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Fターム[2C057AP34]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | ヘッドの製造 (18,267) | 加工方法 (12,269) | エッチング使用 (2,606) | ウェットエッチング (1,086) | 異方性エッチング (609)

Fターム[2C057AP34]に分類される特許

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【課題】液体噴射面を確実に保護すると共に液体噴射不良を防止した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射する複数のノズル開口21が開口する液体噴射面Aを有する液体噴射ヘッド2と、該液体噴射面Aに接合されて前記液体噴射ヘッド2を保持する保持部材250と、前記液体噴射ヘッド2の前記液体噴射面Aを払拭する払拭部材と、を具備し、前記保持部材250は、前記液体噴射面Aの複数のノズル開口21の周囲に亘って設けられた接合部252と、該接合部252により画成された複数のノズル開口21を露出する露出開口部251とを具備し、前記接合部252の前記液体噴射ヘッド2の前記液体噴射面Aと前記保持部材250の液体噴射面との間に、前記露出開口部251と外部とを連通する空間を画成する空洞部255を設ける。 (もっと読む)


【課題】薄膜素子の形成精度を向上した薄膜デバイスの製造方法及び薄膜デバイス形成基板、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】デバイス基板上に薄膜素子が設けられた薄膜デバイスの製造方法であって、デバイス基板が複数一体的に形成されるデバイス用ウェハ上に薄膜素子を構成する素子形成膜を形成し、この素子形成膜をパターニングすることによって薄膜素子を形成する工程と、デバイス用ウェハを複数のデバイス基板に分割する工程とを有し、且つ薄膜素子を形成する工程が素子形成膜をパターニングする前に、デバイス用ウェハのデバイス基板間の所定位置に素子形成膜の一部が形成されていない薄膜部を形成する工程を含むようにする。 (もっと読む)


【課題】振動板の剛性を向上して耐久性を向上すると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口21に各々連通する複数の圧力発生室12と、圧力発生室12の間の壁部11の両側の振動板側に設けられた切欠部16とを具備する流路形成基板10と、流路形成基板10の他方面側の表面から切欠部16の内壁上に亘って連続して設けられて、圧力発生室12と切欠部16とを区画する振動板と、振動板を振動させる駆動部320とを具備し、圧力発生室12の短手方向の内壁を切欠部16の内壁Aよりも内側で、且つ切欠部16の内壁上に設けられた振動板の表面Bよりも外側となる位置で設ける。 (もっと読む)


【課題】インク流路の形状を3次元的に自由に作製可能であり、オリフィスプレートの材料の選択に制約を受けにくく、各構成材料の接合時の高い位置合わせ精度が不要であるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第一の剛体基板1を用意し、その上に第一の薄膜2を形成した上で、第一の薄膜2にインク流路の一部となる第一のパターンを形成する。一方、第一の剛体基板1とは異なる第二の剛体基板を用意し、その上に第二の薄膜6を形成する。次いで、第一のパターンの形状を有する第一の薄膜2の上に、第二の剛体基板の上に形成された第二の薄膜6を接合し、第二の剛体基板を取り除いた後、第二の薄膜6にインク流路の一部となる第二のパターンを形成する。そして、第二のパターンの形状を有する第二の薄膜6の上に、第三の薄膜7を形成し、第三の薄膜7にインク吐出口8を形成する。 (もっと読む)


【課題】接合基板の余分な領域への接着剤の流れ出しを防止して、信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該流路形成基板の一方面側に接着剤39を介して接合される接合基板30と、該接合基板30の前記流路形成基板との接合面とは反対側の面に設けられた駆動回路とを具備し、前記接合基板には、厚さ方向に貫通する貫通部33が設けられていると共に、該貫通部33の内面には、厚さ方向にのびる凹状の角部34が設けられており、前記接合基板30の前記駆動回路が設けられた面の前記角部34との間の領域に、内面に前記駆動回路側の面から連続する90度以下の角部が設けられていない凹部35を設ける。 (もっと読む)


