【課題】下地電極層への配線接続部を効率良く形成することができる圧電素子及び圧電素子の製造方法、並びにエッチングによる単結晶シリコン層の成形を効率良く行うことができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子及び圧電素子の製造方法によれば、下地電極層３０の引出電極部３０ａを圧電体層３４成分が析出しない保護電極３２で覆い、この保護電極３２を配線接続部とすることで、効率良く下地電極層３０への配線接続部を形成することができる。更に、長時間を要する基板の単結晶シリコン層１０ｂに対するエッチング処理と水熱合成法による圧電体層３４の成膜とを同時に行うことで、一方の工程に要する時間を短縮することが可能となり、生産効率の向上と製造コストの削減とを図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の製造時、支持基板からの剥離において、ノズル基板のウェハ割れやクラック発生をできるだけ低減すること。
【解決手段】先端が小径で後端が大径のノズル孔をノズル基板となるシリコン基板１００の片面から途中までエッチングし、ノズル孔後端をシリコン基板１００の片面に開口させる工程と、シリコン基板１００のノズル孔後端側の面に、自己剥離層を有した両面接着シート１１０を介して支持基板１１２を貼り合せる工程と、シリコン基板１００のノズル孔先端側の面を薄板化してノズル孔先端側を開口させる工程と、両面接着シート１１０に光または熱を照射し、両面接着シート１００の自己剥離層での気泡の成長による界面剥離を発生させながら、シリコン基板１００を外的な力で支持基板１１２から引き離す工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 金属を埋め込む必要のある部分の深さ、および、配線幅が大きく異なっていても、大幅なディッシングによる膜厚の減少を防止して平坦な研磨面を与えることで、保護膜の厚みを小さくしても耐久性の劣化を招かずに印字速度を向上させることが可能となる熱インクジェット記録ヘッドの簡便な製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 所望の配線パターン、及び、その近傍で保護レジストを開口して通電し、必要最小限の部分に金属を堆積させるパターンめっきを行った後に、保護レジストを除去し、ウエットエッチングによりスクライブラインを含めた不要なシード層を一括して除去する。 （もっと読む）

【課題】同時に複数のノズルを駆動できる多ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、アク
チュエータの駆動回路の時定数を小さくして、液滴吐出動作の遅れをできるだけ低減した
液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法
を提供することを目的とする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、キャビティ基板３と、振動板８にギャップ１８を
隔てて対向し、振動板８を駆動する個別電極１７が形成された電極ガラス基板４とを備え
、電極ガラス基板４には、個別電極１７に駆動信号を供給するドライバＩＣ１５に外部か
ら電力を取り入れるための入力配線２０が形成されており、入力配線２０の一部を、導電
性酸化物及び金属材料の積層構造としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヒータ層や導線層を保護する保護層の破損を最小化できる、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】基板上に配置されたヒータ層１２と、ヒータ層１２上に配置され、ヒータ層１２の所定領域を露出させるように形成された導線層１３と、導線層１３及びヒータ層１２の所定領域を覆う保護層１４と、保護層１４表面の段差を平坦化する平坦化層１５と、を備えている。こうして、導線層１３を覆って表面に段差の生じている保護層１４の上に平坦化層１５を形成して表面を平坦にして保護層１４を確実に保護するので、応力集中をなくして保護層の破損を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で吐出量を変化させることができる液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板２２とを有し、ノズル３１に連通する液体の流路上に設けられる吐出室２１と、吐出室２１の一部である振動板２２と対向し、電荷供給により振動板２２との間に静電気力を発生させて振動板２２を当接及び離脱により変位させる個別電極１２とを備え、個別電極１２は、外部からの電荷が供給される第１個別電極１２Ａと、第１個別電極１２Ａと異なる材料からなり、第１個別電極１２Ａよりも電気抵抗が高く、第１個別電極１２Ａを介して電荷が供給される第２個別電極１２Ｂとで構成される。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の薄板化の工程で発生する異物を効率的に除去でき、歩留まりを向上することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板１００の一方の面に、ノズル孔１１の噴射口部分となる第１の凹部と、第１の凹部に連通し、液滴の導入口部分となる第２の凹部とを形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面に、ノズル孔１１から吐出する液滴に対する耐液体性及び耐エッチング性を有するＳｉＮ膜１０６を形成する工程と、ＳｉＮ膜１０６の上にＳｉＯ₂膜１０７を形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面に支持基板１２０を貼り合わせる工程と、シリコン基板１００を他方の面から薄板化する工程と、支持基板１２０をシリコン基板１００から剥離する工程と、支持基板１２０を剥離したシリコン基板１００のＳｉＯ₂膜１０７をエッチング除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、ヘッドチップの小型化が可能で、更に、配線を複雑化することなくアクチュエータの高密度化に対応可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル基板１とリザーバ基板２と振動板３１を有するキャビティ基板３と個別電極４２が形成された電極基板４と、個別電極４２に駆動信号を供給するドライバＩＣ５０と、個別電極数よりも少ない本数のリードからなり、ドライバＩＣ５０に入力信号を供給するためのＩＣ用リード部４５と、振動板３１に入力信号を供給するための共通電極用リード部４６とを備え、キャビティ基板３とリザーバ基板２とを連通する穴で形成される収容部５１にドライバＩＣ５０が収容され、ＩＣ用リード部４５及び共通電極用リード部４６は、電極基板４に設けられた貫通孔４７，４８を通じて個別電極４２が形成された面とは反対側の面に引き出されているものである。 （もっと読む）

