ダイ本体を有し、ダイ本体にはコンポーネントが接合されている、ＭＥＭＳデバイスが説明される。ダイ本体は主表面及び、主表面に隣接し、主表面より小さい、側表面を有する。ダイ本体はある材料で形成され、側表面はその材料で形成され、ダイ本体は側表面とは異なる結晶構造にある。ダイ本体は側表面にアウトレットを有し、コンポーネントはアウトレットと流体流通可能な態様で連結されているアパーチャを有する。
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【課題】使用材料種が少なく製造工程の簡略な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】下地基板上に重合開始剤を含まず重合開始剤存在下活性エネルギー線照射により重合可能な化合物を含む樹脂組成物からなる第一層と、第一層上に重合開始剤を含む活性エネルギー線硬化性樹脂組成物からなる第二層とが形成された基板を用意し、吐出口パターンのあるモールドを第一層及び第二層に押し付け、モールド又は下地基板にある吐出口対応部分への活性エネルギー線照射を選択的に遮蔽する機構を介しモールド又は下地基板越しに第二層に活性エネルギー線を照射後、露光後ベークし、活性エネルギー線を照射された第二層を硬化し、第二層の重合反応点が拡散した第一層の一部に硬化部を形成し残部を残し、モールドを除去し、第二層を他の支持基板に貼付、第一層未硬化部を溶解し下地基板を分離する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】クロストーク現象の抑制効果を高めることができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】液体を吐出するための複数のノズル２０、複数のノズルに個別に設けられる複数の圧力室２５、及び複数の圧力室の各々と連通する共通液室２３を有するキャビティユニット２を備え、圧力室内の液体に圧力を付与してノズルより液体を吐出する液体吐出ヘッド１であって、キャビティユニットのうち共通液室を区画する壁面２７ａ〜２７ｃの少なくとも一部分が、壁面に形成された複数の孔に金属メッキ処理を施すことによって、湾曲する凹凸を有した凹凸面をなすようにする。 （もっと読む）

【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を行う大気開放部を封止するときに封止材が不必要な部分に流れ出して接合不良、接続不良、特性不良を起こす。
【解決手段】空隙１３に連通する連通路１５と、連通路１５を外部に連通させる大気開放孔４２を有する大気開放部１６と、大気開放部１６の大気開放孔４２を封止する封止材３６と、大気開放部１６の周囲を囲む凸段差部３７とが設けられ、大気開放孔４２を通じてガス導入を行った後に封止材３６で大気開放孔４２を封止するとき、封止材３６の流動性が残っている段階でも凸段差部３７で堰きとめられて、大気開放部１６以外の箇所への流れ出しが防止される。 （もっと読む）

【課題】短時間で高精度な評価を行い、信頼性を向上することができる液体噴射ヘッドの
評価方法及びアクチュエーター装置の評価方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する流路となる凹部１２が形成された流路形成基板１０と
、該凹部１２の上方に形成された第１電極６０、該第１電極６０上に形成された圧電体層
７０、及び該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０から
なる圧電素子３００と、を具備する液体噴射ヘッドの評価方法であって、前記凹部１２が
形成される前の前記流路形成基板１０に前記圧電素子３００を形成する工程と、前記流路
形成基板１０に前記凹部１２を形成する工程と、前記流路形成基板１０に前記圧電素子３
００を形成した後に前記第２電極８０を除去する工程と、前記第２電極８０を除去した前
記圧電体層７０の反り量を測定する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】駆動のためのエネルギーを変えることなく、高速駆動を可能とする液滴吐出アクチュエーター、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズルと、ノズルに連通する加圧液室と、前記加圧液室を構成する面の一つである振動板とを有し、前記振動板上には下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層とが積層されて成る膜状の圧電素子が設けられ、前記圧電素子を電気的に駆動することで前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出アクチュエーターであって、前記振動板が変位した場合に、前記振動板或いは前記圧電素子が接触しうる対向壁を有し、前記対向壁には、少なくとも１以上の開口部が設けられ、前記開口部は、前記振動板が変位した場合に、前記開口部のエッジが、前記振動板或いは前記圧電素子と接触しない部分に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの駆動部間に残存する圧電体を除去することによりクロストークを低減でき、圧電体の分割時に発生するストレスを緩衝できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、複数のチャンバと、複数のチャンバをカバーするメンブレインと、複数のチャンバにそれぞれ圧力を提供するように、仮想の分割線を境界としてメンブレイン上に互いに離隔して配置される複数の駆動部と、を含むインクジェットヘッドを製造する方法であって、分割線の位置に対応するメンブレインの一面に溝を形成する工程と、溝が形成されたメンブレインの一面に接着樹脂を用いて圧電体を接合する工程と、溝が露出するように圧電体を分割する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リード電極と上電極膜との電気的接触を確保し、アクチュエータ装置の変位量を大きくして、液体噴射装置で噴射できるインク量を増やして高速で印刷したり、圧力発生室の容量を小さくして液体噴射ヘッドを小型化したりすること。
【解決手段】上電極膜８０の厚い第２の領域に設けられた保護膜１００に開口部１００ａが設けられているので、エッチングがばらついても開口部１００ａ形成時に上電極膜８０が完全に除去される可能性は少なく、開口部１００ａには上電極膜８０が広い面積で露出し、リード電極９０と電気抵抗の低い接続を得ることができる。一方、上電極膜８０の第１の領域は薄く、上電極膜８０の第１の領域と基板と弾性膜５０と下電極膜６０と圧電体層７０とを合わせた圧電体能動部３２０の変位への上電極膜８０による阻害を少なくでき、変位量が大きくインクの噴射量の多い圧電アクチュエータ３１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０が同じ格子間距離を有する２つの誘電体膜７１と、この２つの前記誘電体膜７１の間に設けられて、格子間距離が前記誘電体膜７１と異なる介在層７２と、を具備する。 （もっと読む）

