【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が多い圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子３００を具備し、前記圧電体層は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン及び前記チタンに対して３モル％以下の銅を含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部材間の隙間に充填される接着剤により生じる不具合を防止する。
【解決手段】複数の基板を層畳して構成され、液体吐出面に形成されたノズルから液体を噴射するヘッド本体と、前記液体吐出面とは反対側の面で前記ヘッド部材に固定されるヘッドケースと、を備える複数のヘッド部材と、前記ヘッド部材が前記吐出面側の部位で位置決め固定される固定板と、前記固定板に固定されたヘッド部材と他のヘッド部材との隙間に所定の高さにまで充填し硬化された接着剤からなる補強部と、を有し、前記ヘッドケースの側面には、段部が設けられており、前記補強部の最上部が前記段部よりもノズル側にある構成としてある。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電気配線基板の配線保護信頼性が高い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 電気配線基板の配線上部を、第一の接着剤層、第一の保護フィルム層、第二の接着剤層、第二の保護フィルム層からなる積層体で保護する。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口の高密度化を図ることができると共に、ノズルプレートと個別流路とを容易に位置決めして、液体の吐出不良などの不具合を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口３４が第１の方向Ｘに並設されたノズルプレートと、該ノズルプレートに接合される流路部材と、を具備し、前記流路部材は、各ノズル開口３４に連通する個別流路２２を具備し、前記個別流路２２は、前記ノズル開口３４に連通した連通部２６と、該連通部２６に連通し且つ前記連通部２６よりも前記第１の方向Ｘの幅が狭い圧力発生室２１と、を具備し、前記流路部材には、当該個別流路２２が前記第１の方向Ｘに並設された第１個別流路列２２１と、当該個別流路２２が前記第１の方向Ｘに並設された第２個別流路列２２２とが、前記第１の方向Ｘに交差する第２の方向Ｙに並設されて設けられており、且つ前記第２個別流路列２２２の各連通部２６は、前記第１個別流路列２２１の前記圧力発生室２１の間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】配線部材や圧電部材の大型化や部材コストアップを生じる。
【解決手段】圧電部材１２の一端部には、駆動柱１２Ａよりも幅広の共通電極取出し用圧電柱１２Ｂを形成し、圧電柱１２Ｂの個別外部電極側端面にすべての駆動柱１２Ａの共通外部電極２４を接続した取出し用共通外部電極２５を設け、各駆動柱１２Ａの個別外部電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを、圧電柱１２Ｂの取出し用共通外部電極２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを電気的に接続し、共通電極取出し用圧電柱１２Ｂの高さＨｂは、駆動柱１２Ａの高さＨａの約１／２とし、取出し用共通外部電極２５の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積を、個別外部電極２３の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積と同じとしている。 （もっと読む）

【課題】下部電極にバイアス電圧を印加しても加圧液室内の導電性の液体に電圧は印加されず液体の吐出性能を維持できる。
【解決手段】加圧液室１２内を昇圧する振動板３０は、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜、ポリシリコン、シリコン酸化膜、ｐドープしたポリシリコン、シリコン酸化膜の順に成膜することで形成されている。振動板３０におけるｐドープしたポリシリコンは接地（ＧＮＤ）されている。液滴吐出ヘッドにおける下部電極５１と加圧液室１２との間に、ｐドープしたポリシリコンに相当し接地されている導電層３１を設けている。このため、下部電極５１にバイアス電圧を印加して駆動する方法を用いた場合下部電極５１と導電層３１との間に電界が生じ、下部電極と加圧液室との間には電界は生じない。 （もっと読む）

