【課題】圧電素子の変位特性を向上し高速駆動を実現できると共に圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており
、各圧電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成され
ていると共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前
記圧電体層によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からな
る絶縁体膜５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）
からなる配向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２
上の圧電体層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１３）
に優先配向している構成とする。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ基板上のデバイス面を保護してエッチングする面のみをエッチング液に露出し、撥水膜がＳｉ基板のエッチング時に発生する水素ガスに影響のない形態での処理が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子を有するＳｉ基板上に、インクを吐出するためのインク吐出口を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、保護膜でデバイス面を覆った２枚のＳｉ基板を接着し、Ｓｉ基板のエッチング面のみをエッチング液に露出して、Ｓｉ基板のエッチングを行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

ノズル機能を保持又は回復するために、振動エネルギーを生成できる変換器をインクジェットカートリッジに対して配置し、インクジェットカートリッジのプリントヘッド内の複数のノズルに関連する複数のインク流体柱の各々の少なくとも一部を同時に振動させるための振動力を与える。 （もっと読む）

【課題】面内特性の均一性に優れ、且つ、圧電体層に生じるクラックの発生率を低減させ
ることができる液体噴射ヘッドの製造方法、圧電素子の製造方法及びこれらの製造方法に
よって製造された液体噴射ヘッド又は圧電素子を備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０の一方面側に下電極膜６０を形成する工程と、
相対湿度が３０〜５０％Ｒｈの範囲内に選択された状態で、下電極膜６０上に、鉛を含む
圧電材料を塗布した後、所定の熱処理を行って圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧
電体前駆体膜７１を焼成して下電極膜６０上に圧電体膜７２を形成する工程と、圧電体膜
７２上に上電極膜８０を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で駆動耐久性及び信頼性の向上を図ることが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて振動板６に変位を生じさせる静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５を導電性アモルファス炭素系薄膜で構成したものである。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュ
エータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある
。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６
と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この
振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振
動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連
通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板
１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減
し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】コストの低減を図ると共に、高密度化を容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生素子３００と、前記圧力発生素子３００に接続されたリード電極９０と、保持部材１１０と、支持部材４００と、前記リード電極９０に接続されると共に前記支持部材４００に設けられた可撓性の配線基板４１０とを具備し、前記支持部材４００と前記保持部材１１０とが接着剤１２０を介して接着されている。 （もっと読む）

【課題】容易に形成することができ、リザーバ内の圧力の変化を効果的に緩和することが可能な流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】壁部に囲まれ、流体の供給源に接続され、前記流体を保持するリザーバと、前記リザーバに接続され、前記流体を噴射するノズル開口と、を備え、前記リザーバから前記ノズル開口へ前記流体を流通させると共に前記流体に圧力を加えることで前記ノズル開口から前記流体を噴射する流体噴射ヘッドであって、前記壁部は、前記リザーバと前記ノズル開口とを接続する接続口と、前記接続口に近接した位置であって前記リザーバ内を流通する前記流体の流通経路から外れた位置に設けられた凹部とを有する。 （もっと読む）

【課題】制御素子をインクジェットヘッドに実装したままで、制御素子を破壊することなく圧電素子の消極、分極ができるインクジェットヘッド製造装置を提供する。
【解決手段】制御素子が実装された基板は、制御素子の高圧電源端子と電気的に接続される第１の配線と、制御素子のグランド端子と電気的に接続される第２の配線と、加減圧素子の共通電極と電気的に接続される第３の配線が互いに短絡しておらず、制御素子のゲートから加減圧素子の個別電極までの経路上に、加減圧素子の個別電極から前記第１の配線に電流が流れるように第１のダイオードを設け、前記第２の配線から加減圧素子の個別電極に電流が流れるように第２のダイオードを設けて、前記加減圧素子の消極又は分極を行うときに前記第１の配線と前記第２の配線を短絡する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体について、量の異なる複数種類の液体滴を安定的に吐出させる。
【解決手段】この液体吐出方法に用いる液体吐出ヘッドは、ノズルと、液体をノズルから吐出させるために液体に圧力変化を与える圧力室と、圧力室に液体を供給する供給部とを有し、液体に対する圧力変化の与え方を異ならせることで、所定量の液体と前記所定量よりも少ない量の液体とをノズルから吐出させる。そして、液体の粘度は、８ミリパスカル秒以上であって２０ミリパスカル秒以下の範囲内である。ノズルの直径は、１５μｍ以上であって４０μｍ以下の範囲内である。ノズルの流路長さは、供給部の流路長さの０．２倍未満である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上して十分な変位量を確保しつつ圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成され、各圧
電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている
と共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて下電極６０の端面が圧電体層
によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からなる絶縁体膜
５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）からなる配
向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２上の圧電体
層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１０）に優先配向
している構成とする。 （もっと読む）

