【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】容易、且つ確実に取り付けることができると共に、製造コストを低減できる液体噴射ヘッド用のフィルタを提供する。
【解決手段】第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２を積層してなり、供給されるインクを濾過するための液体噴射ヘッド用のフィルタ１０であって、各金属プレート１１，１２に、それぞれ厚さ方向に貫通するフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを複数形成すると共に、これらフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを法線方向で重ならないように配置し、互いに重なり合う金属プレート１１，１２の合わせ面のうち、少なくとも一方の合わせ面に、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを連通させるための連通溝１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの小型化を図ることが難しい。
【解決手段】流路部材５は、個別液室６の入口側開口９が形成された第１面２１と、ノズル配列方向の両端部に設けられ、第１面２１よりも液体流入方向と反対方向に突出した第２面２２と、第１面２１と第２面２２とを繋ぐ第３面２３とを有し、第２面２２から第３面２３に跨る領域と共通液室部材２０との間が封止部材である接着剤２４により封止され、接着剤２４により、流路部材５と共通液室部材２０との間のノズル配列方向における共通液室１０の壁面２５が形成される。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着層１５、２５、３５が、ポリシルセスキオキサンで構成される主骨格と、該主骨格同士を連結する連結部とを有するポリシルセスキオキサン誘導体を主材料として構成され、前記連結部は、その主鎖を構成する炭素の数が４以上、１０以下のメチレン鎖を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】高い撥液性と液滴の滑落性を有し、洗浄性に優れる撥液表面を有する構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の表面に凹凸構造を有し、前記凹凸構造の凸部の側面の表面側を通り前記基板に平行な線と、前記凸部の側面とのなす角度が、９０°未満であり、かつ、前記角度は、別途測定した、付与される液体の前記凹凸構造と同じ化学的表面状態で凹凸のない平滑面における静的接触角よりも小さいことを特徴とする撥液表面を有する構造体、ノズルプレート、および、これらのクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなう。
【解決手段】インクを収容可能な共通液室１０１と、共通液室１０１から流入されるインクをエネルギー発生素子２０２によって吐出可能なノズル１０２ごとのノズルチャンバ１０３とを含み構成されるインク室１１０を区画する壁部のうち、インクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される基板２０１および保護膜２０３と、ノズルチャンバを区画するノズル層２０４と、を有し、基板２０１、保護膜２０３およびノズル層２０４とは異なる場所に形成され、１１０インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、犠牲層が除去された後、犠牲層除去口を封止する封止部材としての接点保護材１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハからの、液滴吐出ヘッドに用いるヘッドチップの取り数の増加、及び液滴吐出ヘッドの生産効率の向上を図る。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、保護基板１８における、第１方向（矢印Ｘ方向）の端面は、流路基板３４Ａ及び振動板３４Ｂにおける該第１方向の端面に連続している。そして、流路基板３４Ａにおける第１方向の端面に、加圧液室３５Ａに連通し且つ加圧液室３５Ａにインクを供給する供給口３５Ｃが設けられている。そして、液室基板３４と保護基板１８との積層体であるヘッドチップ１９に対して、該ヘッドチップ１９における第１方向の両端面から所定間隔を隔てた位置に枠部材２２を設け、該ヘッドチップ１９と、枠部材２２と、ノズル基板３０と、によって、形成された空間を、供給口３５Ｃを介して加圧液室３５Ａに連通した導入口２０として用いる。 （もっと読む）

