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Fターム[2C057AQ02]の内容

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【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層70と圧電体層70に設けられた電極60,80とを具備する圧電素子300を備え、圧電体層70は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層70に駆動電圧Vを印加したときの変位量をZmax、その後印加電圧を0Vにしたときの変位量をZとしたとき、(Zmax−Z)/Vが70pm/V以上且つ比誘電率が700以下である。 (もっと読む)


【課題】駆動電極がフレキシブル印刷回路と正確かつ堅固に連結されて駆動電極が扁平に具備されるようにする圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】駆動電圧を提供する上部及び下部電極127、123と、上部及び下部電極127、123の間に圧電体液が固化されて形成され、インクジェットヘッド100に具備される複数の圧力チャンバ114内のインクにそれぞれ駆動力を提供する圧電体125と、を含み、圧電体125は、複数の圧力チャンバ114それぞれの上部に個別に具備される分枝部と分枝部の一端で複数の分枝部とそれぞれ連結されながら一体に具備される大面積部とを含む圧電アクチュエータ120を含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層70と、圧電体層70に電界を印加する電極60,80と、を具備する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドIであって、圧電体層70は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層70が単斜晶から菱面晶へ変化する。 (もっと読む)


【課題】リストリクターが形成されたシリコン基板、シリコン基板の製造方法及びこれを備えたインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】シリコン基板200は、マニホールドと連結され、第1大きさの第1幅を有する第1連結部210と、圧力室と連結され、第2大きさの第2幅を有する第2連結部220と、第1連結部210と第2連結部220を連結し、第1大きさ又は第2大きさより小さい第3大きさの第3幅を有するリストリクター部230とを含み、リストリクター部230と第1連結部、又はリストリクター部230と第2連結部が連結される境界部は曲線状に形成する。 (もっと読む)


【課題】ノズルの加工時間の増大を低く抑えつつ、液滴の吐出方向のばらつきを低減できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】実施形態のノズルプレートは、プレート基板と、前記プレート基板を貫通する、断面積の異なる複数の孔部が大きさ順に同軸に結合し、前記プレート基板表面付近に、断面積が最小の孔部の前記軸方向の凹凸のピッチが最小である側壁を有するノズルとを備えることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル23に連通する圧力室20と、該圧力室20に供給口22を通じて液体を供給する共通液室29と、を有し、圧力室20内の液体に圧力変動を付与することによりノズル23から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド2であって、圧力室20の底面には、供給口22側からノズル23側への流体の流れに対して抵抗となる段差部25が設けられた。 (もっと読む)


【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層14、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板10を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子20A、20B、20Cと上部電極40とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極14が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、歪量および信頼性が向上した圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド600は、ノズル孔612に連通する圧力発生室622と、圧電体層20、及び前記圧電体層に電圧を印加する電極30を有する圧電素子100と、を含み、前記圧電体層は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層は、(111)面の配向強度αの、(100)面の配向強度βに対する強度比γ(α/β)が、3以上である。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、且つ、リーク電流の発生を抑制することができ、歪量が大きく、緻密で、さらに低温で焼成できるチタン酸バリウム系の圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口21から液体を吐出する液体噴射ヘッド1であって、圧電体層70と該圧電体層70を挟む電極60、80と前記圧電体層70の少なくとも一方側の面に設けられたバッファー層65とを備えた圧電素子300を具備し、前記圧電体層70は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン、チタンに対して3モル%以下の銅、チタンに対して2モル%以上5モル%以下のリチウム及びチタンに対して2モル%以上5モル%以下のホウ素を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、前記バッファー層は、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、オリフィス面の平坦性とオリフィスプレートの強度に優れる液体吐出ヘッドを製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、(1)液体流路の型パターンと、該型パターンを囲む土台パターンと、を溶解可能な樹脂を用いて前記基板の上に形成する工程と、(2)前記型パターン及び前記土台パターンを覆うように被覆樹脂を配置する工程と、(3)前記被覆樹脂に少なくとも吐出口を形成し、オリフィスプレートを形成する工程と、(4)前記型パターン及び前記土台パターンを除去する工程と、を有し、前記土台パターンは、前記オリフィスプレートが、前記液体流路の側壁を構成する側壁部と、前記側壁部の周囲領域の前記基板上に配置されかつ前記オリフィスプレートの上壁を構成する上面部を支える複数の支持構造と、を有するように形成される形状である液体吐出ヘッドの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく、圧電体層にクラックがより形成されにくい圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力発生室と、圧電体部、及び前記圧電体部に設けられた電極を有する圧電素子と、を含み、前記圧電体部は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、前記圧電体部は、前記ペロブスカイト型複合酸化物からなる第1圧電体層および第2圧電体層と、前記第1圧電体層及び第2圧電体層に挟まれた膜厚5nm以上20nm以下の酸化イリジウムからなる中間層と、を有する。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が多い圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口21から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、圧電体層70と該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子300を具備し、前記圧電体層は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン及び前記チタンに対して3モル%以下の銅を含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 (もっと読む)


【課題】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にpHが7以上である前駆体溶液31を下電極20上に塗布し、塗布した前駆体溶液31を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス30に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 (もっと読む)


【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子(10)は、基板(12)上に、第1の電極(14)が形成され、その上に第1の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜(18)の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜(20)の上に第2の圧電体膜(22)が形成され、その上に第2の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜(18)と金属膜(20)を積層してなる中間層(26)の厚みと応力値の積が100N/m未満であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド1は、シリコン基板2と、シリコン基板2上に形成された酸化シリコン層5Bと、酸化シリコン層5B上に形成された拡散防止膜70と、拡散防止膜70上に設けられた圧電素子6とを含む。シリコン基板2にはインク溜まりとしての加圧室62が形成されており、その天面部の薄いシリコン層5Aと酸化シリコン層5Bとが振動膜5を構成している。圧電素子6は、拡散防止膜70に接する下部電極7と、下部電極7上に設けられた圧電体層8と、圧電体層8上に設けられた上部電極9とを含む。拡散防止膜70は、圧電体層8中の金属原子の拡散を防ぐ。 (もっと読む)


【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド1は、シリコン基板2と、シリコン基板2上に形成された酸化シリコン層5Bと、酸化シリコン層5B上に形成された拡散防止膜70と、拡散防止膜70上に設けられた圧電素子6とを含む。シリコン基板2にはインク溜まりとしての加圧室62が形成されており、その天面部の薄いシリコン層5Aと酸化シリコン層5Bとが振動膜5を構成している。圧電素子6は、拡散防止膜70に接する下部電極7と、下部電極7上に設けられた圧電体層8と、圧電体層8上に設けられた上部電極9とを含む。シリコン基板2は、主面結晶方位(100)のシリコン結晶からなる。 (もっと読む)


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