【課題】 溶剤を繰り返し長く使用することができ、かつインク吐出口周辺や液室に残渣が発生することを抑制することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 インク流路となる型材と前記型材を被覆するオリフィス層とを有する基板を用意する工程と、前記基板を溶剤に浸漬させる工程とを有し、前記基板を溶剤に浸漬させる工程において、前記溶剤に浸漬させた前記基板の前記型材に対してＤｅｅｐ−ＵＶ光を照射することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】使用中に親水化層が剥れにくく、液体の充填及び抱き込み泡の取り除きが容易な液体吐出ヘッド、並びにこのヘッドの製造方法でありノズル毎に吐出特性にばらつきが小さく、薄く均一な親水化層を形成できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有する液体吐出ヘッドであって、該ノズル層は２層で構成され、該２層のうちの液体流路側の層である第１層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物であって、かつ、もう一方の層である第２層と比較して水の静的接触角が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド、及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 流路内の段差は、インクを充填する際の流抵抗となるため、十分な量のインクをリフィルできず、近年求められているような高速の吐出周波数を達成することができない懸念がある。
【解決手段】 液体を吐出するために用いられるエネルギー発生素子を駆動して保護層を加熱しつつ、保護層に接する液体と保護層との間に電位差をかけることにより、保護層の表面に酸化層を形成する。 （もっと読む）

【課題】犠牲層の除去時に犠牲層の残渣がインク室内に残留することを防止し、インク室の体積を精度良く保つことが可能なインク吐出ヘッドの製造方法と、インク吐出ヘッドとを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成されたヒーター１３とが準備される。次に、インク流路パターンに対応する位置に設けられる犠牲層１６と、犠牲層１６及びヒーター１３を少なくとも含み、インク室ＣＨを区画する流路壁１５と、流路壁１５及び犠牲層１６の上に設けられるノズル層１７とが、基板１１の一方の面に形成される。次に、インクが吐出される吐出孔Ａが、ノズル層１７に形成される。その後に、犠牲層１６を吐出孔Ａを通ってインク室ＣＨの外部に排出することで、犠牲層１６が除去される。そして、基板１１の他方の面から一方の面へと貫通するインク供給口Ｂが、他方の面からエッチングによって形成される。 （もっと読む）

【課題】液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口、及び各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、及び該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであり、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有するノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】供給口を効果的に洗浄可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、供給口２０が形成された基板１１と、複数の吐出口１１が形成されたオリフィス部３１と、が対向配置されている。インクジェット記録ヘッド１では、供給口２０から供給されたインクが基板１１とオリフィス部３１との間の流路３４を通って吐出口３３から吐出される。供給口３３は、基板１１の流路３４側の面に垂直な壁面を有する。インクジェット記録ヘッド１は、供給口は、前記基板の前記流路側の面に垂直な壁面を有し、オリフィス部３１の、供給口２０に対向する位置から、流路３４内に突出した柱状部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精度に形成された流路を有する液体吐出ヘッドを歩留まりよく得ることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路となる領域１１ａを囲むように流路壁部材となるための固体部材６が設けられた基板を提供する工程と、金属あるいはその化合物からなる型７を領域１１ａ内に形成する工程と、固体部材６と型７とを被覆するように、樹脂からなる被覆層８を設ける工程と、型７を除去して流路１１を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 流路壁部材の強度を維持し、複数の吐出口の長さの均一化を図ること。
【解決手段】 第１の層が平坦に設けられている基板を用意するＡ工程と、前記流路を形成するための前記流路の型と、前記型の外側に前記型と間隙を介して設けられた部材（Ａ）と、を前記第１の層から形成するＢ工程と、前記間隙を充填し前記型と前記部材（Ａ）とを被覆するように、第２の層を設けるＣ工程と、前記吐出口を形成するための部材（Ｂ）を前記型の上に前記第２の層から形成するＤ工程と、前記部材（Ａ）を除去するＥ工程と、前記部材（Ｂ）に密接するように、少なくとも前記基板に第３の層を設けるＦ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＧ工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 吐出液滴量のバラツキがより一層低減され、かつ吐出口に連通する流路が高精度に形成された信頼性の高い液体吐出ヘッドの製造を歩留まりよく行う。
【解決手段】 流路の型が設けられた基板を用意するＡ工程と、流路壁部材となる第１の層を、流路の型を被覆するように設けるＢ工程と、第１の層の流路の側壁となる部分を硬化させるＣ工程と、第２の層を、第１の層の硬化させた部分と流路の型とを被覆するように設けるＤ工程と、第２の層を基板側に押圧することで、第２の層を平坦化するＥ工程と、第１の層及び第２の層に吐出口を設けるＦ工程と、流路の型を除去して流路を形成するＧ工程と、をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ゴミの目詰まりを抑制可能な液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】表面に開口し液体を吐出する吐出口１４と、吐出口１４に連通する液体流路９と、を構成する流路形成部材１１と、表面と反対側の裏面に開口し、裏面側から表面側に向かって狭くなる第１の斜面を有する液体室１６と、第１の斜面に開口し、液体流路９と液体室１６とを繋ぐ液体経路５と、液体室１６の底部に設けられる第１の凹部１７と、を有する基板１と、を備える液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】チャック用フィルムを形成する際に生じる空隙を低減して減圧下での該フィルムの剥がれを低減するとともに安定的な静電チャック行う際に十分な平坦性を該フィルムの表面に形成する保護層付き基板の製造方法及び基板加工方法を提供する。
【解決手段】複数の構造体がそれぞれ間隔をあけて表面に配された基板１１に保護層１６を形成する保護層付き基板の製造方法であって、保護層は樹脂層１４とチャック用フィルム１５とから構成され（１）各構造体間、各構造体表面、および、複数の構造体を有する基板面に、樹脂層を形成する工程と（２）樹脂層上にチャック用フィルムを形成し、保護層を形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とする保護層付き基板の製造方法。および保護層付き基板を用いた基板加工方法。 （もっと読む）