【課題】ノズルの高密度化、記録速度の高速度化に対応しつつ、有効な応力緩和を行うことができる液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】ノズル31と、ノズル31に連通する流路上にあって、変位して液体を加圧する振動板22を有する吐出室21と、振動板22を変位させる加圧手段となる個別電極12Aとを備え、吐出室21を形成する壁の振動板22との境界部分には、応力集中を減らすための応力集中防止溝21Aを設ける。 (もっと読む)


【課題】 吐出口表面への付着物を少なくし、ヨレのない良好な吐出を得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの製造方法の製造方法において、基板1上に有機物の層7を形成する工程と、層7上に、流路の型となる溶解可能なパターン10を形成する工程と、パターン10上に流路形成部材を形成する工程と、流路形成部材に吐出口5を形成する工程と、パターン10を溶解除去する工程と、吐出口5が開口している面に付着した付着物13に紫外線を照射する工程と、付着物13を除去する工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高精度のノズルを加工形成しつつ、生産性の向上を図ることができる流路基板の
製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板100の少なくとも一方の面にレジストを形成し、複数のノズ
ル11、複数の第1の凹部12a及び第2の凹部13aになる部分のレジストをエッチン
グしてパターニングを行う工程と、異方性ドライエッチングにより、
複数のノズル11及び複数の第1の凹部12aを形成する工程と、
第2の凹部13aになる部分にダミーパターン115を形成し、ダミーパターン115を
酸化する工程と、酸化した前記ダミーパターンをウェットエッチングで除去して前記第2
の凹部13aを形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】簡略化された方法で歩留まりの高い噴射ヘッドを製造することが可能な噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の噴射ヘッドの製造方法は、第1開口部13が形成された第1基板10と、第1開口部13と連通する第2開口部31が形成された第2基板30とを有する噴射ヘッドの製造方法であって、第1基板10上に貴金属からなる隔離層94を形成する工程と、隔離層94を挟んで第1基板10と第2基板30とを接着する工程と、第1基板10及び第2基板30の隔離層94を挟んで対向する位置に第1開口部13及び第2開口部31を形成する工程と、第1基板10の表面に原子堆積法を用いて保護膜15を形成する工程と、第1開口部13にエッチング材を供給し、第1開口部13と第2開口部31との間に配置された隔離層94を除去する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】振動板の繰り返し駆動に対する耐久性を向上させ、信頼性の高い静電アクチュエータを提供することを目的とする。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドを提供し、併せてこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】振動板4と、振動板4にギャップを隔てて対向する個別電極10とを備え、振動板4を、振動板4の中央部から外周部に向かって段階的に厚くなるような多段形状としたものである。 (もっと読む)


【課題】吐出面の平坦性を向上させ、不良の少ない液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備えるが形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにある。
【解決手段】導電層7上のメッキ層によって形成された液室3を有する流路層と、この流路層へのメッキによって形成されかつ前記液室3の天板11となる天板層を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記天板11の前記液室3内壁面には前記メッキ層とは異なる導電層8が形成され、この導電層8は複数の前記液室3間で連続して形成されている液体吐出ヘッド。 (もっと読む)


【課題】基板厚みが変化せず、底部径の制御が可能で、所望の傾斜面を有し、流路特性が最適化されたノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材41の表面に第1の保護膜42を形成する工程と、第1の保護膜42に積層して第1の保護膜42と材質が異なる第2の保護膜43を形成する工程と、第2の保護膜43に第2の開口孔43aを形成し、さらに第1の保護膜42に第1の開口孔42aを形成する工程と、第1、第2の開口孔42a、43aから異方性ドライエッチングを行って垂直孔部110を形成する工程と、第1の保護膜42をエッチングして第1の開口孔42aを拡径する工程と、第1、第2の開口孔42a、43aから等方性ドライエッチングを行って、第1、第2の開口孔42a、43a側に向かって断面積が漸増するテーパ状孔部を形成する工程とを有するものである。 (もっと読む)


