【課題】液体吐出ヘッド用基板における液体供給孔の占有幅を狭くする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の第１面および第２面にエッチングマスクパターンを形成する工程と、前記シリコン基板のエッチング領域に先導孔を形成する工程と、前記シリコン基板を第１面および第２面の両面から異方性エッチングする工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を抑制すると共に流路形成基板の破壊を抑制して耐久性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０は、個別流路に連通する第１壁面１０Ａと、第１壁面１０Ａと相対向する第２壁面１０Ｂとを有し、第２壁面１０Ｂは積層板の端部よりもリザーバー１００側に突出して設けられ、流路形成基板１０の積層板の端部と第２壁面１０Ｂとの間には、積層金属層１９０の下地層９１が設けられており、積層金属層１９０の金属層９２は、第２壁面１０Ｂよりも突出することなく設けられている。 （もっと読む）

【課題】接続信頼性に優れた半導体装置の実装構造及び半導体装置の実装方法を提供すること。
【解決手段】所定方向に沿って複数の第１端子が配列され、前記第１端子間に形成された撥液部を有する第１基板と、前記第１基板に対向して設けられ、前記第１端子に対応する複数の第２端子が配列され、前記第２端子に接続される半導体装置を有する第２基板と、前記第１端子と前記第２端子とで挟持され、前記撥液部に対して疎性を有する材料を含み、前記第１端子及び前記第２端子を電気的に接続する異方導電性接着材とを備える。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッド用基板の電気特性検査時におけるテストパッド部プローブの摺擦痕を抑制する。
【解決手段】 テスト用電極パッドの開口部において層間絶縁膜に複数の段差を設ける構成。
本構成により層間絶縁膜の段差がプローブ摺擦のストッパとして機能するため、余分な摺擦を抑制し、プローブによる導電体層の盛り上がりを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶基板に形成する貫通孔の幅をより細くすること。
【解決手段】まず、シリコンリザーバ基板２の内部のノズル連通孔７の形成予定部分２４に改質領域２５を形成する。続いて、シリコンリザーバ基板２に異方性エッチングを行い、改質領域２５を形成した部分を除去し、改質領域２５を除去してなる空洞を拡大する。これによって、シリコンリザーバ基板２にノズル連通孔７を形成する。そのため、改質領域２５を形成した部分を異方性エッチングし、異方性エッチングによって当該部分にノズル連通孔７を形成できる。そのため、シリコンリザーバ基板２に形成されるノズル連通孔７の幅を、改質領域２５の幅と同等の大きさとすることができる。したがって、シリコンリザーバ基板２により細いノズル連通孔７を形成できる。 （もっと読む）

【課題】耐インク性に優れ、長期信頼性を有するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】２層のＳｉ層１１，１２間に第１のＳｉＯ_２層１３を有するＳＯＩ基板１５の少なくとも一方のＳｉ層を熱酸化し、第２のＳｉＯ_２層１６を形成する第１酸化工程と、前記第２のＳｉＯ_２層１６、及び前記第１のＳｉＯ_２層１３と前記第２のＳｉＯ_２層１６との間のＳｉ層１２の一部を、エッチング処理により少なくとも前記第１のＳｉＯ_２層１３が露出するまで除去し、ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、形成された前記ノズル孔の少なくとも側壁のＳｉ層を熱酸化し、ＳｉＯ_２層２１を形成する第２酸化工程と、前記ノズル孔における前記側壁以外のＳｉＯ_２層１３を、少なくともＳｉ層１１が露出するまで異方性ドライエッチング処理し、前記ノズル孔を開口処理する孔開口処理工程と、他方のＳｉ層１１を除去し、ノズル２０を形成するノズル形成工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位低下が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに変位低下を抑制することができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が設けられた流路形成基板上に、第一電極と、鉛、ジルコニウム、及びチタンを少なくとも含有する圧電体膜を複数層積層してなる圧電体層と、第二電極とからなる圧電素子を備え、前記圧電体層の表面をＸ線回折広角法により測定した（１００）面半価幅が０．２６２度以下であると共に、各圧電体膜の焼成後の膜厚が１４０ｎｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】複数の部材を高精度で且つ容易に位置決めして接着できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０のそれぞれに接着位置決め孔５０１Ａ、５０１Ｂを形成する工程と、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０の少なくとも一方の接着面に接着剤層を設け、前記接着位置決め孔よりも径が小さい接着位置決めピン５１１を挿入して、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０と前記接着位置決めピン５１１とを押圧し前記接着位置決め孔の内壁面に前記接着位置決めピン５１１を当接させ、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０の相対的な位置を固定した状態で、前記接着剤層を硬化させて流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０を接着する接着工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、アクチュエーター装置の製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０と該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に設けられた第２電極８０とを有する圧電素子３００と、を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板１０の上方に圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜上にペロブスカイト型構造を有する金属酸化物からなり、前記第２電極８０の少なくとも一部を構成する電極層を形成する工程と、前記電極層を形成後、前記圧電体前駆体膜を熱処理して結晶化させ、前記圧電体層７０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートと流路形成基板とを接合する際、位置決めピンとの接触面積を減少することによりチッピングを防止し、歩留まりの向上および製造コストの低減を図った液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５を有するノズルプレート１と、ノズル孔５のそれぞれに連通