【課題】本発明は、ノズル形成部材の膨潤により基板とノズル形成部材の接地面に生じる剥離応力を緩和させることが可能な構造を有するインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】発明に係るインクジェット記録ヘッドは、ノズル形成部材の内面であってインク供給口直上にリブ状突起構造を有し、該リブ状突起構造は、前記ノズル形成部材の表面側から溝が形成されていることを特徴とする。このような構成とすることにより、インク等によるインク形成部材の膨潤によって生じる剥離応力を緩和し、基板とノズル形成部材の剥離を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に多段の溝を安価に精度良く形成することができるガラス基板の溝形成方法等を提供すること。
【解決手段】ガラス基板２の表面に段差状の開口穴２１ａ〜２３ａを有するエッチング保護膜Ｂを形成し、エッチング保護膜Ｂとガラス基板２とを同時にエッチングして、ガラス基板２に段差状の開口穴２１ａ〜２３ａに対応する多段の溝９ａ〜９ｃを形成する。このとき、段差状の開口穴２１ａ〜２３ａを有するエッチング保護膜ＢがＴＥＯＳ酸化膜のような酸化膜であり、あるいは窒化膜である。エッチングに際しては、ガラス基板２のエッチングレートとエッチング保護膜Ｂのエッチングレートとの相違により、エッチング保護膜Ｂの段差部の膜厚を決定する。 （もっと読む）

【課題】ワイピング性能を損なうことなく、ノズル穴のインクを吐出する側の開口の周囲に、記録媒体との接触を回避するための突出部を、簡単に形成する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル穴４３が未加工のノズルプレート基材６１に対し、ノズル穴４３の液滴を吐出する側の開口４３ａが形成されるべきノズルプレ―ト基材６１の表面に突出部５１を形成する。ノズルプレート基材６１の前記液滴を吐出する側の面であって開口４３ａとなる部分付近に対し、ポリイミド樹脂で構成される液滴を付着させる。それから、その液滴を硬化させることにより突出部５１を開口４３ａとなる部分付近に対し形成し、前記液滴を吐出する側の面に撥液膜７３を形成する。その後、前記液滴を吐出する側の面にノズル穴４３を形成してノズル面とする。 （もっと読む）

【課題】耐インク性に優れ、長期信頼性を有するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】２層のＳｉ層１１，１２間に第１のＳｉＯ_２層１３を有するＳＯＩ基板１５の少なくとも一方のＳｉ層を熱酸化し、第２のＳｉＯ_２層１６を形成する第１酸化工程と、前記第２のＳｉＯ_２層１６、及び前記第１のＳｉＯ_２層１３と前記第２のＳｉＯ_２層１６との間のＳｉ層１２の一部を、エッチング処理により少なくとも前記第１のＳｉＯ_２層１３が露出するまで除去し、ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、形成された前記ノズル孔の少なくとも側壁のＳｉ層を熱酸化し、ＳｉＯ_２層２１を形成する第２酸化工程と、前記ノズル孔における前記側壁以外のＳｉＯ_２層１３を、少なくともＳｉ層１１が露出するまで異方性ドライエッチング処理し、前記ノズル孔を開口処理する孔開口処理工程と、他方のＳｉ層１１を除去し、ノズル２０を形成するノズル形成工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の共通配線電極の電極幅を個別配線電極の電極幅と同等としても大型ヘッドでレーザー接合を行う場合に半田の接合強度が低下し、あるいはタクトタイムが低下する。
【解決手段】圧電素子部材１２の一端部には、駆動圧電素子柱１２Ａよりも幅広の非駆動圧電素子柱１２Ｂａを形成し、非駆動圧電素子柱１２Ｂａの個別電極側端面にすべての駆動圧電素子柱１２Ａの共通電極２４を接続した共通電極部２５を設け、圧電素子部材１２の各駆動用圧電素子柱１２Ａの個別電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを電気的接続部材である半田３２で接合して電気的に接続し、また、圧電素子部材１２の一端部側の非駆動圧電素子柱１２Ｂａに設けられた共通電極部２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを同じく半田３２で接合して電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの液滴流路が形成されたキャビティー基板に対し、陽極接合により接合可能なノズル基板を簡単に製造することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板１００の一方の面に液滴吐出側の第１ノズル孔となる凹部１０３を形成する工程と、凹部１０３の内壁を含むシリコン基板１００の表面全体に耐インク保護膜１０４を形成する工程と、ガラス基板１１０の一方の面に液滴供給側の第２ノズル孔となる凹部１１１を形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面とガラス基板１１０の一方の面同士を、凹部１０３と凹部１１１とが対向するようにして陽極接合する工程と、ガラス基板１１０の他方の面を凹部１１１の底面が開口するまで薄板化し、第２ノズル孔１１ｂを形成する工程と、シリコン基板１００の他方の面を凹部１０３の底面が開口するまで薄板化し、第１ノズル孔１１ａを形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの長尺化に伴って圧電素子部材に溝加工を複数の圧電素子柱を形成するときに圧電素子柱の倒れ、チッピングが生じる。
