【課題】絶縁耐圧に優れた液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数のギャップ段差部２０に電極部Ａがそれぞれ形成された第２の基板２と、壁面の一部が振動板１２からなる複数の吐出室１３を有し、振動板１２の吐出室と反対側の面上に絶縁膜１５が成膜された第１の基板１とを少なくとも備え、振動板１２及び絶縁膜１５をギャップＧを介して電極部Ａと対向させ、ギャップ段差部２０から電極部Ａを取り出す電極取り出し部２９を備えた液滴吐出ヘッドであって、ギャップ段差部２０の電極取り出し部２９の近傍にエッチング耐性を有する絶縁保護膜２５を形成した。この絶縁保護膜２５は、電極部Ａのリード部２２の端部近傍に形成する。 （もっと読む）

【課題】ドライバＩＣ収容部を形成する際に、エッチングガスの回り込みによりリード部の絶縁膜がアタックされず、絶縁不良を引き起こすことがない液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】ノズル基板４０、底壁に振動板１８を形成したキャビティ基板１０、電極基板２０、リザーバ基板３０、キャビティ基板１０上に実装されたドライバＩＣ２と、キャビティ基板１０上に形成されたリード部１４とを備え、個別電極２２とドライバＩＣ２とは配線部３により接続され、配線部３は、その一端が個別電極２２に接続されてキャビティ基板１０に設けた配線引き出し孔１６から引き出され、その他端がドライバＩＣ２に接続される。この場合、個別電極２２とドライバＩＣ２とが接続される配線部３によって、振動板１８と電極凹部２１との間に形成されたギャップＧが封止される。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの駆動部間に残存する圧電体を除去してクロストークを低減させることができ、薄型化された駆動部を有するインクジェットヘッドが製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、インクが収容される複数のチャンバ、チャンバに圧力を提供する駆動部を含むインクジェットヘッドの製造方法であって、チャンバに隣接するインクジェットヘッドの一面に圧電体を形成する工程と、チャンバの位置に対応して圧電体が残存するように、圧電体をダイシングして駆動部を形成する工程と、隣り合う駆動部間に残存する圧電体が除去されるように、インクジェットヘッドの一面をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

第１の表面、第１の表面と表裏をなす第２の表面及び、半導体材料体を貫通して形成された、第１と第２の表面を連結するノズルを有する半導体材料体を有し、第２の表面のノズル噴出口を通して液体を射出するようにノズルが構成され、噴出口が丸められたコーナーで連結された直辺を有する、ノズル層が説明される。
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【課題】 本発明は、両者のマスク開口幅を一致させることで、エッチング液の進入具合を同じとすることができ、両者の最適条件は一致し、どちらも高精度で所望の寸法が得られる。
【解決手段】 ダイアフラム層とフレーム層とから構成され、フレーム層からなる複数の凸部と、フレーム層及びダイアフラム層を共に貫通するアライメント穴とが形成された振動板を有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、フレーム層のアライメント穴を形成するためのマスクパターンは、凸部を形成するためのマスクパターンの開口幅と等しい開口幅を持ったリング状パターンである。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位ばらつきを低減し、歩留りを向上させること。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室が形成される基板に、圧電体および電極を有する圧電素子を形成し（ステップＳ２）、形成された前記圧電素子の静電容量と前記圧電素子のサイズとを実測し（ステップＳ４）、実測結果から前記圧電素子の変位量を予測し（ステップＳ６）、予測された前記圧電素子の変位量に基づいて、前記圧電素子の変位量を変更する加工処理の補正値を決め（ステップＳ８）、前記補正値を用いて前記加工処理を行うことで前記圧電素子間の変位量のばらつきを補正する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部材の撥水層の耐久性及び撥水性のいずれも両立して向上することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズル板３は、ノズル基材３１の液滴吐出側の面に撥水層３２が形成され、撥水層３２は、フッ素樹脂層からなり、単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体又はコポリマー（分子鎖）が絡み合った層３２ｃで構成され、これらの単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体の層３２ｃがいずれもノズル板３の表面に露出した状態で形成されている。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を要することなく低コストに圧電体膜を容易にパターニングすることができ、圧電体膜のパターンの形状精度が良く、成膜時のコンタミネーションの問題がない新規なパターニング技術を提供する。
【解決手段】下部電極２０が形成された基板１０上に、パターニングされていないベタ圧電体膜３０Ｐを成膜する工程（Ａ）と、ベタ圧電体膜３０Ｐ上に、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎに対応したパターンを有し、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去するための除去用電極４１を形成する工程（Ｂ）と、下部電極２０と除去用電極４１との間に電界を印加して、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎにクラックを発生させる工程（Ｃ）と、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去する工程（Ｄ）とを順次実施する。 （もっと読む）