【課題】振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板を備える信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動板３０と、圧電素子（振動手段）５０とを有し、振動板３０は、圧電素子５０の変位面が固定される島状をなす島部３１と、この島部３１の外周部に位置する、島部３１よりも厚さの薄い薄膜部３３とを有しており、これら島部３１と薄膜部３３とが同一の構成材料により一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸との共重合体を主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】凹部の底面形状を精度良く識別する。
【解決手段】プレート１２２上にアクチュエータユニットを接着する際の位置合わせ用のマーカである凹部１８０ａ，１８０ｂがプレート１２２，１２３に形成されている。凹部１８０ａ，１８０ｂは、円形の開口端縁１８５ａを有する柱状穴部１８１と、環状の開口１８３を介して柱状穴部１８１に接続した環状穴部１８２とから構成されている。凹部１８０ａ，１８０ｂの底面１８６は、プレート１２２，１２３の積層方向から見て、開口端縁１８５ａの内側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】様々な実施形態が、マルチスケールの超撥油性表面を有するデバイスと、金属含有微粒子を含む微粒子複合層が、マルチスケールの粗い表面をデバイスに提供するように、半導体層のざらつきのあるミクロン／サブミクロンの表面に形成されるデバイスを形成し使用する方法とを提供する。
【解決手段】超撥油性デバイス１００Ｃは基板１１０を覆って配置される柱構造、溝構造、およびそれらの組み合わせのうちの１つ以上によって形成されるざらつきのある表面を有する半導体層１３０を含み、ざらつきのある表面に配置される、複数の金属含有微粒子を有する適合性微粒子複合層を含む。さらに超撥油性デバイスは、マルチスケールの超撥油性表面をデバイスに提供するために、適合性微粒子複合層に配置される適合性撥油性コーティングを含む。 （もっと読む）

【課題】 製造歩留まりが高く印字速度が速いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 エッチングストップ層の上に保護層を形成し、吐出口形成部材と柱の下に配置する密着層を、保護層から離して形成する。 （もっと読む）

【課題】インクと電極との間の電気的な絶縁を維持することができ、印字品質が良好で、耐久性に優れたインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクが供給される複数の溝を有するとともに圧電材料で構成されたアクチュエータと、アクチュエータに接着剤で固定されたノズルプレートとを具備する。ノズルプレートは、溝の開口端をアクチュエータの上側から覆うとともに、溝に向けて照射されたレーザ光により形成された複数のノズルを有する。溝の内面に電極が形成されている。電極は、ノズルプレートを貫通したレーザ光が照射される溝内の領域から外れている。電極の上およびレーザ光が照射される溝内の領域に対応する溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】接合基板を確実に保護することができると共に、接合基板を保護する保護膜を容易に且つ低コストで形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】接合基板４０が複数一体的に形成された接合基板用ウェハーに、接合基板４０の一端面となる領域に凹部を形成する工程と、接合基板の表面に亘って耐液体性を有する保護膜４３を形成する工程と、流路形成基板１０が複数一体的に形成された流路形成基板用ウェハーと接合基板用ウェハーとを接合する工程と、流路形成基板用ウェハーと接合基板用ウェハーとを凹部の底面で切り分けて、流路形成基板１０と接合基板４０とが接合された接合体を形成する工程と、接合基板の切り分けた切断面４４をケース部材３０に接合する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】硬化した余剰の接着剤に起因する液体流路の目詰まり等を防止する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口のそれぞれに通じるノズル連通口及び前記ノズル連通口と繋がり、ノズルプレートに平行な方向に伸びた圧力室を備える圧力室形成基板と、前記圧力室形成基板に接合される封止板と、前記封止板の前記圧力室に対応する箇所に位置し、同封止板に変形をおこさせる圧電素子と、を有し、前記ノズルプレートと前記圧力室形成基板及び前記圧力室形成基板と前記封止板とは、接着剤により接続されており、前記ノズル連通口は、前記ノズルプレート面を底辺として、同底辺に繋がる前記圧力室側の壁面を第１壁面とした場合に、前記第１壁面と同第１壁面に相接する第２壁面の二つの面とには、前記ノズル連通口の外側に向かって落ち込んだ凹み部を有し、前記凹み部は、前記ノズル開口側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー発生素子に対応する位置に設けられた保護層において、β相の領域とα相の領域とが混在すると、熱の伝わり方にばらつきが生じ所望の記録画像を形成できないという懸念がある。
【解決手段】 保護層の上に透過防止層を設け、酸素を遮断した状態でエネルギー発生素子の発生する熱を用いて保護層を熱処理を行うことで、エネルギー発生素子に対応する領域の保護層をβ相からα相に相転移させる。 （もっと読む）