する吐出室１３を加圧するアクチュエーターを備える流路形成基板２とを具備する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ノズルプレート１及び流路形成基板２にそれぞれ複数箇所に多角形からなる位置決め孔６、７、１１、１２を形成する工程と、位置決め孔に治具５０に設けられた円柱状の位置決めピン８を挿入し、ノズルプレート１と流路形成基板２とを位置決めして接合する工程とを有し、位置決め孔のうち一方６、１１は、基準となる正多角形に形成され、他方７、１２は、位置決めピン８との位置ずれを吸収するように長孔状の多角形に形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、供給口内に梁が設けられたインクジェット記録ヘッドを製造する簡便な方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、シリコン基板で構成され、かつインク供給口の相対する長辺間をつなぐように形成された梁を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、（１）前記シリコン基板の表面に犠牲層を形成し、少なくとも前記シリコン基板の裏面であって梁形成部の下側に相当する部分にエッチングマスクを形成する工程と、（２）前記エッチングマスクをマスクとして前記シリコン基板をアルカリ溶液により異方性エッチングし、さらに前記犠牲層を前記アルカリ溶液によりエッチングしつつ前記シリコン基板を異方性エッチングすることにより前記梁を形成する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最近接の供給口を隔てるＳｉ梁幅を厚くし、また、Ｓｉ梁幅のバラツキを少なくする作製方法を提供し、良好な印字品位を達成する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】面方位が｛１００｝であるＳｉ基板と、前記Ｓｉ基板上に液体を保持する流路と、前記流路と連結し液体を吐出する吐出口と、前記流路と連結し該流路に液体を供給する供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、最近接の供給口が前記Ｓｉ基板の＜１００＞方向に並ぶように、前記Ｓｉ基板に先導孔を形成する第１のＳｉ除去工程と、前記先導孔に対して、｛１００｝面のエッチング速度が｛１１０｝面のエッチング速度より遅い条件でＳｉ結晶軸異方性エッチングを行い、供給口を形成する第２のＳｉ除去工程と、をこの順に含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】均一かつ精度の良いインク流路及びインク吐出口を有し、インク吐出特性にばらつきの少ない液体吐出ヘッドを簡便に作製することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）基体２の表面に、活性エネルギー線硬化型樹脂層３を形成し、活性エネルギー線硬化型樹脂層の表面に、活性エネルギー線透過物質４を付着させる工程と、（Ｂ）活性エネルギー線を透過し、吐出口のパターンの突起形状を有する原盤５を、活性エネルギー線透過物質に押し付け、突起形状を活性エネルギー線透過物質に転写する工程と、（Ｃ）活性エネルギー線硬化型樹脂層に対して液体流路のパターンに活性エネルギー線７を選択照射し、活性エネルギー線硬化型樹脂層を硬化する工程と、（Ｄ）原盤を除去する工程と、（Ｅ）活性エネルギー線硬化型樹脂層の未硬化部を除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パターニング特性、密着性等のノズル材としての好ましい機能を有しつつ、ノズル表面、特に吐出口周囲の機械的強度が向上したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、（１）エネルギー発生素子が設けられた基板の上に、無機微粒子を含む光硬化性樹脂組成物を設け、ノズル部材となる層を形成する工程と、（２）該ノズル部材となる層に、第１の吐出口パターンを露光する工程と、（３）該ノズル部材となる層に、第２の吐出口パターンを露光する工程と、（４）現像によりノズル部材及び吐出口を形成する工程と、をこの順で有し、前記第１の吐出口パターンと第２の吐出口パターンにおける吐出口形状は同一の中心点を持つ相似形であり、さらに前記第１の吐出口パターンよりも第２の吐出口パターンの吐出口面積のほうが小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】シリコン結晶欠陥の発生を防止し、絶縁耐圧を確保した絶縁膜を形成して、安定した吐出特性、駆動耐久性を有する静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】ボロン拡散源を用いてシリコン基板２の一方の面にボロンドープ層２２０を形成する工程を有し、エッチングストップ技術によりボロンドープ層２２０を振動板として形成する静電アクチュエータの製造方法であって、ボロンドープ層２２０を形成する際のボロン拡散源が、Ｂ₂Ｏ₃を主成分とし、Ｐｄ含有量が０．１ｐｐｍ以下である。この場合、Ｐｄ含有量は０．０９ｐｐｍ以下が好ましい。そして、ボロン拡散する際には、エージングによりボロン拡散源内のＰｄ含有量を低減してボロン拡散する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０が同じ格子間距離を有する２つの誘電体膜７１と、この２つの前記誘電体膜７１の間に設けられて、格子間距離が前記誘電体膜７１と異なる介在層７２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの製造時や使用時に、隔壁の端部の先端の欠けやクラックの発生を少なくでき、インクの吐出特性が安定したインクジェット式記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】隔壁１１の端部１７の先端１９とノズルプレート２０との間に欠き部１８が形成されている。隔壁１１が形成された流路形成基板１０には、インクジェット式記録ヘッド１の温度変化によって、あるいは流路形成基板１０とノズルプレート２０とを製造時に接着剤によって接合する際に力が加わる。この力は、隔壁１１の楔形の端部１７にも加わるが、加わった力が欠き部１８で分散し、隔壁１１の端部１７の先端１９に力が加わらない。したがって、インクジェット式記録ヘッド１の製造時や使用時に、隔壁１１の端部１７の先端１９の欠けやクラックの発生を少なくでき、インクの吐出特性が安定したインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の亀裂や剥離等の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、該第１の層５０上に設けられたジルコニウムを熱酸化することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、該第２の層５６上にスパッタリング法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、該第３の層５７の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）