【課題】製造工程が簡略化され、各構成部材のずれによる噴射特性の低下が低減し、流路形成基板とノズルプレートの材質の違いによる熱膨張率差で生じる変形や剥離が少なく、噴射特性の低下の減少した液体噴射ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】ノズル形成層２０を流路形成基板１０に形成した後に、ノズル形成層２０にノズル開口２１を形成する。その後、圧力発生室１２を形成するので、ノズル開口２１が形成されたノズルプレートを接着する必要がなく、構造が簡単で位置ずれの少ないインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、ノズル形成層２０および流路形成基板１０の材質が、同じシリコンなので熱膨張差が少なく、温度差による変形や剥離を少なくでき、噴射特性の安定したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】所望の波形を印加することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】導電性液体を噴射する液体噴射面にノズル開口２１が穿設された金属製のノズルプレート２０と、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、電気信号に応じて圧力発生室１２に圧力を発生させる圧電素子３００とを備えた液体噴射ヘッドであって、ノズルプレート２０の液体噴射面のノズル開口２１の周囲に撥液膜２４が設けられ、ノズルプレート２０の少なくとも噴射させる導電性液体と接触する領域に絶縁膜（下地膜２３）が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドＩ。 （もっと読む）

【課題】個々に駆動信号の電圧値を設定することなく所望の特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法は、基板１０上に設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０をこの順で積層してなる薄膜型の圧電素子３００を有し、下電極及び上電極間に電圧を印加することにより、圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子に、電圧を印加して圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を４０〜１００℃で加熱する加熱工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の割れを防止することができると共にリザーバ部を高精度に形成することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、圧力発生室１２内に圧力を付与する圧力発生手段３００と、流路形成基板の一方の面に接合された接合基板３０とを具備し、流路形成基板が面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、圧力発生室の長手方向に沿った端面が（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面で構成される一方、接合基板が、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなると共に接合基板の（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と流路形成基板の第１の（１１１）面とが交差する向きで流路形成基板に接合されているように構成する。 （もっと読む）

【課題】各圧電素子の変位量のばらつきを極めて短時間で調整することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の各圧電素子３００の変位量を検査する検査工程と、検査工程の検査結果に基づいて複数の圧電素子３００に変位量のばらつきがある場合に実施され、複数の前記圧電素子３００に共通する共通電極側から駆動信号を入力して相対的に変位量の高い所定の圧電素子３００を選択的に変位させることで圧電素子３００の変位量を減少させる変位調整工程とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室を形成する際に、保護膜のマスクとなるレジスト膜を良好且つ効率的に除去して製造効率を向上する。
【解決手段】液体流路を流路形成基板の表面に形成された保護膜５２をマスクとして流路形成基板をエッチングすることによって形成する際に、所定パターンの保護膜を形成する工程として、流路形成基板の表面の全面に保護膜を成膜する第１の工程と、保護膜上にポジ型のレジスト２００を塗布してプリベーク処理することによりレジスト膜を形成する第２の工程と、レジストを選択的に露光して現像することでレジスト膜を選択的に除去する第３の工程と、プリベーク処理の温度以下の温度でドライエッチングすることにより保護膜を選択的に除去する第４の工程と、第３の工程でレジスト膜の表層に形成される変質層を除去する第５の工程と、レジスト膜を再露光及び現像することによってレジスト膜を除去する第６の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】流路からの液体の漏れに伴うヘッド本体の電気的不具合を防止した液体噴射ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】ホルダ２００には、記録ヘッド本体１００をホルダ２００に接合する際に記録ヘッド本体１００のホルダ２００側の面に当接される押圧部材２５０が挿入される挿入孔２０２が設けられていると共に、ホルダ２００のカートリッジ装着部材３００側の面には、ホルダ２００とカートリッジ装着部材３００との隙間から進入するインクが挿入孔２０２に達しないように防液用リブ２０６を設ける。 （もっと読む）