【解決手段】圧電素子部材１２には溝１４によって複数の圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂが形成され、圧電素子柱１２Ａの端面に設けた個別電極には金属箔４１が接合され、金属箔４１に、圧電素子柱１２Ａに駆動信号を与えるＦＰＣ１５の電極４２が接合されて接続されていることで、圧電素子部材１２に溝加工を施すときに金属箔４１で補強されて溝加工による圧電素子柱１２Ａの倒れやチッピングが発生しなくなる。 （もっと読む）

【課題】封止板を効率よく加工することにより工数が減少された、液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００の製造方法は、基体１００の上方に圧電素子２００を形成する工程と、封止板３００を形成する工程と、基体１００の上方に封止板３００を設け、圧電素子２００を封止する工程と、を含み、封止板３００を形成する工程は、ガラス基板３１０を準備する工程と、ガラス基板３１０にレーザー光１０を照射してエッチング領域３１２を形成するレーザー照射工程と、エッチング領域３１２をウエットエッチングによって除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減及び製品の信頼性向上を図ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第２の基板用ウェハー１３０の、第１の基板用ウェハー１１０側とは反対側の面に、耐エッチング性を有するフィルム５７を接着剤３６で接着して第１の基板用ウェハー１１０をエッチングし、エッチング後にフィルム５７の第２の基板用ウェハー１３０との接着部にレーザー４００を照射してフィルム５７と接着剤３６との間に空間を設け、空間内の気体を加熱及び膨張させて空間を拡大させ、フィルム５７を第２の基板用ウェハー１３０から剥離した後、第２の基板用ウェハー１３０の表面に残存する接着剤３６を除去し、第１の基板用ウェハー１１０及び第２の基板用ウェハー１３０にレーザーを照射して第１の基板用ウェハー１１０及び第２の基板用ウェハー１３０を各チップに分割する。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜を用いた圧電素子に係わり、特に、駆動電圧を高くすることなく大きな撓み変形が得られる圧電素子を提供する。
【解決手段】
圧電素子を、櫛形形状の導電性弾性板２と、導電性弾性板２の各櫛歯部に設けた圧電素子セグメント１ａ〜ｅと、により構成し、圧電素子セグメントを。、櫛歯部の一方の面に順次形成した第１の圧電体膜３及び第１の電極５と、他方の面に順次形成した第１の圧電体膜４と分極方向が同じ第２の圧電体膜及４び第２の電極６と、により構成し、第１の電極５及び第２の電極６の接続点と、導電性弾性板２と、の間に電圧を印加することにより第１の圧電体膜３と第２の圧電体膜４が同方向に撓み変形して大きな撓み変動が起こるようにした。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを支持する支持基板に対する接合を良好におこなうことが可能で、かつ液体に対する耐性が高い壁面を有する供給口を備えたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】面の結晶方位が｛１００｝であり、表面にインクを吐出口から吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えるＳｉ基板と、前記吐出口と連通し、前記Ｓｉ基板上にインクを保持する流路と、前記Ｓｉ基板の前記表面とその裏面とを貫通して流路と連通し、該インク流路にインクを供給する供給口と、を有するインクジェットヘッドであって、前記供給口の壁面が、互いに対向する二つの｛１１１｝面を有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】低電圧化を可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた振動板側電極８に密接して設けられて圧電変位して振動板Ａを変位変形させる圧電素子Ｂと、を備え、圧電素子Ｂは、圧電素子側電極１２及び振動板側電極間８に複数の圧電膜９、１１と、各圧電膜と交互に積層された隣り合う複数の層からなる中間電極１０と、を備え、各圧電膜は、中間電極１０を構成する各層と、振動板側電極８又は圧電素子側電極１２との間に電位を印加されることで変位するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、供給口内に梁が設けられたインクジェット記録ヘッドを製造する簡便な方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、シリコン基板で構成され、かつインク供給口の相対する長辺間をつなぐように形成された梁を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、（１）前記シリコン基板の表面に犠牲層を形成し、少なくとも前記シリコン基板の裏面であって梁形成部の下側に相当する部分にエッチングマスクを形成する工程と、（２）前記エッチングマスクをマスクとして前記シリコン基板をアルカリ溶液により異方性エッチングし、さらに前記犠牲層を前記アルカリ溶液によりエッチングしつつ前記シリコン基板を異方性エッチングすることにより前記梁を形成する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液との適合性に優れ、しかも微細で高精度のノズル孔を有するノズル基板、液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔３０を有するノズル基板３であって、ノズル基板３がシリコン材料からなる基材４と硼珪酸ガラス材料からなる基材５とを積層して形成され、シリコン材料からなる基材４がノズル孔３０の液吐出側に配設され、硼珪酸ガラス材料からなる基材５がノズル孔３０の液導入側に配設されている。そして、ノズル孔３０の液吐出側に配設されたシリコン材料からなる基材４と、ノズル孔３０の液導入側に配設された硼珪酸ガラス材料からなる基材５とが、陽極接合されている。 （もっと読む）

