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Fターム[2C057AP33]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | ヘッドの製造 (18,267) | 加工方法 (12,269) | エッチング使用 (2,606) | ウェットエッチング (1,086)

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【課題】信頼性が高く、形成する画像の高画質化に寄与するインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、インク供給口(不図示)が形成されたシリコン基板1を有している。また、シリコン基板1の表面に設けられ、並べて配置された複数の圧力室8および各圧力室8と外部空間とを連通している吐出口7が形成された流路形成部材3を有している。また、シリコン基板1の表面に設けられ、流路形成部材3の一部を保持している密着層4と、各吐出口7に対向して配置され、インクを吐出口7から吐出させる吐出エネルギー発生素子2と、を有している。各圧力室8は、シリコン基板1の表面をそれぞれ囲むように流路形成部材3に形成された流路6aまたは流路6bによって、インク供給口に連通されている。密着層4は、流路形成部材3を保持している部分から、シリコン基板1の表面の、流路6aの中の領域にわたって配置されている。 (もっと読む)


インクジェット・デバイスのノズル(32)及びインク室を形成する方法であり、ノズル通路(28)は、基板(10)を方向性を持つ第1エッチング工程にその基板の片側からさらすことによって形成され、第2エッチング工程は、ノズル通路(28)の内部の部分を拡大するためにその基板の同じ側から適用され、従ってそのノズルに隣り合わせるインク室の少なくとも1部分を形成する空洞(30)を形成し、その空洞(30)の形状は、基板(10)の反対側にエッチング停止層(18)の下に埋められたエッチング加速層(14)を供給することによって、及び第2エッチング工程がエッチング加速層の中へ進むことを可能にすることによって制御され、以下のステップ:基板(10)においてノズルが形成されるべき側に環状溝を形成するステップ、及び第2エッチング工程に対して耐久性を持つようにその溝の壁を不動態化するステップ、が第1エッチング工程に先立つことを特徴とし、その溝によって取り囲まれる材料は第1エッチング工程において除去されることを特徴とする。
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【課題】複雑な構造にすることなく、チップサイズの小型化及びノズル孔の多列化を容易に両立させることができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド100は、振動板32と個別電極42とをガラス溝45に起因するエアギャップ41を介して対向させるとともに、キャビティ基板3の電極基板4との接合面の一部を貫通穴44を介して露出させ、キャビティ基板3の電極基板との接合面に、一端を個別電極42の表面に接続し、他端をガラス溝45の開放端部から貫通穴44形成部分にまで延設した個別電極リード36を形成し、貫通穴44を介してキャビティ基板3の露出面側から個別電極リード部36に駆動信号を印加可能にした。 (もっと読む)


【課題】複雑な構造にすることなく、インクのカラー化及びチップサイズの小型化を両立させるとともに、リザーバ間の隔壁の剛性を確保した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド100は、ノズル列15が形成されたノズル基板1と、底壁が振動板32となる複数の圧力室31が形成されたキャビティ基板3と、複数の圧力室31の所定個数毎に液体を供給する開口形成された複数のリザーバ21、ノズル連通穴24、及び、リザーバ21の開口部外周の一部を圧力室31方向に延設させてリザーバ21と圧力室31とを連通させる供給口22が形成されたリザーバ基板2と、振動板31を駆動する個別電極42が凹部45内に形成された電極基板4と、を備え、供給口22は、リザーバ基板2の開口部の形成面に所定の深さの凹部により構成されている。 (もっと読む)


流体噴射に使用されるキャビティ板には、特に、流出端部が含まれる。細長ランド部が、流出端部からキャビティ板の流入端部に向かって延びる。細長ランド部は、キャビティ板の上面と下面との間に側壁を有し、細長キャビティを形成する。流体流出端部の上流かつ細長ランド部の間に構造的支持体があり、細長ランド部を支持する。
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【課題】小型化及び低コスト化を実現しつつ、信頼性の向上を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド100は、液滴を吐出するノズル孔41が形成されたノズル基板40と、ノズル孔41と連通し、底壁が振動板22となる吐出室21が形成されたキャビティ基板20と、振動板22にギャップ15をもって対向し、振動板22を駆動する個別電極12及び個別電極12を設ける凹部11が形成された電極基板10とを備え、電極基板10の凹部11の一方の端部側に、電極基板10を貫通させた封止溝穴13を形成し、個別電極12に接続するように金属材料を封止溝穴13に成膜することで、この金属材料をギャップ15の封止部とするとともに、個別電極12に電圧を印加する際の入力配線としている。 (もっと読む)