【課題】樹脂層及び金属層からなる振動板部材を使用する液体吐出ヘッドにおいて、滴吐出特性のバラツキを低減することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板部材２は、振動板領域２Ａを形成する樹脂層２２上に島状凸部２Ｂなどを形成する金属層２１を析出させ、金属層２１をエッチングして島状凸部２Ｂを形成したものであり金属層２１は、樹脂層２２側と反対側の面（金属層２１の表面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ａ）が、樹脂層２２側の面（金属層２１の樹脂層界面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ｂ）よりも大きく（ａ＞ｂの関係に）形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の厚みばらつきが低減されて厚みが高精度化され、さらに共通電極を容易に取り出すことができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数の積層された基板１、２、３に、少なくとも、液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、各ノズル孔３０のそれぞれに連通する吐出室１３と、吐出室１３の底壁に形成された振動板１２と、各吐出室１３と連通され吐出室１３に液体を供給するリザーバ１４と、振動板１２と対向配置されて振動板１２を駆動する個別電極２１とが形成され、積層された基板１、２、３のうちの一の基板１がシリコン製の基板であって、少なくとも吐出室１３を形成した基材と、この基材の底面に接合した振動板１２とを備え、基材が（１１０）面方位のシリコン単結晶基材１０からなり、振動板１２が（１１１）面方位のシリコン単結晶基材１１からなる。 （もっと読む）