【課題】連続した長期間の高周波駆動において、高印字スピードで、高デューティで、記録を実行する場合においても、発生するインクミストを親水部に留めておき、インク滴の吐出口への引き込みを防止するインクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、液体を吐出するための吐出口および前記吐出口と連通する液体流路のパターンを形成し表面に撥水処理が施された流路形成部材とを含むインクジェットヘッドであって、前記インクジェットヘッドの吐出口を有する面に、撥水処理が施されている撥水領域と、前記流路形成部材内部に底を有し表面に撥水処理が施されていない窪みとを複数有することを特徴とするインクジェットヘッド。およびインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】流路から収容室へ液体を適切に供給する。
【解決手段】基板面に、第１面よりも第２面が低くなるように段差を形成するステップと、段差が形成された基板面の第１面及び第２面上に、露光されると溶解するポジ型レジストを形成するステップと、第２面から、第１面上の溶解後のポジ型レジストの上面までの距離が、第２面から、当該第２面上の溶解後のポジ型レジストの上面までの距離と同じになるように、ポジ型レジストに露光するステップと、露光後に現像することで、ポジ型レジストを固体層に形成するステップと、固体層を被覆する被覆層を形成するステップと、被覆層の形成後に固体層を除去することで、吐出口から吐出される液体を収容する収容室を第１面と被覆層の間に形成するとともに、収容室へ液体が流れる流路を第２面と被覆層の間に形成するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 微細な構造体を高精度に、製造工程を簡略化して、歩留まり良く製造する方法を提供すること。
【解決手段】 ２８０ｎｍ以上の波長の光に対してポジ型の感光性を示すポジ型感光性樹脂からなる第一の樹脂層と、アントラセン化合物を含有する第二の樹脂層と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、前記第二の樹脂層の一部を３００ｎｍ以上の波長の光で露光する工程と、前記第二の樹脂層の未露光部をマスクとして利用し、２８０ｎｍ以上の波長の光を前記第二の樹脂層の露光が行われた部分を透過させて前記第一の樹脂層に照射することで、前記第一の樹脂層を露光する工程と、前記第一の樹脂層の露光が行われた部分を除去して構造体を形成する工程と、をこの順に有する構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法の紫外線照射工程において、ノズル孔となる位置のノズル形成層の半硬化又は硬化を防止し、不良品の発生を防止することができるインク吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路壁５３により形成され、インク加熱要素５２を含む空間に紫外線を吸収する樹脂を注入し、当該樹脂で流路壁５３を覆い犠牲層５４を形成することにしたので、紫外線照射工程において、紫外線が犠牲層５４で吸収され、基板５１で反射する紫外線量を抑制することが可能となり、マスク部５６ａ直下のノズル形成層５５に照射される紫外線量が抑制される。このため、ノズル孔５５ａとなる位置のノズル形成層５５の半硬化又は硬化が抑制され、不良品の発生が防止される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程数が少なく、高精度かつ高アライメント精度で微細パターンを形成できる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、（１）基板の上に、感光性樹脂からなる第一の樹脂層を形成する工程と、（２）前記第一の樹脂層の上に、第２級または第３級アルキニルアルコールと光酸発生剤とベース樹脂とを含有する第二の樹脂層を形成する工程と、（３）前記第二の樹脂層をパターン露光する工程と、（４）前記第二の樹脂層において前記パターン露光した部分をマスクとして、第一の樹脂層を露光する工程と、（５）前記第二の樹脂層及び第一の樹脂層を除去する工程と、を有する微細パターンの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 高精度に流路、吐出口が形成された液体吐出ヘッドを高い生産効率で得られる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路の壁を備えた流路壁部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、特定の化合物を含む組成物の層を基板上に設ける工程と、
前記組成物の層を露光し、露光された部分を除去して、前記組成物の層から前記流路の型を形成する工程と、カチオン重合性の樹脂と、カチオン重合開始剤と、を含んだ前記流路壁部材となる被覆層を前記型を被覆するように設ける工程と、前記被覆層を露光し、露光が行われなかった部分を除去して前記吐出口を形成する工程と、前記型を除去して前記流路を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 来歴情報の長期の認識性を確保する。
【解決手段】 基板と、該基板上に設けられ、液体が吐出される吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部が設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストを除去するための優れた方法などを提供する。
【解決手段】ベール除去と同時にフォトレジストを除去する方法が提供される。この方法は、Ｏ_２、ＮＨ_３およびＣＦ_４などのフッ素含有ガスを含むガス化学種から形成されたプラズマを用いる。この方法は、インクジェットプリントヘッド作製などのＭＥＭＳ作製プロセスでの使用に特に適している。 （もっと読む）