【課題】ウェットエッチングを行うエッチング溶液が、封止したリザーバ部の開口部から漏れてしまい、リザーバ形成基板に形成された接続配線を損傷し、断線などに至る場合がある。
【解決手段】第1流路としてのリザーバ部31が形成された第1基板としてのリザーバ形成基板用ウェハ130と、リザーバ形成基板用ウェハ130の一方側に接合され、第2流路としての連通部13が形成された第2基板としての流路形成基板用ウェハ110と、リザーバ部31と連通部13とを区切る分離層としての金属層92と、を備えた基板群を準備する準備工程と、リザーバ形成基板用ウェハ130の流路形成基板用ウェハ110と反対側に、粘着層によって封止膜としてのフィルム1を粘着し、リザーバ部31を封止する封止工程と、封止工程の後に、金属層92を除去する除去工程と、を含み、除去工程では、リザーバ部31の圧力が外部の圧力より低い状態で行う。 (もっと読む)


【課題】シリコン基板とガラス基板との陽極接合強度を確保し、複数の振動板に対応した各絶縁膜の平坦度にもばらつきが生じにくい、静電アクチュエータを提案する。
【解決手段】シリコン基板2に酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料からなる第1絶縁膜8aを成膜する工程と、第1絶縁膜8aをパターニングして、シリコン基板2がガラス基板3と密着することとなる部分から、第1絶縁膜8aを除去する工程と、シリコン基板2の第1絶縁膜8aがパターニングされた面に、第1絶縁膜8aよりガラスとの陽極接合性の良い第2絶縁膜8bを、第1絶縁膜8aを覆う厚さとなるまで成膜する工程と、シリコン基板2の第2絶縁膜8bが成膜された面を、第1絶縁膜8aが露出するまで平坦に研磨する工程と、第1絶縁膜8aと個別電極5を対応させて、シリコン基板2の第2絶縁膜面8bとガラス基板3とを陽極接合する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】電気熱エネルギー変換体の温度を検知する際の精度を向上する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、半導体基板と、前記半導体基板の上に配された第1の絶縁層と、電気エネルギーを受けて、前記液体に作用させるための熱エネルギーを加熱領域に発生させる電気熱エネルギー変換体と、前記第1の絶縁層と前記電気熱エネルギー変換体との間に配された第2の絶縁層と、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に配され、前記電気熱エネルギー変換体の温度を検知する薄膜温度検知素子と、前記電気熱エネルギー変換体に電流を供給するためのスイッチ素子と、前記スイッチ素子に接続された配線層とを備え、前記配線層に含まれる配線の膜厚よりも、前記薄膜温度検知素子の膜厚は薄い。 (もっと読む)


【課題】被覆性がよく、ノズル孔の内壁等が吐出液によって浸食されず、耐久性、吐出特性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板1は、液滴を吐出するためのノズル孔11を有し、ノズル孔11近傍の液滴吐出側にノズル孔11の吐出口と連通し液滴吐出側に開口する吐出凹部12を備え、吐出凹部12の内壁11cからノズル孔11の内壁11cを経て液滴吐出側の面1aと反対側の面1eまで連続する耐吐出液保護膜Aが形成された。この耐吐出液保護膜Aは熱酸化保護膜である。そして、耐吐出液保護膜Aの液滴吐出側の面1aを撥水性にし、ノズル孔11の吐出口縁部11dより内壁11c側を親水性にした。 (もっと読む)


【課題】複雑な構造にすることなく、インクの多色化(液滴の多種類化)及びチップサイズの小型化を両立させるとともに、共通インク室間の隔壁の剛性を確保することでインク等の液滴の吐出特性の安定化及び印刷等の動作の高速化を実現した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド100は、複数のノズル孔8を配列したノズル列と、ノズル孔8のそれぞれに連通し、液体を溜めてノズル孔8から吐出させる複数のインク圧力室5と、インク圧力室5の全てと連通し、インク圧力室5に液体を供給する共通インク室23と、からなる液体吐出機構を複数設け、複数の液体吐出機構は、ノズル列のそれぞれが同一面内で略直線上に配置され、共通インク室23がノズル列の両側に交互に配置されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路3を有する基板1の表側に流路形成膜10を形成する工程と、流路形成膜10に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜10上に振動膜30を形成する工程と、振動膜30上に圧電素子50を形成する工程と、基板1を裏面側から犠牲膜が露出するまでエッチングしてリザーバ5を形成する工程と、リザーバ5を介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、流路形成膜10にノズル開口部22を形成する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド100の製造方法であって、基板1の表面に圧力発生室となる溝部51を形成する工程と、溝部51の底面にノズル開口部となる溝部52を形成する工程と、溝部51、52に犠牲膜53を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜53及び基板1の表面上に振動膜20を形成する工程と、振動膜20上に圧電素子30を形成する工程と、基板1の裏面を研削して溝部52の底面を開口させる工程と、基板1の表面側から犠牲膜53を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜53をエッチングし除去する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路3を有する基板1の表面側に流路形成膜10を形成する工程と、流路形成膜10に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜10上に振動膜30を形成する工程と、振動膜30をエッチングして犠牲膜を底面とする貫通孔hを形成する工程と、基板1を裏面側からエッチングしてリザーバ5を形成する工程と、流路形成膜10をエッチングしてノズル開口部22を形成する工程と、リザーバ5及び貫通孔hを介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、振動膜30上に圧電素子50を形成して貫通孔hを塞ぐ工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】配線板に形成された貫通孔内へ充填された充填材料の膨張・収縮による機械的外力によって生じる、充填材料上の金属配線の断線を抑制する配線基板、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び配線板の製造方法を得る。
【解決手段】導電性ペースト87の表面と電気接続用貫通口140の孔縁部との間に段差Hを設け、該段差Hの部分に金属配線90を配設することで、電気接続用貫通口140の孔縁部側では、金属膜142と金属配線90とが互いに重なり合った状態となる。このため、金属膜142と導電性ペースト87との境界部分において、仮に、金属配線90が断線したとしても、金属膜142と金属配線90の重なり部分及び電気接続用貫通口140表面の金属膜142を介して、電流の流れは確保される。 (もっと読む)


