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Fターム[2C057AP34]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | ヘッドの製造 (18,267) | 加工方法 (12,269) | エッチング使用 (2,606) | ウェットエッチング (1,086) | 異方性エッチング (609)

Fターム[2C057AP34]に分類される特許

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【課題】 高精度に形成された流路を有する液体吐出ヘッドを歩留まりよく得ることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路となる領域11aを囲むように流路壁部材となるための固体部材6が設けられた基板を提供する工程と、金属あるいはその化合物からなる型7を領域11a内に形成する工程と、固体部材6と型7とを被覆するように、樹脂からなる被覆層8を設ける工程と、型7を除去して流路11を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 (もっと読む)


【課題】 流路壁部材の強度を維持し、複数の吐出口の長さの均一化を図ること。
【解決手段】 第1の層が平坦に設けられている基板を用意するA工程と、前記流路を形成するための前記流路の型と、前記型の外側に前記型と間隙を介して設けられた部材(A)と、を前記第1の層から形成するB工程と、前記間隙を充填し前記型と前記部材(A)とを被覆するように、第2の層を設けるC工程と、前記吐出口を形成するための部材(B)を前記型の上に前記第2の層から形成するD工程と、前記部材(A)を除去するE工程と、前記部材(B)に密接するように、少なくとも前記基板に第3の層を設けるF工程と、前記型を除去して前記流路を形成するG工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 (もっと読む)


【課題】ゴミの目詰まりを抑制可能な液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】表面に開口し液体を吐出する吐出口14と、吐出口14に連通する液体流路9と、を構成する流路形成部材11と、表面と反対側の裏面に開口し、裏面側から表面側に向かって狭くなる第1の斜面を有する液体室16と、第1の斜面に開口し、液体流路9と液体室16とを繋ぐ液体経路5と、液体室16の底部に設けられる第1の凹部17と、を有する基板1と、を備える液体吐出ヘッド。 (もっと読む)


【課題】 吐出口表面への付着物を少なくし、ヨレのない良好な吐出を得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの製造方法の製造方法において、基板1上に有機物の層7を形成する工程と、層7に紫外線を照射して、層7の表面の有機物を部分的に崩壊させる工程と、層7上に、流路の型となる溶解可能なパターン10を形成する工程と、パターン10上に流路形成部材を形成する工程と、流路形成部材に吐出口5を形成する工程と、パターン10を溶解除去する工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】連続した長期間の高周波駆動において、高印字スピードで、高デューティで、記録を実行する場合においても、発生するインクミストを親水部に留めておき、インク滴の吐出口への引き込みを防止するインクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、液体を吐出するための吐出口および前記吐出口と連通する液体流路のパターンを形成し表面に撥水処理が施された流路形成部材とを含むインクジェットヘッドであって、前記インクジェットヘッドの吐出口を有する面に、撥水処理が施されている撥水領域と、前記流路形成部材内部に底を有し表面に撥水処理が施されていない窪みとを複数有することを特徴とするインクジェットヘッド。およびインクジェットヘッドの製造方法。 (もっと読む)


【課題】ウェットエッチングでの基板厚さのバラツキの影響を抑え、供給口おもて面の開口精度を向上させると共に、貫通穴を効率良く形成すること。
【解決手段】開口部を有するエッチングマスク層をシリコン基板の裏面に形成する工程と、該シリコン基板の厚みを測定する工程と、該シリコン基板の裏面から該エッチングマスク層の開口部にレーザ光を照射して該シリコン基板の内部に測定した該シリコン基板の厚みに応じて厚みを変化させた変質層を形成する工程と、該変質層が形成された該シリコン基板に異方性エッチングを施して該基板を貫通せずかつ該基板内部に底面を有する凹部を形成する工程と、該凹部内にドライエッチングを施して、該凹部の底面からこのシリコン基板のおもて面まで貫通する貫通孔を形成する工程とを含むシリコン基板の加工方法。および液体吐出ヘッドの製造方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基板の傷等の欠陥による影響をなくし、液体供給口の開口寸法の精度を向上することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の一方の面側に、液体供給口の形成位置を内側に囲むように、エッチングによって溝部を形成する工程と、前記シリコン基板の一方の面側であって、前記溝部内及び前記溝部の外側に、保護膜を形成する工程と、前記保護膜をマスクとして、前記シリコン基板に結晶異方性エッチング処理を施すことにより前記液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】第1の基板と第2の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第1の基板3のノズル孔2に連通する加圧液室6と該加圧液室6へインクを供給するための共通液室4を有し、加圧液室6に充填されたインクに対してノズル孔2から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子7、振動板8が設けられた第2の基板9と、外部からインクが供給される液体供給貫通口10に連通するとともに、共通液室4とも連通している共通液体供給流路11を有する第3の基板12と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド1において、接合された第2の基板9と第3の基板12の、少なくとも連通している共通液室4と共通液体供給流路11の内壁側の接合面Cを含む範囲を覆うようにして保護層19が設けられている。 (もっと読む)


