【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つ品質の向上を図ることのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体室となるリザーバの一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板用ウェハ１３０と、リザーバ部３１と連通してリザーバを構成する連通部１３を含む液体流路及びリザーバ部３１と連通部１３との間を閉塞する配線層１９０を有する流路形成基板用ウェハ１１０と、が接合状態となった後に、上記液体流路に臨む壁面部に保護膜１６を形成する保護膜形成工程を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、上記壁面部は、シリコンまたはシリコン化合物からなり、保護膜形成工程は、上記壁面部をシリサイド化させる金属膜１７を上記壁面部に成膜し、保護膜１６としてシリサイド膜を形成するシリサイド膜形成工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】犠牲層の除去時に犠牲層の残渣がインク室内に残留することを防止し、インク室の体積を精度良く保つことが可能なインク吐出ヘッドの製造方法と、インク吐出ヘッドとを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成されたヒーター１３とが準備される。次に、インク流路パターンに対応する位置に設けられる犠牲層１６と、犠牲層１６及びヒーター１３を少なくとも含み、インク室ＣＨを区画する流路壁１５と、流路壁１５及び犠牲層１６の上に設けられるノズル層１７とが、基板１１の一方の面に形成される。次に、インクが吐出される吐出孔Ａが、ノズル層１７に形成される。その後に、犠牲層１６を吐出孔Ａを通ってインク室ＣＨの外部に排出することで、犠牲層１６が除去される。そして、基板１１の他方の面から一方の面へと貫通するインク供給口Ｂが、他方の面からエッチングによって形成される。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの位置精度を向上させるとともに、スルーホール周辺の機械強度を高めること。
【解決手段】スルーホールの形成方法では、シリコン基板１０１の第１の面においてスルーホールが形成される領域の周囲に、シリコン基板１０１よりも不純物濃度が高い第１の不純物領域１０２ａを形成し、シリコン基板１０１の深さ方向において第１の不純物領域１０２ａに隣接する位置に、第１の不純物領域１０２ａよりも不純物濃度が高い第２の不純物領域１０２ｂを形成する。そして、前記第１の面の上に、エッチングストップ層１０３を形成し、シリコン基板１０１の前記第１の面に対向する第２の面の上に、開口部を有するエッチングマスク層１０４を形成する。そして、前記開口部を通して、少なくともエッチングストップ層１０３が露出するまで、シリコン基板１０１をエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少なく、電極間の短絡や圧電素子の駆動不良の少ない安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０の壁１５に形成された突出部１６の厚みは、流路形成基板１０の厚みより薄いので、突出部１６は流路形成基板１０と比較して変形し易い。また、振動板５６は対向面１０１と対向面１０１に連続した突出部１６の支持面１６０によって支えられているので、圧電体能動部３２０および振動板５６は連続して緩やかに変形することができる。したがって、圧電体能動部３２０の端３２１の圧電体層７０に応力が加わりにくく、圧電体層７０のクラックの発生を抑えることができ、下電極６０と上電極８０との間の短絡や圧電素子３００の駆動不良の少ない、安定したインクの吐出を行なうインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】メッキ法を採用するにあたり生じ得る配線部の電気的接続不良及び剥離を抑制できる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】配線部２１０が、保護基板３０に形成された密着層２１１と、密着層２１１に形成された金属層２１３と、少なくとも金属層２１３に形成されたメッキ層２１４とを有し、密着層２１１は、金属層２１３およびメッキ層２１４の外縁部よりも大きく形成されているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の形成時に、ヒーター位置の薄膜層が剥離しにくいインク吐出ヘッドとその製造方法を提供すること。
【解決手段】平面状の基板１１と、基板１１の一方の面に設けられるヒーター１３と、少なくともヒーター１３を覆うように基板１１一方の面に設けられ、耐インク性を有する絶縁膜１２ａ及び保護膜１４と、ヒーター１３を含むインク室ＣＨを区画するために基板１１の一方の面に設けられ、吐出孔Ａを有するノズル層１７と流路壁１５とを有するインク室壁部とを備えるインク吐出ヘッドである。基板１１は、その一方の面のヒーター１３から離間した位置に形成された第１開口と基板１１の他方の面に形成された第２開口とを連通するインク供給口Ｂを有する。絶縁膜１２ａ及び保護膜１４は、その周囲よりも厚みが小さい凹部Ｃを有する。凹部Ｃは、ヒーター１３とインク供給口Ｂとの間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比のホールやトレンチの多段構造を高い加工精度で容易に形成することができるシリコン構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンからなる基材１に凹部４の一部である初期凹部４ａを形成する初期凹部形成工程と、初期凹部４ａの凹部側壁４２ａに保護膜を形成する保護膜形成工程と、凹部側壁４２ａの保護膜に隣接した基材１の一部を隔壁１２として残存させて、初期凹部４ａに隣接する周回領域の基材１を深さ方向に異方性エッチングするエッチング工程と、残存した突起状の隔壁を酸化してシリコン酸化物を形成する突起状隔壁酸化工程と、酸化した突起状の隔壁を除去する突起状隔壁除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口、及び各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、及び該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであり、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有するノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と、第１電極６０上方に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０上方に形成された第２電極８０と、少なくとも圧電体層７０の側面を覆うと共に第２電極８０上面に臨んで設けられ且つ第２電極８０の上面に開口部１４１を有する絶縁膜１４０と、を備えて圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を具備し、第１電極６０及び第２電極８０によって圧電体層７０が挟まれた領域である圧電体能動部３２０に対応する領域では、絶縁膜１４０と第２電極８０上面との間には間隙１５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の傾斜部が垂直部およびノズル基板平面と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って円筒孔部１１ｄを形成し、その後、円筒孔部内にＳｉＯ₂膜４５を形成する。反対側の面からＳｉＯ₂膜４５をチャージアップさせながらエッチングを行い、第１のノズル孔部１１ａと所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂ、第３のノズル孔部１１ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の開口サイズが製造工程によって変動し難く、且つ、エッチングストップ層の除去にドライエッチングが不要なインク吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板１１の一方の面から、基板１１の途中部分まで伸びる凹部１１ａを形成する。凹部１１ａには、基板１１のエッチング液に対して不溶な埋め込み材料１３が埋め込まれる。ヒータ１２及び凹部１１ａを含むインク室が、基板１１の一方の面に形成される。基板１１の他方の面から凹部１１ａに向かってエッチングされ、インク供給口Ｂが形成される。埋め込み材料１３を可溶であって、基板１１に対してエッチング性を有さない溶媒を用いて、埋め込み材料１３が除去される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドの電気接続構造を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、圧力室形成基板１８のエネルギー発生素子２２側には凹部構造８２が設けられ、一方の端部がエネルギー発生素子２２に接続され、他方の端部が凹部構造２２内に配設された基板配線４８と、支持部材６２に接着され、支持部材配線のパターンが形成されたフレキシブル基板６０と、が当接され電気的に接続されたことを特徴とするインクジェットヘッドの電気接続構造である。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの破壊を抑制して、圧力発生室と圧電アクチュエーターとの相対位置を高精度に位置決めすることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】遮光性を有する材料で形成された流路形成基板２２に圧力発生室２１を形成する工程と、該流路形成基板にセラミックシート２３を貼付する工程と、前記セラミックシート上に感光性フォトレジスト７０を塗布し、前記流路形成基板の前記圧力発生室が開口する他方面側から光を照射することで、前記流路形成基板をマスクとして露光し、現像する工程と、前記流路形成基板の前記感光性フォトレジスト側に亘って第１電極を形成すると共に、前記感光性フォトレジストを剥離することで、当該第１電極をパターニングして、前記圧力発生室に相対向する領域に前記第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に、圧電体層と、第２電極とを形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液体流路を高精度に形成することができると共にコストを低減することができる
液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーター３００が一方面に形成された流路形成基板１０の他方
面にクロムが含有されたマスク５２を形成すると共にパターニングする工程と、前記流路
形成基板１０を他方面側から前記マスク５２を介して異方性エッチングすることにより、
液体流路１２等を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含む金属錯体混合物と、シリコーンオイルと、溶媒と、を含み、金属錯体混合物と溶媒との総量１００容量部に対してシリコーンオイルを５容量部以下含む。所定量のシリコーンオイルを含むことにより、圧電セラミックス膜を形成する際の焼成工程における熱膨張が抑制されて、圧電セラミックス膜の残留応力を低減させることができる。これにより、クラックの発生が抑制されたニオブ酸カリウムナトリウム系の圧電材料からなる圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】高精細な液体吐出ヘッド用基板を歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）シリコン基板１のうち機能素子が形成された第一の面と反対側の面である第二の面を研削する工程と、（ｂ）研削して得られた第二の面を研磨する工程と、（ｃ）イオンの入射エネルギーを利用したリアクティブイオンエッチングにより、研磨して得られた第二の面をエッチングする工程と、（ｄ）リアクティブイオンエッチング後の第二の面にエッチングマスクを形成する工程と、（ｅ）エッチングマスクを用いてシリコン基板１をウェットエッチング処理し、液体供給口１２を形成する工程と、をこの順で有する。 （もっと読む）

【課題】供給口を効果的に洗浄可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、供給口２０が形成された基板１１と、複数の吐出口１１が形成されたオリフィス部３１と、が対向配置されている。インクジェット記録ヘッド１では、供給口２０から供給されたインクが基板１１とオリフィス部３１との間の流路３４を通って吐出口３３から吐出される。供給口３３は、基板１１の流路３４側の面に垂直な壁面を有する。インクジェット記録ヘッド１は、供給口は、前記基板の前記流路側の面に垂直な壁面を有し、オリフィス部３１の、供給口２０に対向する位置から、流路３４内に突出した柱状部を有することを特徴とする。 （もっと読む）