多数の整列されるモジュール（２０）を含むインクジェットプリントヘッドを製造する方法において、整列マーク（３２）が第一及び第二の隣接するモジュール（２０）上に形成され、整列マーク（３２）は、第一及び第二の隣接するモジュール（２０）間の境界上に位置付けられ、ウェーハ（２６）は境界に沿って分離される。分離するステップでは、整列マーク（３２）が第一及び第二の隣接するモジュール（２０）に亘って分割されるよう、ウェーハ（２６）は別個のモジュール（２０）に分離される。前記第一及び第二の隣接するモジュール（２０）の少なくとも一方は、分割後の整列マーク（３２）を基準にして整列される。本方法はモジュール（２０）を整列し得る精度を向上する。

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【課題】薄いノズル板を備えた、有用なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、基板と、基板上に形成された複数のチャンバであって、各チャンバには、基板上に立設された複数の壁および厚さが１０ミクロンより薄くなるように化学気相成長法によって複数の壁の上に形成されたノズル板により囲まれた空間が形成され、ノズル板を貫通して形成されたノズルが設けられた当該複数のチャンバと、複数のヒーター素子であって少なくとも１台のヒーター素子が各チャンバ内に配置された当該複数のヒーター素子と、を備える。各ヒーター素子は、各チャンバ内でインクを、該インクの沸点以上の温度まで加熱して、各チャンバ内に気泡を形成し、これによりノズルを通してインクを射出する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのための優れたノズルアセンブリを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドのためのノズルアセンブリは、ノズル開口が画定されているルーフを有するノズルチャンバを含む。ルーフは、固定部に対し相対的に動作可能な可動部を備え、固定部に対する相対的な可動部の動きによってインクがノズル開口を通じて吐出される構成とされている。このノズルアセンブリは、また、可動部を動かすためのアクチュエータと、シール部材と、を含む。シール部材は、可動部と固定部との間を架け渡すブリッジとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が残存することを防止する。
【解決手段】まず、振動板３１と、流路ユニット４の一部を構成するキャビティプレート４１及びベースプレート４２の３枚のプレートを積層して金属拡散接合により接合する（第１接合工程）。次に、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。その後、圧電層３２、振動板３１、及び、プレート４１，４２を所定のアニール温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。次に、振動板３１、キャビティプレート４１、及び、ベースプレート４２の３枚のプレートにより形成されたインク流路内に流体を流し込み、インク流路内を洗浄することで、インク流路内に侵入した粒子を除去する（液体流路洗浄工程）。 （もっと読む）

【課題】高速かつ安定して連続吐出できる高い吐出周波数応答性を得ることができる液体吐出ヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】共通液室１０９から導かれた液体をヒータ１０３やノズノ側壁１０７が備えられたノズルから吐出する液体吐出ヘッドで、該ノズルの前記ヒータ１０３が設けられた面と対向する面に、感光性樹脂によって形成された天板ノズル上壁層２０５を備え、該天板ノズル上壁層２０５によって前記ノズルの流路長を決定した。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗の低減により吐出性能が改善されたノズルを備えたインクジェットヘッドを製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、流入口が形成される第１プレートを加工する工程と、チャンバ及び流入口が形成される第２プレートを加工する工程と、第２プレートの上面に第１プレートを接合する工程と、リストリクタ及びリザーバが形成される第３プレートを加工する工程と、ノズルが形成されるようにフェムト秒レーザを照射して第４プレートを加工する工程と、第３プレートの下面に第４プレートを接合する工程と、第２プレートの下面に第３プレートを接合する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数枚のプレートを積層して構成される流路ユニットに液体流路内に流れる液体の温度調整をするための構成を採用した場合に、製造時に積層方向へ生ずる各プレートの変形を極力抑え、かかる変形を考慮せずに製造できるとともに、前記液体の温度調整を可能にした液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、圧力室２６を含み、複数枚のプレートが積層された流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０（エネルギー付与手段）とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路５０が形成されている。循環路５０は、プレート１５及び１６の各々に間隔をあけて形成された複数の溝を有し、溝の端部が、積層方向において連通して管状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】加熱部の形成容易に行えると共に共通流路内のインクを効率的に加熱するインクジェットヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくともインクを吐出するノズルと、ノズルからインクを吐出する圧力を発生する圧力室と、圧力室に繋がり圧力室にインクを供給する共通流路１０Ａ、１０Ｂと、圧力室のノズルとは反対側の開口部を覆うように形成された下部電極と、下部電極に積層された圧電体１３と、下部電極および圧電体１３を挟んで圧力室に対向するように圧電体１３に積層された上部電極１１と、共通流路１０Ａ、１０Ｂを加熱するように上部電極１１と同一の層として同一の材料により設けられた加熱部２Ａ、２Ｂと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を要することなく低コストに圧電体膜を容易にパターニングすることができ、圧電体膜のパターンの形状精度が良く、成膜時のコンタミネーションの問題がない新規なパターニング技術を提供する。
【解決手段】下部電極２０が形成された基板１０上に、パターニングされていないベタ圧電体膜３０Ｐを成膜する工程（Ａ）と、ベタ圧電体膜３０Ｐ上に、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎに対応したパターンを有し、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去するための除去用電極４１を形成する工程（Ｂ）と、下部電極２０と除去用電極４１との間に電界を印加して、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎにクラックを発生させる工程（Ｃ）と、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去する工程（Ｄ）とを順次実施する。 （もっと読む）