【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】シリコン基板1枚あたりの取り数を多くでき、もにコストダウンを図ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズル1aが形成されたノズル基板1と、ノズル基板1と接合されかつ側壁と振動板3とにより区切られた液室2aとインク導入路2bとが形成された液室基板2と、振動板3と一体的に形成されて振動板3を振動させることにより液室に発生した圧力によりノズル1aからインクを吐出させる電気機械変換素子と、振動板3を介して液室基板2に接合されかつインク供給溝4aを有する液体供給基板4と、電気機械変換素子に配線部材を介して接合されかつ電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材とを備え、液体供給基板4にインク供給溝4aを加工形成する際に生じたテーパ状開口の開口面積又は開口幅が小さい面が液室基板2のインク導入路1bに対向させて接合されている。 (もっと読む)


【課題】ノズル密度が向上し、かつインクを良好に吐出させることができるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上の少なくとも複数の流路15同士を仕切る部分である流路の側壁となる部位に第1の流路形成部材6を形成する。流路15の型となるパターン(不図示)であって、基板1と第1の流路形成部材6の流路15の側壁となる部分との上にまたがって形成されており、流路15の側壁となる部分における一部を被覆し、他の部分を被覆していないパターン(不図示)を形成する。第1の流路形成部材6とパターン(不図示)との上に、第1の流路形成部材6に対応する材料により構成される第2の流路形成部材7を形成する。第2の流路形成部材7に吐出口4を形成する。パターン(不図示)を除去することにより、流路15を形成する。第1の流路形成部材と第2の流路形成部材とは、ともに感光性樹脂を含有する。 (もっと読む)


【課題】ドライエッチングを用いてシリコン基板における凹部の底部に垂直な開口を設けることができるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】第1の開口4の底部に、パターン開口10を有するパターニングマスク14’を用いて、プラズマを用いた反応性イオンエッチングにより第2の開口5を形成するシリコン基板の加工方法であって、前記プラズマに対する前記第1の開口内の露出を妨げる遮蔽構造11’を前記シリコン基板内又は上に形成した状態で前記反応性イオンエッチングを行うシリコン基板の加工方法である。これにより、第2の開口の傾きの原因である、プラズマモールディング効果と呼ばれるシースの歪みを緩和することが出来る。 (もっと読む)


【課題】液体吐出ヘッドの液体流路の上壁に段差構造等からなる流体抵抗部を有する液体吐出ヘッドを、製造上の制約が少なく、かつ容易に形成できる製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成部材4となるネガ型有機樹脂層のうち吐出口5及び流体抵抗部8を形成する領域を除いて露光し、かつネガ型有機樹脂層及び前記流路パターン7を加熱して、ネガ型有機樹脂層の流体抵抗部8に対応する部分を基板1に向かって移動させ、ネガ型有機樹脂層のうち流体抵抗部8を形成する領域を露光し、現像する工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、インク供給口等の供給口内に、カバレッジ性に優れかつ容易に製造可能な液体吐出ヘッドを提要することを目的とする。。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口と該吐出口に連通する液流路とを含む流路形成部材と、前記液流路に前記液体を供給するための供給口を含むシリコン基板と、を少なくとも有する液体吐出ヘッドであって、前記供給口の壁面に、前記流路形成部材を構成する部材と同一の材料である有機樹脂からなる保護膜が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドである。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ(100)面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、(111)面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Bi、La、Fe、Mnを含み、少なくともLaを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びFeを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ(110)面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、(111)面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Bi、La、Fe、Mnを含み、少なくともLaを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びFeを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図る。
【解決手段】アクチュエータ部材40と液室形成部材20とノズル板10とを備え、液室形成部材20は、同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、流路ユニット同士の結合方向に液体流路が配列された液体流路列が複数形成され、各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、インクの吐出精密度を向上したノズルプレート及びこれを備えるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】第1のシリコン基板153と、該第1のシリコン基板153とは異なる結晶方位を有し、第1のシリコン基板153と接合される第2のシリコン基板156とを含み、第1のシリコン基板153は第1の貫通ホール157aを有し、第2のシリコン基板153は第1の貫通ホール157aと連通しており、第1の貫通ホール157aと異なる構造を有する第2の貫通ホール157bとを含む。 (もっと読む)


【課題】エッチングマスク層の形成及び剥離工程が少なく製造負荷が抑えられた液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】第一の平面と第二の平面とを有するシリコン基板に該基板を貫通する液体供給口を形成する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であり該液体供給口が明細書中に定義する第一部分と複数の第二部分とを含み該第二の平面に該複数の第二部分に対応した形状の開口を有するエッチングマスク層を形成する工程と該第二の平面側から該マスク層の開口を通じて該第一部分となる凹部を形成する工程と該第二の平面側から該マスク層を用いて該複数の第二部分を形成し該液体供給口を形成する工程とを含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。液体吐出ヘッドの製造方法。液体吐出ヘッドアセンブリの製造方法。 (もっと読む)


【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第1のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第2のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第1のマスクパターンに基づいて第1のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第1のエッチング工程と、前記第2のマスクパターンに基づいて第2のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第2のエッチング工程と、前記第1のマスクパターンに基づいて第3のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第3のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 (もっと読む)


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