【課題】環境負荷が小さく、歪量および信頼性が向上した圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、圧電体層２０、及び前記圧電体層に電圧を印加する電極３０を有する圧電素子１００と、を含み、前記圧電体層は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層は、（１１１）面の配向強度αの、（１００）面の配向強度βに対する強度比γ（α／β）が、３以上である。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの端子部と外部接続するワイヤとは、封止剤で被覆されている。この封止剤の封止が十分でないと、インクが侵入して端子部が腐食するが、特にアルミニウムからなる電極層と、他の金属とが同時にインクに接すると電池効果により急速に腐食が進行する。
【解決手段】 本発明の液体吐出ヘッドは、基体を端子部が設けられた面側からみたときに、電極層を投影した部分の大きさを、拡散防止層を投影する部分の大きさより小さくし、拡散防止層の周囲に電極層に接するように樹脂層を設ける。このように設けることで、封止剤の封止が十分でなかったとしても、腐食が進行しにくい液体吐出ヘッドとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子が、ＡＬＣＶＤ法により形成された酸化アルミニウム膜を含む保護膜１００によって覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】複数の引出電極の引き出し方向によらず、圧電層の駆動領域と対向する部分における圧電変形量のばらつきを低減する。
【解決手段】圧電アクチュエータ７は、圧力室１０が形成された流路ユニット６に接合された圧電層４１と、圧電層４１と積層して配置された圧電層４２と、圧電層４２の表面に配置された個別電極４４及び引出電極４５とを有している。個別電極４４は、圧力室１０と対向して配置されている。引出電極４５は、個別電極４４から引き出され、圧力室１０と対向しない部分まで延在している。そして、引出電極４５を介して個別電極４４に電圧が付与される。引出電極４５は、個別電極４４よりもガラス材料内に含有された金属粒子の径が大きな材料で形成され、個別電極４４と導通している。そして、引出電極４５と圧電層４２との間には低誘電層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】良質な薄膜を製造することができる。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３００によって基板１１に吐出された機能性インク膜３０２にレーザ光を照射して加熱すると溶媒が蒸発して溶液が乾燥する。リアルタイムレーザ制御装置６００によって機能性インク膜３０２の乾燥状態を検出する。そして、機能性インク膜３０２の乾燥状態に対する最適なレーザ光照射条件の関係の特性データと照合しながら検出した機能性インク膜３０２の乾燥状態に対応する最適なレーザ光照射条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】 流路構成部材と基板との密着性の確保。
【解決手段】 液体吐出圧力発生素子と、電気信号入力端子と、を有した基板と、基板上に接合されることで吐出口に連通する流路を形成する流路構成部材と、基板と流路構成部材との間の少なくとも一部に形成された密着層と、流路構成部材の少なくとも一部の側面に設けられ、電気信号入力端子を封止する封止材と、備える液体吐出ヘッドであって、前記流路構成部材と前記密着層との前記基板の外周側の界面は、前記封止材が設けられている領域から退避して形成される。 （もっと読む）

【課題】熱処理方法としてレーザーを使用して薄膜を製造する薄膜製造装置であって、最適なレーザー条件を算出、制御することができる薄膜製造装置を提供すること。
【解決手段】基板上に機能性インクを所定のパターンで塗布する塗布手段と、塗布された前記機能性インクを加熱して結晶化するための１つ又は２つ以上のレーザー光源と、前記機能性インクの結晶状態を測定するためのＸ線回折装置と、前記Ｘ線回折装置により測定された前記機能性インクの前記結晶状態の情報を記録する記録部と、前記レーザー光源のレーザー照射条件を制御する制御装置と、を有し、前記制御部は、前記記録部に記録された、事前の前記レーザー光源によるレーザー照射した前記機能性インクの前記結晶状態の情報に基づいて、前記レーザー光源のレーザー照射条件を調整するようにする、基板上に薄膜を形成する薄膜製造装置。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】成膜手段により導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜工程（Ｓ２０３）と、加熱手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して強誘電体層を形成する加熱工程（Ｓ２０４，Ｓ２０５，Ｓ２０７）と、冷却手段により前記加熱されたシリコンウェハを冷却する冷却工程（Ｓ２０８）と、を、一連の処理工程として１枚の前記シリコンウェハごとに所定回数繰り返すように有し、前記加熱工程は、加熱焼成手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程（Ｓ２０７）を含み、前記焼成工程の前に、位置調整手段により前記加熱焼成手段に対する前記シリコンウェハの板面回転方向の位置を前回までの焼成処理のときの該シリコンウェハの位置とは異なるように調整する位置調整工程（Ｓ２０６）をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制するとともに生産性の向上を図ることのできる液体吐出ヘッド製造装置を提供する。