【課題】圧電膜等のパターニングに有効であり、パターン形状精度が良好で、パターニングが容易で低コストな新規な無機膜のパターニング技術を提供する。
【解決手段】無機膜30は、単数又は複数の凸部31からなる所定パターンを有する膜であり、表面酸化レベルが低い低酸化部21と表面酸化レベルが高い高酸化部22とを有する金属膜20を下地として形成され、単数又は複数の凸部31が低酸化部21上にパターン形成されたものである。無機膜30は、低酸化部21と高酸化部22とを有する金属膜20上にベタ無機膜30Xを成膜した後、ベタ無機膜30Xの高酸化部22上に位置する部分を除去して、製造することができる。 (もっと読む)


【課題】圧力室を精度良く形成できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第1の面10aと第2の面10bとを有する基板10を準備、第1の面10aの上方に振動板20を形成、振動板20の上方に圧電素子30を形成、基板10に圧力室12を形成、圧力室12と連通するノズル孔を有するノズル板を形成する、各工程を含み、圧力室12を形成する工程は、第2の面10bの上方にハードマスク層60を形成、ハードマスク層60をパターニング、ハードマスク層60の側面に保護膜70を形成、基板10に異方性のウエットエッチングを行うことによって圧力室12を形成する、各工程を有し、ハードマスク層60のパターニングでは、基板10とハードマスク層60の界面が露出するように基板10をオーバーエッチングし、保護膜70の形成は、界面を覆うように形成する。 (もっと読む)


【課題】歩留まりを向上し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】金属以外の材料からなる仮基板400上に絶縁体膜55を形成し、該絶縁体膜55上に圧電体層70を形成し、圧電体層70をパターニングし、圧電体層70上に下電極膜60を形成し、下電極膜60上に振動板を構成する弾性膜56及び保護膜57を順次積層し、圧力発生室12が形成された流路形成基板10に、圧電体層70が振動板を介して圧力発生室12に対向するよう仮基板400を接合し、仮基板400を除去することにより絶縁体膜55を露出させ、絶縁体膜55の圧力発生室12に対向する領域を除去して開口部を形成し、開口部を介して露出した圧電体層70に接続する上電極膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】圧力緩衝用のダイアフラム部を設けたシリコン基材のダイアフラム部の欠陥検査を、効率よく、高精度かつ容易に行うことができる液滴吐出ヘッドのダイアフラム部の欠陥検出方法等を提供する。
【解決手段】表面に下地となる金属薄膜25が形成されその上に樹脂薄膜26が形成されてダイアフラム部210となる部分210aを有するシリコン基材200を欠陥検出用のエッチング液に浸漬する工程と、前記浸漬後に、金属薄膜25のエッチング浸食の有無を検出して樹脂薄膜26の欠陥部Aの有無を検出する工程とを備えた。このとき、金属薄膜25のエッチング浸食の有無を顕微鏡によって、透過光及び反射光を用いて行うことができる。上記の樹脂薄膜26をパリレン薄膜とし、金属薄膜25を白金薄膜またはクロム薄膜とする。欠陥検出用のエッチング液は、60℃〜80℃に加熱した塩酸と硝酸との混合液とする。 (もっと読む)


【課題】電極基板とキャビティ基板の接合不良や吐出能力の低下を防止でき、材料コスト及び製造コストの増加を抑え、小型化が可能な液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】電極基板10の個別電極12が形成された面に形成され、吐出室21に液体を供給するリザーバとなるリザーバ凹部16と、電極基板10の個別電極12が形成された面の反対面に形成され、静電アクチュエータを制御するドライバIC40を実装する実装用凹部13と、実装用凹部13の底部において電極基板10を貫通し、ドライバIC40と個別電極12とを接続する埋め込み配線26と、キャビティ基板に形成され、リザーバ凹部16と吐出室21を連通させる貫通穴24と、キャビティ基板20の個別電極12と埋め込み配線14との接続部と対向する位置に形成され、この接続部とキャビティ基板20との接触を防止する接触防止用凹部26とを備える。 (もっと読む)


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