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Fターム[2C057AP52]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | ヘッドの製造 (18,267) | 加工方法 (12,269) | 薄膜形成手段 (4,992) | スパッタリング (1,054)

Fターム[2C057AP52]に分類される特許

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【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層70と圧電体層70に設けられた電極60,80とを具備する圧電素子300を備え、圧電体層70は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層70に駆動電圧Vを印加したときの変位量をZmax、その後印加電圧を0Vにしたときの変位量をZとしたとき、(Zmax−Z)/Vが70pm/V以上且つ比誘電率が700以下である。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70に電界を印加する電極60,80と、を具備する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドIであって、圧電体層70は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層70が単斜晶から菱面晶へ変化する。 (もっと読む)


【課題】単結晶基板上において、圧電薄膜を良好な単結晶の状態で確実にエピタキシャル成長させて成膜し、圧電特性を確実に向上させる圧電素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子10は、以下の工程によって製造される。単結晶基板1を、振動する振動部1Aと、振動部1Aと連結されて振動が生じない非振動部1Bとに分けたときに、単結晶基板1上で、非振動部1B上を含む領域であって、振動部1A上の圧電薄膜3の成膜領域を除く領域に、圧電薄膜3の単結晶での成長を阻害する阻害膜2を成膜する。次に、上記成膜領域となる振動部1A上の少なくとも一部に、圧電薄膜3を単結晶でエピタキシャル成長させて成膜するとともに、阻害膜2上に、圧電薄膜3を非晶質または多結晶で成膜する。その後、阻害膜2上に成膜された圧電薄膜3を除去する。 (もっと読む)


【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層14、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板10を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子20A、20B、20Cと上部電極40とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極14が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、歪量および信頼性が向上した圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド600は、ノズル孔612に連通する圧力発生室622と、圧電体層20、及び前記圧電体層に電圧を印加する電極30を有する圧電素子100と、を含み、前記圧電体層は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層は、(111)面の配向強度αの、(100)面の配向強度βに対する強度比γ(α/β)が、3以上である。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、且つ、リーク電流の発生を抑制することができ、歪量が大きく、緻密で、さらに低温で焼成できるチタン酸バリウム系の圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口21から液体を吐出する液体噴射ヘッド1であって、圧電体層70と該圧電体層70を挟む電極60、80と前記圧電体層70の少なくとも一方側の面に設けられたバッファー層65とを備えた圧電素子300を具備し、前記圧電体層70は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン、チタンに対して3モル%以下の銅、チタンに対して2モル%以上5モル%以下のリチウム及びチタンに対して2モル%以上5モル%以下のホウ素を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、前記バッファー層は、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部5は、積層された薄板状の圧電部材62を有する円形状のメンブレン6と、電極とを備えている。電極は、圧電部材62の第1領域68と第2領域69とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材62に設けられた複数組の一対の第1電極63、65及び第2電極64を備えている。 (もっと読む)


【課題】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にpHが7以上である前駆体溶液31を下電極20上に塗布し、塗布した前駆体溶液31を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス30に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 (もっと読む)


【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子(10)は、基板(12)上に、第1の電極(14)が形成され、その上に第1の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜(18)の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜(20)の上に第2の圧電体膜(22)が形成され、その上に第2の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜(18)と金属膜(20)を積層してなる中間層(26)の厚みと応力値の積が100N/m未満であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口21から液体を吐出する液体噴射ヘッド1であって、圧電体層70と圧電体層70に設けられた電極60、80とを具備する圧電素子300を備え、圧電体層70は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層70に駆動電圧を印加したときの変位量をZmax、その後印加電圧を0Vにしたときの変位量をZ、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をZminとしたときに、(Z−Zmin)/(Zmax−Z)が0.08以上0.45以下を満たす。 (もっと読む)


【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、構造が比較的簡易で経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子10が、(111)配向を有するPt族の元素製の電極14と、電極14上に形成された電極15と、電極15上に形成され(111)を優先配向とするPZTからなる電気−機械変換膜16と、膜16上に形成された個別電極17と、電極17上に形成された金属の個別電極18とを有し、電極15、17はルテニウム酸ストロンチウムからなり、電極15は、ペロブスカイト構造を有する(111)配向を有し、表面粗さが4nm以上15nm以下であり、厚さが40nm以上150nm以下である。 (もっと読む)


【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が2つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から2番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 (もっと読む)


【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極14は、配線54及びダイシングライン51の領域に設けられているコンタクト52−2を介して導電性材料の個別液室基板12に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板12と共通電極19との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極14と共通電極19との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト52−2はダイシングライン51に設けられており、ダイシングライン51に沿ってダイシングを行って配線54とコンタクト52−2を電気的な接続を切断することで、個別液室基板12と各個別電極14とは互いに電気的に絶縁となる。 (もっと読む)


【課題】エージング特性が優れた液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッドの製造方法は、圧力室521が形成される圧力室基板52を準備する工程と、前記圧力室基板52の一方の側に振動板を形成する工程と、前記振動板の上方であって、前記圧力室が形成される領域に対応する位置に、圧電素子54を形成する工程と、前記圧力室基板52に前記圧力室521を形成する工程と、前記圧力室基板の他方の側に、前記圧力室に連通するノズル孔を有するノズル板を形成する工程と、を含む。前記圧電素子54を形成する工程は、前記振動板の上方に下部電極4を形成する工程と、前記下部電極の上方に配向層7を形成する工程と、前記配向層の上方に圧電体層5を形成する工程と、前記圧電体層の上方に上部電極6を形成する工程と、を含む。前記配向層7は、ランタン酸化物とニッケル酸化物とシリコン化合物とを含むターゲットを用いてスパッタ法によって形成される。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口21から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、弾性膜50上に、第1電極60と、圧電体層と、圧電体層上に設けられた第2電極と、を具備する圧電素子300を備え、圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層の膜厚を620nm以上1520nm以下の範囲とする。 (もっと読む)


【課題】圧電素子の変位効率の向上を図るとともに、製造コストの低減も図り得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、個別内部電極16または共通内部電極17のいずれか一方を形成して第1および第2のウエハーを形成する工程と、前記第1のウエハーと第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、積層された圧電材料を焼成により一体化した圧電材料層15を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた圧電材料層15の表面に個別内部電極16に接続される個別外部電極22と共通内部電極17に接続される共通外部電極23とを形成する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は圧電素子、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電素子は、圧電素子用圧電体組成物100重量部に対し、90重量部以上100重量部未満のPb(Zr、Ti)Oを含む圧電セラミックパウダーと、0重量部超過10重量部以下のガラスフリットとを含み、ガラスフリット100重量部に10から20重量部のZnOを含むことができる。 (もっと読む)


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