【課題】クロストーク防止に十分なリザーバ容積の確保をしながらも、流路基板になるシリコン基板に高精度でノズルを加工形成できるようにした流路基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔１１と、キャビティ１２と、所定の容積を有するリザーバ１３とで構成される液体流路を１つのシリコン基板からなる流路基板基材に形成する流路基板１の製造方法であって、流路基板基材の一方の面から、ノズル孔１１、キャビティ１２及びリザーバ１３になる部分を所定の深さまでエッチング加工する際、流路基板基材に貫通させるアライメント用貫通孔部を併せて形成しておき、ノズル孔を所定の深さまでエッチングした後、流路基板基材をアライメントして、流路基板基材の他方の面からノズル孔を貫通させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 （１）基板の変形を抑え、吐出口の位置ズレを低減でき、（２）機械的強度の高く、ハンドリング及びマウント時の破損を回避できる、良好な印字を可能にする高精細且つ高速な記録を行うことが可能な長尺にできるインクジェット記録ヘッド及びその新規な作製方法を提供すること。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドの作製方法において、（ａ）該基板裏面に、開口部を有するマスク層を形成する工程（ｂ）開口部よりエッチングを行い、開口部サイズよりも大きいサイズのエッチング底部を有する溝を形成する工程（ｃ）該溝から露出した基板をエッチングし、基板に貫通孔を形成すると共に、隣接する溝を連通し、梁と共通液室を形成する工程を含むことを特徴とする記載のインクジェット記録ヘッドの作製方法。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造及び簡易な製造プロセスでノズル間ピッチの増大を低減しつつ、吐出エネルギーを増大させることでインク吐出性能の向上を図るようにした液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、インクノズル９と、インクノズル９に連通し、底壁が振動板５となる圧力室６とからなる液体流路が形成されたキャビティプレート３と、振動板５にギャップ１５を隔てて対向し、振動板５を駆動する個別電極１１が形成された電極ガラス基板４とを接合した積層基板の２つを、各振動板５が圧力室６に対して対称位置となるようにキャビティプレート３同士で接合させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑え、突出口の位置ズレを低減でき、機械的強度の高く、ハンドリング及びマウント時の破損を回避できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】共通液室８０９と、インクを加熱して気泡を発泡させインクを吐出させる発熱抵抗体を有する基板８０１と、該基板８０１上に設けられた吐出口を有するオリフィスプレート８０４とを備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、マスク層８０５よりなる梁が設けられている。 （もっと読む）