【課題】製造工程を複雑にすることなく、ギャップを確実に気密封止できる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置、並びに静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この液滴吐出ヘッド100は、キャビティ基板3と、電極ガラス基板4と、圧力室7から移送される液滴を吐出するノズル孔5が形成されたノズル基板1とを備え、電極ガラス基板4に、個別電極17の一部をキャビティ基板3と接合させるための凸部35を形成し、キャビティ基板3と凸部35に形成された個別電極17の一部とでギャップ18を封止したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】液体噴射特性を劣化させることなく、ノズル開口の高密度化を実現することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口13に連通するノズル連通孔23と、圧力発生室11とが幅方向に複数並設されて設けられ、表面の結晶面方位が(110)面の流路形成基板12と、圧力発生室11に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、ノズル連通孔23が、流路形成基板12の表面に対して垂直な結晶面方位が(111)面で画成されていると共に、当該ノズル連通孔23の液体供給側とは反対側の端部の2つの前記(111)面が鋭角となる角部に2つの(111)面に対して鈍角で形成された傾斜面40を設ける。 (もっと読む)


【課題】吐出特性の向上とノズル密度の高密度化とを図ることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル孔11を、シリコン基板面に対して垂直に形成された第1のノズル部11aと、第1のノズル部と同軸上に設けられ、第1のノズル部よりも断面積が大きく形成された第2のノズル部11bと、第1のノズル部から第2のノズル部に向けて断面積が漸増する傾斜部11cとから構成する。 (もっと読む)


【課題】 インク供給口を設計値通りに形成し、スムーズなインク供給を可能にすることにより印字品位に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 CR製法のインクジェットヘッドに於いて、インク供給口形成の為の犠牲層にAlCuを用いる。(Cuの含有率を0.05%を超え5%以下に限定。) (もっと読む)


【課題】小型化、高精細化を容易に実現でき、安価に製造できる流体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口15に連通する圧力発生室12が形成された流路形成基板10と、流路形成基板10の一方の面に振動板400を介して設けられた圧電素子(駆動素子)130と、圧電素子130に電力を供給する駆動IC150とを備え、前記流路形成基板10が半導体基板を基体としてなり、前記半導体基板に駆動IC150が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】流路の三次元的な形状を適正化し、吐出効率の向上が図られたインクジェット記録ヘッドを、工程を簡略化し効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】基板の上に、第1のポジ型感光性樹脂と前記第1のポジ型感光性樹脂が感光する波長域の光を吸収する光吸収剤とを含有する第1のポジ型感光性材料層と、前記第1のポジ型感光性樹脂が感光する波長域の光により感光する第2のポジ型感光性樹脂を含有する第2のポジ型感光性材料層とを順に形成し、前記第1のポジ型感光性樹脂が感光する波長域の光を用いて、前記第2のポジ型感光性材料層、前記第1のポジ型感光性材料層の順に露光して、流路パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】所望のノズル形状を形成することができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板51の一方の面側からノズル供給口31B−1を開口するとと
もに、ノズル31となる凹部を形成する工程と、液状物質を塗布し、ノズル31となる凹
部を形成した面を覆う塗布膜54を形成する工程と、異方性ウェットエッチングを行って
、ノズル31となる凹部を形成した面と反対側の面から凹部を貫通させてノズル吐出口3
1A−1を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】可動部材の先端がヒータに接触することによるヒータの損傷防止を図ることが可能であり、液体のリフィルが促進され、可動部材の応答性が向上した液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】可動部材60の自由端の一部に複数の開孔部31を設ける。開孔部31は液体の通過を許容するため、共通液室からリフィルされる液体が、可動部材60の開孔部31を通して可動部材60とヒータの間に入り込む。このように間に入り込んだ液体は、可動部材60が、定常状態からさらに下方に向かうのを妨げることになる。その結果、可動部材60が従来のようにヒータに接触することがない。また同時に、開孔部31を通して液体のリフィルが促進され、可動部材60の応答性が向上する。 (もっと読む)


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