【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧Ｖ_ａを印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０としたとき、（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）／Ｖ_ａが７０ｐｍ／Ｖ以上且つ比誘電率が７００以下である。 （もっと読む）

【課題】駆動電極がフレキシブル印刷回路と正確かつ堅固に連結されて駆動電極が扁平に具備されるようにする圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】駆動電圧を提供する上部及び下部電極１２７、１２３と、上部及び下部電極１２７、１２３の間に圧電体液が固化されて形成され、インクジェットヘッド１００に具備される複数の圧力チャンバ１１４内のインクにそれぞれ駆動力を提供する圧電体１２５と、を含み、圧電体１２５は、複数の圧力チャンバ１１４それぞれの上部に個別に具備される分枝部と分枝部の一端で複数の分枝部とそれぞれ連結されながら一体に具備される大面積部とを含む圧電アクチュエータ１２０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】リストリクターが形成されたシリコン基板、シリコン基板の製造方法及びこれを備えたインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】シリコン基板２００は、マニホールドと連結され、第１大きさの第１幅を有する第１連結部２１０と、圧力室と連結され、第２大きさの第２幅を有する第２連結部２２０と、第１連結部２１０と第２連結部２２０を連結し、第１大きさ又は第２大きさより小さい第３大きさの第３幅を有するリストリクター部２３０とを含み、リストリクター部２３０と第１連結部、又はリストリクター部２３０と第２連結部が連結される境界部は曲線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの加工時間の増大を低く抑えつつ、液滴の吐出方向のばらつきを低減できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】実施形態のノズルプレートは、プレート基板と、前記プレート基板を貫通する、断面積の異なる複数の孔部が大きさ順に同軸に結合し、前記プレート基板表面付近に、断面積が最小の孔部の前記軸方向の凹凸のピッチが最小である側壁を有するノズルとを備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インク吐出ヘッドの各部位の精度を確保しつつ、熱源のインクに対する熱伝導の効率を維持して安定した気泡を発生させること
【解決手段】インク吐出ヘッド１００は、インクを収容可能なインク室２００を形成する基板２０１上に配置された、インクを吐出するための熱エネルギーをインクに与えるヒータ部２１０と、少なくともヒータ部２１０を覆うよう、基板２０１上に形成される保護膜２０４と、を有し、保護膜２０４は、ヒータ部２１０の上面領域２２０の膜厚より、上面領域２２０とは異なる領域の膜厚の方が厚くなるよう形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、さらなる高密度化、小型化を図ることができる液体吐出ヘッド用基体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するための液体吐出口及び該液体吐出口に連通する液体流路を有する流路形成部材と、前記液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有し、前記液体流路に前記液体を供給するための液体供給口を内部に有する基板と、を含む液体吐出ヘッド用基体であって、前記第一の面側と前記第一の面と反対側の第二の面側とを電気的に導通させる導電層が前記液体供給口の側面に沿って設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド用基体である。 （もっと読む）

【課題】工程の簡略化を達成するとともに、流路形状の変形や形状のばらつきの抑制、残渣の発生を防止することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子(10)が形成された基板(12)上に、流路となる凹部(20)と流路の側壁部分となる凸部を含んだ流路パターン(18)を形成する（図1(d)）。凹部(20)を中空状態としたまま流路パターン(18)を被覆するように、非感光材料層(22)と感光性樹脂層(24)の積層構造を有するドライフィルムレジスト(26)を基板(12)上の流路パターン(18)に重ねて形成する（図１（e））。このドライフィルムレジスト(26)の感光性樹脂層(24)の一部を除去してノズル開口部(28)を形成する（図１(f)）。その後、ノズル開口部（28）の中に残る非感光材料層(22)をドライエッチングにより除去し、感光性樹脂層(24)の表面に撥液層(30)を形成する（図１（g））。 （もっと読む）

【課題】貫通孔の側壁を平坦に加工することのできる液体吐出装置の流路板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の流路板の製造方法は、面方位が｛１１０｝であるシリコン基板の一方の面と他方の面とを貫通する貫通孔と、前記一方の面側に形成され前記貫通孔と接続する流路と、を備えた液体吐出装置の流路板の製造方法であって、前記シリコン基板の前記一方の面上に第１マスクを形成し、前記第１マスク上に第２マスクを形成するマスク形成工程と、前記第２マスクを介して少なくとも一部にドライエッチングを含むエッチングを行い、前記貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記第２マスクを除去した後、前記第１マスクを介して前記貫通孔に対して結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔の側壁面を、前記シリコン基板の面方位｛１１１｝の面で構成するように前記貫通孔の側壁を加工する側壁加工工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】凹部の底部にスロット部を精度良く形成可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明では、凹部に形成した第一のレジスト１１を、シリコン基板１と第一のレジストに対するそれぞれのエッチングレートが同等となる条件でエッチング除去することにより、凹部底部に生じる段差を除去する。該段差を除去することにより、後工程における第二のレジストを高精度に形成及びパターニングすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）