【課題】ボンディングワイヤによるフレキシブル基板と圧電素子との接続を確実にして、圧電素子を安定して駆動することにより良好な画像を安定して形成することができるインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル孔と、ノズル孔に連通する圧力発生室が形成されたノズル基板と、ノズル基板の一方の面に設けられ圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、ノズル基板に固定された補強板と、補強板に重ねて配置され、圧電素子に駆動信号を伝送するフレキシブル基板と、圧電素子とフレキシブル基板をワイヤボンディングにより電気的に接続する配線部材と、を備え、フレキシブル基板は、補強板との間に塗布された接着剤と、フレキシブル基板の縁を覆うように塗布された接着剤と、により補強板に固定されている。 （もっと読む）

【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上方の少なくとも一部に形成された上部電極４０と、を有し、圧電体層３０は、下部電極２０と上部電極４０の間に形成された第１の部分３２と、第１の部分３２の外側に連続して形成された第２の部分３４と、を有し、第２の部分３４は、下部電極２０の少なくとも一部を覆い、第２の部分３４の膜厚は、第１の部分３２の膜厚よりも薄い。 （もっと読む）

【課題】人手によるピエゾ膜の厚さ毎の分類作業を不要とすることができるインクジェットプリンタの提供。
【解決手段】各々がピエゾ膜を有する複数のピエゾ素子ＰＺ１〜ＰＺ５を備えるプリンタヘッドＨと、ピエゾ膜の厚さとピエゾ膜に印加すべき印加電圧Ｖ１〜Ｖ１０の大きさとの対応関係を記憶する不揮発性メモリと、複数のピエゾ膜の厚さに基づき、不揮発性メモリに記憶された対応関係を参照することにより、複数のピエゾ素子に印加すべき印加電圧を決定する決定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】静電型アクチュエータの大気開放孔（疎水剤導入孔）の封止性が完全でない場合でも、空隙内の疎水剤濃度の経時的な低下を防止して耐久性劣化を防止する。
【解決手段】振動板２０と固定電極１３ａの空隙側１５ａの表面に疎水膜を形成し、空隙１５ａ中に疎水基を有する疎水剤の蒸気を封入するとともに、空隙１５ａを連通する連通路５３に接して液体の疎水剤を保持する疎水剤保持部５２を設け、空隙１５ａ内における疎水剤の蒸気の封止が僅かに不完全であっても液体の疎水剤を保持した疎水剤保持部５２より疎水剤の蒸気が供給されて、空隙１５ａ内の疎水剤濃度の低下を防止して静電型アクチュエータの耐久性が劣化することを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】積層及び焼結工程を経ることにより、製造工程が単純で、材料選択の幅が広く、加工費用も節減できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】インクを貯蔵するリザーバ、リザーバからインクが供給されるチャンバー、リザーバとチャンバーとを連結するリストリクタ、及びインクを吐出するノズルを含むインクジェットヘッドであって、チャンバーが設けられるチャンバープレートと、チャンバーを覆うようにチャンバープレートの上面に積層され、第１コイルが埋め込まれる振動プレートと、リストリクタが設けられ、チャンバープレートの下面に積層され、第２コイルが埋め込まれる第１中間プレートと、リザーバ及びノズルが設けられ、第１中間プレートの下面に積層される下部プレート部と、を含むインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの小面積化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク液の供給を受ける圧力発生室１０と、圧力発生室１０に連通するノズル開口部６２と、圧力発生室１０に面する振動膜２０と、を備え、圧力発生室１０内の圧力変化によりインク液をノズル開口部６２から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００であって、ノズルプレート６０の圧力発生室１０を挟んで振動膜２０と対向する領域に形成されたドライバ回路６４、を備える。このような構成であれば、圧力発生室１０とドライバ回路６４とが断面視で縦方向（即ち、厚さ方向）に重なるように配置されているので、記録ヘッド１００の面積を小さくすることができ、その小型化が可能となる。また、ドライバ回路６４で生じた熱が流動するインク液によって奪われ易いので、放熱が容易である。 （もっと読む）

【課題】プロセス適応性に優れた、精度の高い階段状の段差を有する静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して平行に対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動手段４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、個別電極５の振動板６に対する対向面上に、少なくとも１段の階段状の段差を有する絶縁膜７を備える。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上させた圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子２０を収容する収容部Ｓを、キャビティと対向するようにシリコン基板１１の上方に凹設した。圧電素子２０は、収容部Ｓの深さ方向に積層された一対の電極膜である下部電極２１と上部電極２３と、この一対の電極膜に挟まれた圧電膜２２とを有する。そして、圧電膜２２は、収容部Ｓに埋め込まれて、収容部Ｓの開口における圧電加工面２２ａが研磨抑止面１４ａと面一になる。 （もっと読む）

【課題】 液体供給路を構成する液体導入路と液室のうち、液室で発生する気泡が記録に与える影響を低減する。
【解決手段】 液体導入路の下端よりも液室の上端が、鉛直方向に関して上方に位置し、その液室の上端と液体導入路の下端との差が、液室の短手方向の長さ（液室幅Ｗ）の半分よりも大きいことを特徴とする液体供給路とする。 （もっと読む）