【課題】静電吸引方式の液体吐出技術を用い、吐出面がフラットであっても良好に電界集中を生じ、安定で耐薬品性に優れ、微細形状の加工適性に優れ、基材上に微細パターン形成が可能な液体吐出ヘッドおよびそれを用いた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１、３０の液体吐出ヘッド２、３１は、液体Ｌを吐出するノズル１０と、形状がフラットなノズルプレート１１と、液体Ｌを貯蔵するキャビティ２０と、ノズル１０内の液体Ｌと基材Ｋ間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段１８と、静電電圧印加手段１８による静電電圧の印加を制御する動作制御手段２４とを備え、ノズル１０の吐出孔１３の内部直径が１５μｍ以下であり、少なくともノズルプレート１１が石英ガラスで構成されており、かつ、ノズルプレート１１の基材Ｋに対向する面１２にフッ化アルキルシラン処理により撥液膜２８が形成されている。 （もっと読む）