【課題】めっき法で形成された低抵抗な電力配線を有しながらも、異なる種類の金属がインクや水分等に接触することがない構造を有する、インクジェット記録ヘッド用の基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】電力配線金属のうち、主として下層を保護するための拡散防止層は、その上面および少なくとも側面の一部が、主として電力を供給するための金属層によって被覆されるように構成する。これにより、電力配線の表面は、その側面まで含めて単一金属が現れるようになるので、たとえ、インクや水分等に接触するような状況が生じても、イオン化傾向の差に伴う電池反応は発生せず、電力配線の腐食や短絡も抑制される。 （もっと読む）

【課題】より有効に吐出量を変化させる等の吐出制御を行うことができる液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）をそれぞれ備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に直列に設けられる複数の吐出室（上流側吐出室２１Ａ、下流側吐出室２１Ｂ）と、各吐出室の振動板と対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて各振動板を変位させる個別電極１２Ａ、１２Ｂとを備え、各振動板の変位による排除体積が異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】 形状再現性が良く生産性が高いインクジェットヘッド及びマイクロ構造体の作製方法を提供する。
【解決手段】 エッチング誘導孔を形成し結晶異方性エッチングを実施して、逆テーパー形状の孔を形成する。エッチング誘導孔の深さと形状を規定することにより、異方性エッチングで形成する形状を制御する。 （もっと読む）

【課題】さまざまな態様の吐出制御を行うことができる構造の液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）を直列に備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に設けられる吐出室２１と、吐出室２１の各振動板とそれぞれ対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて、それぞれ独立したタイミングで各振動板を変位させる固定電極１２Ａ、１２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータを構成する電極間隙間の封止を、封止材のための特別なスペースを各隙間毎に用意することなく、従来の封止構造及び封止方法よりも簡易に行える静電アクチュエータを提案する。
【解決手段】電極として作用する弾性変形可能な複数の振動板５が底面に形成されたキャビティプレート３と、各振動板５に対向する複数の電極部１７および各電極部１７から延びる電極リード部１８がそれぞれ電極用溝１６内に形成された電極基板４とを有し、キャビティプレート３の底面と電極用溝１６とにより形成された隙間１５を備えてなる静電アクチュエータであって、電極リード部１８の表面に絶縁膜２０が形成され、キャビティプレート３の底面が絶縁膜２０に密着接合されて隙間１５が封止されている静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】より有効に吐出量を変化させる等の吐出制御を行うことができる液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）をそれぞれ備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に直列に設けられる複数の吐出室（上流側吐出室２１Ａ、下流側吐出室２１Ｂ）と、各吐出室の振動板とそれぞれ対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて、それぞれ独立したタイミングで各振動板を変位させる複数の固定電極（上流側個別電極１２Ａ、下流側個別電極１２Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】凹部の深さ（ギャップ長）を高精度に測定できるようにした静電アクチュエータ
の製造方法等を得る。
【解決手段】ガラス基板５０にエッチングマスク５１を形成する工程と、エッチングマス
ク５１をエッチングして、電極用凹部１１及びダミーパターン凹部１４を形成するための
開口部を形成する工程と、エッチングを行い、開口部に対応する部分に電極用凹部１１及
びダミーパターン凹部１４を形成する工程と、電極用凹部１１及びダミーパターン凹部１
４を形成するための開口部もさらに広げる工程と、エッチングを行って、広げた開口部に
対応する部分に、階段状の凹部を形成する工程と、上記の工程を１又は複数回繰り返して
所望の段数の凹部を形成する工程と、固定電極となる膜を形成する工程と、ダミーパター
ン凹部１４の部分における深さを接触式段差計により測定する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を維持しつつ、接触面積の問題を解決し、貼り付きを防止することができる静電アクチュエータ等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板１０上に形成された固定電極となる個別電極１２とを備え、振動板２２と個別電極１２との間に電圧が印加されると静電気力を発生させる液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータにおいて、個別電極１２は、導電性金属を材料とする金属電極１２Ａと、金属電極１２Ａの材料とは異なる導電性材料からなり、個別電極１２に凹凸を設けるために金属電極１２Ａ上に形成された複数の凸部電極１２Ｂとで構成されている。 （もっと読む）