており、アクチュエータユニット２１が、流路ユニットの上面９ａから突出している。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドを簡易に且つ高精度に位置決めできる液体噴射ヘッドユニット及びそれらの製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口１１が並設されたノズル列１４を有するヘッド１０と、ヘッド１０を搭載したベースプレート２０とを備えるヘッドユニット１の製造方法であって、ベースプレート２０に設けられた位置決めピンに位置決めされる位置決めピン挿通孔４２及び位置決め調整穴４１を位置決めプレート４０にフォトリソグラフィー法により形成し、位置決め調整穴４１とノズル開口１１とが所定の配置となるように位置決めプレート４０をサブプレート３０に取り付け、位置決めピンを位置決めピン挿通孔４２に嵌合させた状態でヘッド１０をベースプレート２０に固定する。 （もっと読む）