【課題】各ノズルからのインク吐出量の安定化や、ノズル及び吐出室の高密度化、多列化が可能な液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル３１が形成されたノズル基板３０と、ノズル３１のそれぞれに連通し、底壁が振動板２２となる複数の吐出室２１、振動板２２のそれぞれに形成された複数の個別電極２４、及び個別電極２４のそれぞれの間に形成された絶縁層２３を有するキャビティ基板２０と、少なくとも振動板２２と対向する範囲に振動板２２を駆動する共通電極１１が形成された電極基板１０と、キャビティ基板２０と電極基板１０との間に設けられ、振動板２２と共通電極１１との間にギャップを形成するスペーサ層１５とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、半導体基板に貫通孔を作成することなく犠牲層を溶解液により溶解除去してインク液室等を作成する構成において、溶解液による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。
【解決手段】犠牲層の溶解液から電極７０を保護する保護層８８を電極７０に設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔形成のための処理時間が短く、材料が少なくて済み、安全性に優れ、安価に製造することができるシリコン製ノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１の表面にシラザンのようなシリコン窒素化合物１０１を成膜する工程と、成膜されたシリコン窒素化合物１０１を焼成する工程と、成膜され焼成されたシリコン窒素化合物１０１の上にレジスト１０２を塗布して開口部１０２ａを形成する工程と、レジスト１０２に形成された開口部１０２ａよりウェットエッチングして、シリコン窒素化合物１０１に、シリコン基材１００側に小径化していく液導入側のノズル孔部１１０ａを形成する工程と、成膜され焼成されたシリコン窒素化合物１０１をマスクとしてドライエッチングし、シリコン基材１に液吐出側のノズル孔部１１０ａを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】高画質高速記録を可能にする小型化した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する素子を備えた基板であって、該基板の前記素子を備える一方の面と該一方の面の反対側の面とを連通する液体の供給口が設けられた前記基板と、前記基板の前記一方の面上に設けられ、前記吐出口と前記供給口とを連通する液体の流路の壁をもつ部材と、前記供給口を覆う様に設けられ、複数の貫通孔が設けられた絶縁層と、前記素子と電気的に接続され、液体に対して絶縁状態となる様に前記絶縁層に内包された導電層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 高品位の記録を達成することができるとともに、サイズの増大を防止することができるインクジェットヘッド用基板を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド用基板上の電極配線は、第一の部分と第二の部分とを具える。第一の部分は、電極配線の電極パッドの側から基板の長手方向に延びている。第二の部分は、第一の部分の、電極パッドの側とは反対の側からエネルギー発生体に向かって長手方向に関して交差する交差方向に延び、抵抗素子が設けられている。抵抗素子の抵抗値は、各抵抗素子が設けられた電極配線の抵抗値に応じて互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部と該発熱部に通電を行うための金属の配線部とを有する基板と、発熱部に対応して吐出口が形成される有機樹脂の部材とが接して配置されることで構成されるインクジェットヘッドにおいて、基板と有機樹脂の部材との密着力を高め、両者の剥れを抑制する。
【解決手段】金属の配線部を、有機樹脂の部材（ノズル形成部材）の端部において分断し、当該分断された配線部を、有機樹脂との密着性がよい保護層の下に設けられた迂回配線を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】電力配線部とノズル形成部材との間に高い密着性を得ることができると共に、配線部とインクとの接触による配線部の腐食、電解などの発生を低減することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド用基板は、基板１０１の表面に発熱抵抗体１０３と、発熱抵抗体に電力を供給する電力配線１３０と、電力配線の表面に形成した有機層１１１と、を備える。電力配線１３０に接する有機層１１１との間には、電力配線１３０より化学的安定性の低い金属からなる密着層１１０を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁層を構成する表面保護膜を改質処理し、寿命が長く、しかも高い吐出能力を維持して安定して駆動することができる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板２０と対向電極３０との対向面のいずれか一方または両者に絶縁層２５、２５０が設けられ、絶縁層２５、２５０が、誘電体膜２６、２６０とその上に形成された表面保護膜２７、２７０とからなり、表面保護膜２７、２７０が表層部にＣ−Ｆ結合部分２７ｂ、２７０ｂを有するダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａである。この製造工程は、シリコン基板２の表面と、対向電極３の表面とのいずれか一方または両者に誘電体膜２６、２６０を形成し、その上にダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａを形成する工程と、ダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａの表面にフッ素系ガスのプラズマを照射して表層部をＣ−Ｆ結合に改質する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】剛性及び液滴吐出速度に優れ、しかもインク吐出量を充分に確保することができ、製造に際しては工程数を削減することができるシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、液滴を吐出するためのノズル孔１１を複数有し、各ノズル孔１１はそれぞれ複数の筒状部１１ａ〜１１ｉから構成され、各筒状部１１ａ〜１１ｉの軸方向に垂直な断面積が上面から底面まで一定である。そして、軸方向に垂直な断面形状および断面積がそれぞれ同じである。筒状部１１ａ〜１１ｉは、それぞれの径が１０〜４０μｍであり、長さが３０〜１００μｍである。筒状部１１ａ〜１１ｉは円筒形であって、中心部とその同心円上に配設することができる。また、多角筒形であって、中心部とその同心上に配設するようにしてもよく、断面を正六角形状とし、ハニカム構造状に配置してもよい。 （もっと読む）

【課題】アライメントを行うことなく流路とノズルの位置ズレを防ぐとともに、流路が微細であってもエッチングムラを抑制してノズル孔を高精度に形成することができるノズル孔の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】内部を貫通する流路１２を有し、少なくとも片面に前記流路の開口部１４ａ，１４ｂが形成されている流路基板１０と、前記流路に通じるノズル孔を形成するためのノズル基板２０を準備する基板準備工程と、前記流路基板の流路の開口部１４ｂが形成されている片面に、該開口部を塞ぐように前記ノズル基板を接合する接合工程と、前記流路基板の前記流路を介して、高圧流体とエッチング液を含むエッチング混合流体を前記ノズル基板に供給してエッチングすることにより、前記流路に通じるノズル孔２２を形成するエッチング工程と、を有するノズル孔の形成方法。 （もっと読む）