【課題】撥液層の端部位置精度が良く滴吐出特性のばらつきが少なく、かつインク充填性及び気泡排出性の良いインク滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔が存在するノズル部領域と、ノズル孔に連通する液室の少なくとも一部が存在する液室部領域と、液室内の液体を加圧してノズル孔から液滴を吐出するための圧力発生手段とを備え、前記ノズル孔の液室側とは反対側の吐出面側に撥液層が形成された液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記ノズル部領域と前記液室部領域とを共通組成の材料を用いてノズル・液室部材として一体に形成するプロセスと、一体形成されたノズル・液室部材の上記吐出面側と反対側に、導電性構造体を密着してこれらを接地して保持するプロセスと、撥液剤を微粒子化した上で帯電させるプロセスと、帯電した微粒子化撥液剤を前記吐出面側に塗布して撥液層を成膜するプロセスとを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎で噴射特性の差を抑え、印字品質の良いインクジェットヘッドの提供を課題とする。
【解決手段】複数の圧力室に連通し、前記複数の圧力室にインクを供給する複数の共通インク室１１を有するインクジェットヘッドにおいて、前記複数の共通インク室１１は、一平面上で所定の方向に配列して設けられており、前記複数の共通インク室１１のうち前記所定の方向について端に位置する共通インク室１１に隣接し、且つ、当該共通インク室１１よりも外側に、溝２０が形成されている。
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【課題】高解像度化への要求に対応する狭ピッチなノズル加工の場合であっても、低コストで十分な加工精度を実現し、流路形成部材との接合領域の変形を極めて小さくする。
【解決手段】ノズル板のノズル孔が、ノズル板における流路形成部材を接合させる面からのプレス加工を少なくとも含む加工工程により形成される。また、ノズル板における流路形成部材を接合させる面でのノズル孔の淵部には、リング形状の凹部が形成されているようにする。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸との共重合体を主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを確実に接地することができると共に、コストを低減して、液滴の被記録媒体への着弾位置精度を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２３が形成された液体噴射面２４１を有するノズルプレート２４と、該ノズルプレート２４に連通する圧力発生室２５と、該圧力発生室２５に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口２３から液体を噴射させる圧力発生手段２０と、を具備し、前記ノズルプレート２５が、前記液体噴射面２４１から液体の噴射方向とは反対側の側面側に屈曲して設けられた屈曲部２４３を具備し、該屈曲部２４３が接地されている。 （もっと読む）

【課題】インク噴射領域の隣接領域を被記録媒体の配置面に近づけて、被記録媒体がインク噴射領域に接触するのを防止する。
【解決手段】インクジェットプリンタは、キャリッジとともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド３の下方に配置されて、搬送面８ａに沿って搬送方向に記録用紙Ｐを搬送する搬送機構とを有している。インクジェットヘッド３の流路ユニット６の一部を構成するノズルプレートのヘッド下面１６は、搬送面８ａから離れる方向に凹むように湾曲している。そして、ヘッド下面１６の中央部の複数のノズル１５が形成されたインク噴射領域１６ａに比べて、ヘッド下面１６のインク噴射領域１６ａの全周を取り囲み、ノズル１５が形成されていない隣接領域１６ｂは、搬送面８ａとの距離が小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射時に生じるミストによる装置内の汚染をより確実に防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電振動子２０と圧力室２８との間に導電板３７を配設し、当該導電板と圧電振動子を電気的に絶縁する。そして、導電板に電圧を印加することで、ノズル３０から噴射されたインクを積極的に帯電させて、当該インクが飛翔中に分離して生じたミストをミスト捕集部１３のミスト吸収材１４に捕集する。 （もっと読む）

【課題】リードタイムの短縮化を図りつつ耐久性の高い薄膜を形成することが可能な成膜方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板を加熱しつつ撥液材料を急加熱によって蒸発させ、前記基板に前記撥液材料の粒子が結合するように、前記基板に前記撥液材料の薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程と連続して行われ、前記基板に形成された前記薄膜を洗浄する洗浄工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液体を効率良く加熱することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２７が開設されたノズルプレート２２、および、圧力室３１を含むインク流路を有する流路ユニット２１と、圧電素子３５と、当該圧電素子の駆動に係る駆動ＩＣ５２と、インク導入路４２を有するユニットケース２６と、を備えたヘッドユニット１６であって、駆動ＩＣは、ノズルプレートおよびユニットケースに接触または熱伝導性部材を介して接合された状態で配置された。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板のクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の流路形成基板１２が一体的に形成されたウェハー１００の各流路形成基板１２の間に、流路形成基板１２毎に分割するためのブレイクパターン２００を形成する工程と、ウェハー１００と接合基板との間に接着剤を塗布する塗布工程と、塗布工程後にウェハー１００と接合基板とを加熱する加熱工程と、ウェハー１００をブレイクパターン２００に沿って、接合基板が接着された複数の流路形成基板１２に分割する分割工程と、を具備し、ブレイクパターン２００は、流路形成基板１２の長辺端部が他の部分よりも脆弱となるように形成する。 （もっと読む）