【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるキャリッジユニットの組立方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド２０を板状のヘッドプレート２１に取り付けたヘッドユニット２と、ヘッドユニット２が取り付けられたユニットホルダー３ａと、を備えたキャリッジユニット１の組立方法であって、ヘッドプレート２１をユニットホルダー３ａに固定するプレート固定工程と、プレート固定工程の後、複数のインクジェットヘッド２０をヘッドプレート２１に対しアライメントして固定するヘッド固定工程と、を備え、ヘッド固定工程は、インクジェットヘッド２０が吐出時と同じ向きで行われる。 （もっと読む）

【課題】 吐出口面の平坦性の向上と、基板上の電気回路部の保護を両立した液体吐出ヘッドを製造すること。
【解決手段】 第１の層を有する基板を用意する工程と、前記第１の層から、流路を形成するための流路の型と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材とを形成する工程と、前記間隙を充填し、かつ前記型と前記型の外側に間隙を介して位置する部材と被覆するように、第２の層を設ける工程と、前記第２の層から、吐出口を形成するための吐出口形成部材を形成する工程と、前記型の外側に間隙を介して位置する部材を除去する工程と、前記吐出口形成部材の外側に少なくとも一部は間隙を介して位置する壁部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。シリコン基板２は、主面結晶方位（１００）のシリコン結晶からなる。 （もっと読む）

【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。拡散防止膜７０は、圧電体層８中の金属原子の拡散を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】高密度に配置された配線部材の配線電極と圧電部材の電極とをはんだ接合することが難しい。
【解決手段】ＦＰＣ４の個別配線電極４２にメッキされたはんだ５１Ａを溶融して圧電部材３の外部電極２３とを接合する前に、ＦＰＣ４の個別配線電極４２にメッキされたはんだ５１Ａの端部を一旦溶融させ（第１ステップ）、溶融されたはんだ５１Ｂの端部と圧電部材３の外部電極２３とを接触させ、はんだ５１Ｂを再溶融することで、ＦＰＣ４の配線電極４２と前記圧電部材３の外部電極２３とを接合する（第２ステップ）。 （もっと読む）

【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極１４は、配線５４及びダイシングライン５１の領域に設けられているコンタクト５２−２を介して導電性材料の個別液室基板１２に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板１２と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極１４と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト５２−２はダイシングライン５１に設けられており、ダイシングライン５１に沿ってダイシングを行って配線５４とコンタクト５２−２を電気的な接続を切断することで、個別液室基板１２と各個別電極１４とは互いに電気的に絶縁となる。 （もっと読む）

【課題】液体流路部材の厚みが厚くなった場合でも、液体吐出口のエッジ形状がシャープであり、高品位印字を可能にする液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口に連通する液体流路の型となりかつポジ型レジストからなる固体層とが設けられた基板上に、光カチオン重合開始剤とカチオン重合性樹脂とを含む被覆樹脂層を被覆する工程と、該被覆樹脂層を露光及び現像して液体吐出口を形成する工程と、該固体層を除去することにより液体流路を形成する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、該被覆樹脂層が、カチオン重合阻害剤として、パーフルオロアルキル基を有するアミン化合物を含む液体吐出ヘッドの製造方法。及び該方法より得られた液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】液室密度の高密度化と、それに伴う隣接する個別液室間の相互干渉を緩和し、且つ保持基板との接合領域を低減させて小型化に貢献する。
【解決手段】アクチュエータに対向する位置に、保持基板隔壁により区画された凹状の振動室が形成されており、保持基板隔壁が配線層を含む積層膜を介して液室隔壁に接合される保持基板を有し、短手方向における保持基板隔壁の幅は、短手方向における液室隔壁の幅より狭く、配線層パターンの幅よりも広くする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの記録装置内への組付け作業性を向上し、作業時に発生する不具合を防止する。
【解決手段】ヘッド部29上方に配置されたインクタンク27と、シリアル-パラレル変換画像データ制御素子23を搭載した第１のリジッド基板24と、パラレル伝送される画像データ信号に応じて、圧電素子に駆動波形を入力する圧電素子駆動素子を搭載した第２のリジッド基板28と、両基板を電気的に接続するＦＰＣ基板25とを備え、第１のリジッド基板24のＦＰＣ基板25側とは反対側に、上位基板と接続するコネクタ20を備え、コネクタ20がインクタンク27の上面に配置され、第１のリジッド基板24がインクタンク27の側面に配置され、第２のリジッド基板28がインクタンク27とヘッド部29の間に挟持され、ＦＰＣ基板25が第１のリジッド基板24と第２のリジッド基板28の間に屈曲した状態で配置される。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】使用材料の数を増やすことなく、記録素子基板の電気接続部を保護する封止剤が所定領域にのみ塗布されたインクジェット記録ヘッドを実現する。
【解決手段】凹部１２０が形成された支持部材１０３、凹部１２０に収容された記録素子基板１０１および支持部材１０３に固定された電気配線部材１０２を有する記録ヘッドであって、電気配線部材１０２には、基板１０１が露出する開口部１０４の縁から該開口部１０４の内側へ向けて伸びて基板１０１の電極パッド２０４に接合されている電極リードと、開口部１０４の縁から該開口部１０４の内側へ向けて伸びており、先端が凹部底面１０８に接している突出部３０２とが設けられており、凹部底面１０８、これに対向する突出部３０２の裏面、基板１０１の側面、これに対向する凹部内側面１１０によって囲まれた空間に、電極パッド２０４と電極リード１０５の接合部を被覆する封止剤１３０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドを精度良く所定位置に配置して液滴の吐出精度が向上し、かつ大型化を抑えた液体噴射装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第３基準部である溝部・切り欠き部及び第２基準マークを有するアライメントマスクと、当該第３基準部及びサブキャリッジ２０に設けられた第２基準部である溝部２３・切り欠き部２４が位置決めされる位置決め部である円柱部１０２・凸部１０３を有する治具１００とを用い、第３基準部が円柱部１０２・凸部１０３に位置決めされたアライメントマスクの第２基準マークの位置を記憶し、アライメントマスクを取り外した後、記憶した第２基準マークの位置に、記録ヘッド３０の第１基準マークＭを位置決めし、当該記録ヘッド３０をサブキャリッジ２０に固定し、当該サブキャリッジ２０の第２基準部をメインキャリッジの第１基準部に位置決めしてサブキャリッジ２０をメインキャリッジに取り付ける。 （もっと読む）