【課題】ｉ線露光によりインク吐出口の形成を行う場合でも、下地による反射の影響がなく、安定したパターン形状が可能であり、反射防止膜が残らないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のインク吐出エネルギー発生素子を有する基板と、インク吐出エネルギー発生素子上に液滴を保持するためのインク流路と、ｉ線露光にて形成したインクを吐出するためのインク吐出口とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、反射防止膜を形成する工程と、ｉ線露光によりインク吐出口形成後、前記反射防止膜を、反射防止膜を選択的に除去可能な方法で除去する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】吐出口のパターン露光における基板面からの反射光による吐出口パターン形状の変形を抑制しつつ、その変形抑制によるパターニング精度の低下を防止可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の、その上方からみて吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成し、その第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する。そして、第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成して、吐出口を形成した上で、第一のインク流路パターン及び第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソプロセスにおいて、配線パターンが正確に形成でき、配線切れ等の配線パターン異常が少なく、信頼性の高い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】熱が加わることによって、圧電素子保持部３１の空間の気体は連通孔３８を通じて逃げるが、連通孔３８は、接合基板３０に形成され、貫通孔３３Ｂの内面に開口部３８１があるので、貫通孔３３Ｂ内部のレジストＲ４を押し上げる可能性が少ない。また、開口部３８１が、配線パターン３５の形成面３０１にないので、開口部３８１からの気体の放出による配線パターン３５の形成面３０１のレジストＲへの影響が少ない。したがって、塗布したレジストＲの膜厚が均一に保て、その後の工程で、配線パターン３５，３７が正確に形成され、配線切れ等の配線パターン異常を少なくでき、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００の信頼性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】液体を高密度に噴射し得る液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせることによりノズル開口２１を介してインクを吐出させるよう流路形成基板１０の一方面側に配設された圧電素子３００と、一方面側に設けられてリード電極９０を介して圧電素子３００を駆動する駆動回路１２０とを具備し、駆動回路１２０には、その上面１２２に圧電素子３００に対応して端子部１２５を設けると共に上面１２２から前記一方面に至る傾斜面１２３を設け、リード電極９０を、端子部１２５から傾斜面１２３を通って圧電素子３００に至るように形成した。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化してコストを低減した液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される金属からなる流路形成基板１０を屈曲する工程と、該流路形成基板１０を酸化することにより、その表面に前記屈曲により形成された屈曲部５１を有する振動板５０を形成する工程と、該振動板５０上に圧力発生素子３００を形成する工程と、前記流路形成基板１０をエッチングすることにより、前記圧力発生室１２を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを安価に提供する。
【解決手段】少なくとも、（ａ）下記一般式Ｉ（Ｙは感光基を示す。）で示される繰り返し単位を有するポリマーと、（ｂ）光重合開始剤、光架橋剤及び増感剤の少なくとも１つとを含むことを特徴とする感光性ポリエーテルアミド組成物をからなる密着層を介して、液路形成部材を基板に接合する。
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【課題】異物の発生を確実に防止して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び結晶基板のエッチング方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板の表面に、開口部２０１を有し、且つ第１の流路１２、１５の第２の流路１４側の端部を覆う被覆部２０３を有するマスク２００を形成すると共に、被覆部２０３と隔壁上のマスク２００との間に隔壁の側面に相対向する領域にスリット部２１０を形成する工程と、流路形成基板を異方性エッチングする第１エッチング工程と、流路形成基板を洗浄液で洗浄することで、被覆部２０３をスリット部２１０に沿って切断する工程と、流路形成基板を異方性エッチングする第２エッチング工程と、マスク２００を除去する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ばらつきが少ない安定した吐出特性が得られる吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の吐出ヘッドの製造方法は、液状体の流路をフォトリソグラフィ法により形成する流路形成工程を備え、露光工程において、複数の流路の設計上の基準寸法に対して、露光中心Ｅ₀からの距離Ｌに応じた寸法補正が施された複数の流路露光パターンＣ１〜Ｃ２２を有するマスク２００を用いて、マザー基板１０３を一括露光した。 （もっと読む）

【課題】 ＢＴＪのヒータボードプロセス（単層配線対応）で、ヒータ保護膜として最適な膜厚と、異方性エッチングストップ層として必要な膜厚を実現するためのインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッド・プロセスを提案する。
【解決手段】 ｐ−ＳｉＮｘをヒータ保護膜として必要な膜厚まで成膜し、その後にヒータ上部にＴａの耐キャビテェーション層を形成後、ｐ−ＳｉＮｘを再度メンブレンとして必要な膜厚まで成膜する。
次に、２層目のｐ−ＳｉＮｘをＴａをエッチングストップ層として削りこみ、ヒータ保護膜それぞれに必要な膜厚を実現する。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を確実に防止して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び結晶基板のエッチング方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板の表面に、開口部２０１を有すると共に、第１の流路１２、１５の第２の流路１４側の端部を覆う被覆部２０３を有するマスク２００を形成する工程と、流路形成基板をマスク２００を介して異方性エッチングすることで、被覆部２０３の下に第１の流路１２、１５の端部が形成された液体流路を形成する工程と、マスク２００を除去する工程とを具備し、マスク２００を形成する工程では、被覆部２０３から流路形成基板の結晶面方位の（１１１）面方向とは交差する方向に液体流路の並設方向に亘って開口部２０１を横断する補強マスク部２１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】製造効率を向上できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０の一方面上に圧電素子３００を形成し、該一方面上に、保護基板用ウェハ１３０を接合し、大気圧より低い気圧下において駆動配線１２０と共に貫通孔３３及びリザーバ部３１の開口を保護フィルム１４０で覆い、その後、大気圧下にこれらのウェハ１１０、１３０を置くことで保護フィルム１４０を保護基板用ウェハ１３０側に吸着させ、保護フィルム１４０を覆うように耐ＫＯＨフィルム１５０を保護基板用ウェハ１３０の外周部に接着剤１５１で接着し、流路形成基板用ウェハ１１０をエッチングして圧力発生室１２を形成し、耐ＫＯＨフィルム１５０及び保護フィルム１４０を除去し、流路形成基板用ウェハ１１０及び保護基板用ウェハ１３０を所定の大きさに分割する。 （もっと読む）

【課題】被加工面の接触による表面欠陥を抑制でき、またマスク基板の変形を抑え、微細パターンを高精度に加工することができ、かつ生産性の良いマスク基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】加工対象の基板の加工部分以外の部分を保護するためのシリコンを材料とするマスク基板１であって、加工対象の基板と接する面側には、異方性ドライエッチングにより、加工部分の形状に対応させた形状に形成された接面側開口部２と、この接面側開口部と独立に設けられ、加工部分以外の所定の部位と接触させないように形成された凹部４とを備え、加工対象の基板と接する面と反対側の面側には、異方性ウェットエッチングにより所定の結晶面方位に沿って残されたシリコンにより壁面が形成され、接面側開口部と連通する外面側開口部３を備え、接面側開口部２の側壁厚さａを凹部４の深さｂよりも厚く形成する。 （もっと読む）

【課題】清掃が容易で小型の液体吐出ヘッド用ノズルプレート及び液体吐出ヘッド用ノズルプレート製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を複数個有するＳｉ基板からなり、前記貫通孔の一方の開口が液滴を吐出する吐出口である液体吐出ヘッド用ノズルプレートにおいて、前記吐出口の開口形状は、長方形であって、複数個の前記吐出口は、互いに平行移動の関係に配置している。 （もっと読む）