【課題】最近接の供給口を隔てるＳｉ梁幅を厚くし、また、Ｓｉ梁幅のバラツキを少なくする作製方法を提供し、良好な印字品位を達成する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】面方位が｛１００｝であるＳｉ基板と、前記Ｓｉ基板上に液体を保持する流路と、前記流路と連結し液体を吐出する吐出口と、前記流路と連結し該流路に液体を供給する供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、最近接の供給口が前記Ｓｉ基板の＜１００＞方向に並ぶように、前記Ｓｉ基板に先導孔を形成する第１のＳｉ除去工程と、前記先導孔に対して、｛１００｝面のエッチング速度が｛１１０｝面のエッチング速度より遅い条件でＳｉ結晶軸異方性エッチングを行い、供給口を形成する第２のＳｉ除去工程と、をこの順に含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの低下を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び結晶基板
のエッチング方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が形成されている流路形成基
板１０を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板の表面に開口部２０
２を有する膜を形成してマスク２００とするマスク形成工程と、流路形成基板を開口部を
介してウェットエッチングすることで液体流路を形成するエッチング工程と、マスクを除
去する除去工程とを具備し、マスクは、少なくとも前記開口部の周囲に第一の凹凸部２０
１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法を提供する。
【解決手段】圧力チャンバの上部壁をなす振動板の上部に形成される下部電極と、下部電極上の圧力チャンバに対応する位置に形成され、その周辺部と前記下部電極との間に空間が形成された圧電膜と、前記圧電膜上に形成されて圧電膜に電圧を印加する上部電極と、を備える。一方、前記圧電膜は、周辺部に形成された空間の代わりにその側面が下部電極の上面に対して実質的に直角をなすように形成できる。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍の破壊や端部近傍の振動板の破壊を防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通し隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２が並設された流路形成基板１０と、この流路形成基板１０に接合された振動板５０と、圧力発生室１２の共通の液体室となるリザーバ１００と、隔壁１１のリザーバ１００側の先端部１１ａに、流路形成基板１０の厚さ方向に亘って設けられた溝部１６と、溝部１６から隔壁１１の先端部１１ａと振動板５０とが形成する角部１８に亘って連続して設けられて振動板５０に接着された接着剤１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出エネルギー発生素子とインク流路および吐出口との位置関係を高精度かつ再現性良く制御でき、印字特性の良好なインクジェットヘッドを安定して製造できる方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出する吐出口２と連通する流路１７を形成するための流路形成部材を基板１上に有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、基板１上に感光性樹脂からなる層を設け、その層上の流路１７に対応した部位にマスク層を設け、感光性樹脂からなる層に対して露光を行い流路１７の形状を有するパターンとし、このパターンを被覆するように流路形成部材となる層を設け、流路形成部材となる層の一部に吐出口２を形成し、そのパターンを除去して流路１７を形成することを含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ドライバＩＣ収容部を形成する際に、エッチングガスの回り込みによりリード部の絶縁膜がアタックされず、絶縁不良を引き起こすことがない液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】ノズル基板４０、底壁に振動板１８を形成したキャビティ基板１０、電極基板２０、リザーバ基板３０、キャビティ基板１０上に実装されたドライバＩＣ２と、キャビティ基板１０上に形成されたリード部１４とを備え、個別電極２２とドライバＩＣ２とは配線部３により接続され、配線部３は、その一端が個別電極２２に接続されてキャビティ基板１０に設けた配線引き出し孔１６から引き出され、その他端がドライバＩＣ２に接続される。この場合、個別電極２２とドライバＩＣ２とが接続される配線部３によって、振動板１８と電極凹部２１との間に形成されたギャップＧが封止される。 （もっと読む）