【課題】設計変更に左右されずに、時分割駆動時の液滴の記録方向の着弾ずれが補正できる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】吐出口を形成するための照射を行なう前に、吐出順に応じて、吐出口が形成される位置に対してずれた窪み部を形成してから、照射を行なう。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、高さの異なる押圧面を有する電気配線基板Ｈ１３００と記録素子ユニットＨ３０００との接着固定において、リードＬ１の下部の接着剤が安定的に圧搾されて、高い電気接合信頼性を持ったインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する事にある。
【解決手段】 記録液を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板を接着固定する支持基板と、前記記録素子基板に吐出信号を伝達する電気配線基板とを備え、前記電気配線基板と、前記支持基板とを接着剤を用いて接着固定して得られるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記電気配線基板には、前記電気配線基板の接着の際に圧力を付与する為の、高さの異なる押圧面を複数有し、前記支持基板には接着の際に前記電気配線基板からの圧力を受圧する受圧面を有し、前記押圧面のうち、少なくとも２つの面を低弾性部材によって押圧する事を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】好適な強度を維持したまま基板おもて面に形成するレジスト構造物等の影響を受けずに工程を追加することなく高精度なアライメントを行うことが出来るインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】対向する第一の面及び第二の面を有し第二の面から基板の厚さを一部薄く加工することで形成した共通液室及び該共通液室に連通し基板を貫通する貫通孔である複数の独立インク供給口を有する基板と第一の面上に形成されインク流路及びインク吐出口を有するノズル構造物とを含むインクジェット記録ヘッドを製造する方法であり該複数の独立インク供給口を形成するためにフォトマスクを用いて基板上に塗布したレジストをパターニングする工程においてアライメントマークを用いて該マスクと該基板との位置合わせを行う際に基板の凹みにおいて赤外線アライメントを行うインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 電気特性評価を行う際のコンタクト電極に削除しきれないとコンタクトが得られなくなる
【解決手段】 振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成する際には、下電極と圧電体層と上電極を順次積層して圧電素子を形成する。このとき、下電極の一部に平面での形状が先細りとなるコンタクト電極を形成しておく。下電極のパターニング後に圧電素子の素材を塗布して焼成し、更に不要部分をエッチングで除去する。コンタクト電極は下電極の一部に平面での形状が先細りとなるように形成されているため、このコンタクト電極の上に塗布される圧電体層の素材の膜厚はその幅によって変化する。すなわち、コンタクト電極の上に積層された圧電体層の素材は幅狭となるのに従って徐々に薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】圧力発生素子の表面汚染をマグネトロンドライエッチングにより除去しても、良好なヒステリシス特性を確保できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、圧力発生素子の表面汚染をマグネトロンドライエッチングにより除去する表面除去処理工程と、圧力発生素子上に配線を形成する配線工程と、を有し、表面除去処理工程におけるマグネトロン印加電流を、圧力発生素子の表面除去量と表面除去に伴うヒステリシス特性の変化量に基づいて設定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で内部の換気を的確に行うことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力発生室１１の一部を区画する振動部材１５と、振動部材１５を介して圧力発生室１１に圧力変動を与える圧電素子３５と、圧電素子３５に電気信号を供給するため異方性導電性接着剤で圧電素子３５に接続されるフレキシブルプリント基板５０と、圧電素子３５及びフレキシブルプリント基板５０を内部に収納するケース４０とを具備するヘッド本体１００の圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０との接続部位において圧力発生室１１の並設方向に沿って、ケース４０に設けた流入口から排出口６２に向かう気流が形成されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】駆動劣化を抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体４１は、結晶構造が正方晶のチタン酸ジルコン酸鉛によって形成されており、平面視において加圧室３１内に収まる範囲において、個別電極４３に重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。圧電体４１の主面４１ｓに対してＣｕＫαのＸ線を照射して反射したＸ線の強度を測定するＸ線回折法を、主面４１ｓの平面視におけるＸ線の照射方向を駆動部４１ａを中心とする放射方向とし、主面４１ｓの側面視における主面４１ｓに対するＸ線の照射角度を変化させながら行うことによって測定される、（００２）面及び（２００）面に対応するピークの強度比（００２）／（２００）が、非駆動部４１ｂにおいて１．０以下である。 （もっと読む）