【課題】被加工体と緩衝薄膜層との固着を防止し、生産性を損なわずに製造コストを軽減するとともに、型部材を破損することなく、高精度で微細な貫通孔を有する微細貫通孔構造体を製造する。
【解決手段】保持部材１０の上に、所定の加熱温度より高い軟化点を有する材料で形成された緩衝薄膜層１１と被加工体１２とを順に形成する形成工程と、被加工体１２と、被加工体１２と対向して設けられ、被加工体１２に転写パターン１４を形成した金型１３とを加熱する工程であって、被加工体１２と金型１３の少なくともいずれか一方を、加熱温度まで加熱する加熱工程と、金型１３を被加工体１２に押込む押込み工程と、被加工体１２と金型１３とを冷却する冷却工程と、被加工体１２から金型１３を引き離す離型工程と、緩衝薄膜層１１から被加工体１２を引き離す離体工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易なプロセスで、再現性がよい液体吐出ノズルヘッドを提供する。
【解決手段】 ＰＥＴシート３３上にポリイミドを塗布等して、ポリイミド膜３２を形成し、このポリイミド膜３２に対して、ドライエッチングして所望の形状の孔３４を形成する（図３（Ａ））。この際、ポリイミド膜３２のエッチング形状は、垂直ではなく、エッチング方向に対して、テーパ形状を持つようにする。シリコン基板３１には、ドライエッチングを用いて、所望の寸法および形状を有する孔３５を形成しておく（図３（Ｂ））。
以上のようにして準備されたシリコン基板３１とＰＥＴシート３３上に形成されたポリイミド膜３２とを、図３（Ａ）と図３（Ｂ）とにおいて、矢印で示すように、貼り合せる。 （もっと読む）