【解決手段】導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜部１４と、前記強誘電体前駆体膜を加熱して乾燥する第１加熱部１５と、前記乾燥した強誘電体前駆体膜を加熱して該強誘電体前駆体膜に含まれる有機成分を除去する第２加熱部１６と、前記有機成分が除去された強誘電体前駆体膜を加熱して焼成し前記強誘電体層を形成する第３加熱部１７と、前記有機成分が除去された強誘電体前駆体膜および前記強誘電体層を冷却する冷却部１８と、前記シリコンウェハを搬送する搬送部１２と、１枚の前記シリコンウェハごとに処理が行われるように、成膜部１４、第１加熱部１５、第２加熱部１６、第３加熱部１７、冷却部１８及び搬送部１２を制御する主制御部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の剥がれが生じることなく、導電部分をインクから有効に保護することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】基板の表面に導電部を形成し、この導電部に接続する圧電部材を、その周囲を枠部材により囲むと共に、上面をノズルプレートで覆ってインク室とし、このインク室に、基板の裏面側に設けたマニホールドからインク流通孔を通してインクを供給する。これら圧電部材、電極及び導電部を含むインク室、及び枠部材を含む基板の表面、インク流通孔の内面、及びこのインク流通孔の他端開口を含む基板の裏面とに絶縁膜を一体的に形成する。ノズルプレートは、枠部材の表面に形成された絶縁膜上に取り付け、基板の裏面では、その絶縁膜上にマニホールドを接着する。このため、絶縁膜の周縁端部がインク室内及びマニホールド内のインクと接触せず、インクの侵入による絶縁膜の剥れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】振動板の機械的特性に影響を与えないように、振動板において凸部が備えられた面に対して樹脂層を形成する液体吐出ヘッド用振動板、液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッド用振動板の製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドにおける液室とアクチュエータの間に介在し、一面が液室の一部を構成し、その反対の面にアクチュエータと接合される凸部を備える液体吐出ヘッド用振動板であって、凸部とアクチュエータとの接合面のみに樹脂層が形成され、凸部における接合面以外の面及び液体吐出ヘッド用振動板における凸部が備えられた面以外の面には樹脂層が形成されていないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位部分と非変位部分との境に応力が集中しやすく、故障の原因になっていた。
【解決手段】 複数のノズルに対応する所定の流路を形成した流路形成基板を、上記ノズルを形成したノズルプレートと、振動板とではさみ、同振動板における流路形成基板とは反対の面には各流路に対応して圧電素子を配設しており、同圧電素子に所定の駆動信号を与えると同圧電素子が変位し、流路形成基板の所定の流路に充填されている液体が各流路に対応するインク等の液体がノズルより吐出される。ここで、上記振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成するにあたり、上記圧電素子と隣接する金属製部材からなるおもり材を形成している。圧電素子の変位を繰り返すときに応力が集中しやすい部位が生じるが、おもり材を形成することで応力集中に耐えられるようになる。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の形成時に、ヒーター位置の薄膜層が剥離しにくいインク吐出ヘッドとその製造方法を提供すること。
【解決手段】平面状の基板１１と、基板１１の一方の面に設けられるヒーター１３と、少なくともヒーター１３を覆うように基板１１一方の面に設けられ、耐インク性を有する絶縁膜１２ａ及び保護膜１４と、ヒーター１３を含むインク室ＣＨを区画するために基板１１の一方の面に設けられ、吐出孔Ａを有するノズル層１７と流路壁１５とを有するインク室壁部とを備えるインク吐出ヘッドである。基板１１は、その一方の面のヒーター１３から離間した位置に形成された第１開口と基板１１の他方の面に形成された第２開口とを連通するインク供給口Ｂを有する。絶縁膜１２ａ及び保護膜１４は、その周囲よりも厚みが小さい凹部Ｃを有する。凹部Ｃは、ヒーター１３とインク供給口Ｂとの間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）