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Fターム[2C057BA04]の内容

インクジェット(粒子形成、飛翔制御) (80,135) | 圧力式ヘッド (13,933) | ヘッド型式 (6,443) | 圧力室型 (6,417) | ノズルに対向して駆動素子を配置したもの (4,713)

Fターム[2C057BA04]に分類される特許

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マイクロ流体噴出ヘッド用半導体基板。この基板は、該基板上に配置された複数の流体噴出アクチュエータを含む。それら流体噴出アクチュエータの各々は、薄膜ヒータと該ヒータと隣接する1つ或はそれ以上の保護層とを含む薄いヒータ・スタックを含む。前記薄膜ヒータが、AlN、TaN、並びに、TaAl合金から本質的に成るナノ-結晶世構造を有するタンタル・アルミニウム窒素薄膜材料から構成され、その薄膜材料が約30から約100オーム/スクエアまでの範囲のシート抵抗を有する。薄膜材料は、約30から約70原子%までのタンタル、約10から約40原子%までのアルミニウム、並びに、約5から約30原子%の窒素を含有することから成る。 (もっと読む)


液滴射出器は液体流を制御するための複数の突起を有する。
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液滴送出装置が開示される。装置はそこから液滴が射出される複数のノズル開口及び廃液制御装置を備える。
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1個又は複数個のインクジェットチャンバを形成する方法であって、基板上のサーマル素子(70)の全体又はほぼ全体をある種の未硬化感光造形素材にて被覆する工程と、未硬化感光造形素材被覆領域を部分的にマスキングするよう且つサーマル素子をマスキングするよう第1マスク(50)を設ける工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち非マスキング部分を露光させる工程と、サーマル素子上を少なくとも部分的にマスキングするよう第2マスク(90)を設ける工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち未露光部分を吐出ノズルが形成されるよう露光させる工程と、未硬化感光造形素材被覆領域のうち露光済部分を硬化させる工程と、残りの未硬化感光造形素材全てを除去してインクジェットチャンバを形成する工程と、を実行する。
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【解決手段】
インクジェットプリントヘッド(130)は、1つ以上の噴出モジュール(131)を備え、各モジュールはシリコンチップ(34)、モジュールのフロント部(133)に隣接した複数の噴出ノズル(139)、ノズル用の噴出セル(137)及びセル(137)のインク用の分配チャンネル(138)を備える。モジュールはフロント部(133)に隣接し分配チャンネル(138)に流体連通する分布チャンネル(149)と、関連チップ(134)に一体化されたノズル層(152)とを備え、噴出ノズル(139)がフロント部に平行に作られる。ヘッド(130)は、モジュールが取り付けられ且つ分配チャンネル(138)と流体連通するインク用供給ダクト(143)を形成する支持部(132)と、供給ダクト(143)と噴出セル(139)との間に流体密封を保証するため支持部とモジュールの間に設けられた密封手段(150)と、を更に備える。 (もっと読む)


微細加工されたデバイス、および微細加工されたデバイスを形成するための方法が記載される。シリコン(680)を含む薄膜が、シリコン・オン・インシュレーター基材(685)をシリコン基材に接着させることによって、シリコン本体(25)の上に形成される。シリコン・オン・インシュレーター基材の、ハンドル層(695)および絶縁体層(690)は、取り除かれ、シリコン本体に接着されたシリコンの薄膜を残し、その結果、膜と本体との間には、絶縁体物質の介在層は残らない。圧電性層は、膜に接着される。
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圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができ液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。さらには、圧電素子の駆動による振動板の変位量の低下を有効に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。 液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備し、少なくとも圧電素子300を構成する各層のパターン領域が、無機絶縁材料からなる絶縁膜100によって覆われているようにする。 (もっと読む)


インクジェットプリントヘッドは、列方向に離間された噴出チャンバーの列であって、それぞれがインクオリフィスと連通状態にある噴出チャンバーの列と、この噴出チャンバーと連通する流入および排出プレナムチャンバーと、列方向に延在しかつ多孔質シートを介してプレナムチャンバーと連通する流入および排出マニホールドとを有する。流入および排出マニホールド内には列方向に実質的な正味のインク流が存在するが、流入あるいは排出プレナムチャンバー内には列方向に正味の流れは実質的に存在しない。それゆえインク圧力は噴出チャンバーの列の隅々まで一定である。
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【課題】 ノズルプレート等の基材表面と金属アルコキシドの撥液膜との密着性が高く、さらに密度の高い金属アルコキシドの撥液膜を有する部材を提供する。また、前記部材からなる液体噴出装置の構成部材、さらに前記部材からなる液体噴出ヘッドおよび液体噴出装置を提供する。
【解決手段】 ノズルプレート18等の基材の表面に、シリコーン材料のプラズマ重合膜22等の下地膜と、前記下地膜表面に金属アルコキシドが重合した分子膜24等の撥液膜とを有することを特徴とする。好ましくは前記金属アルコキシドがフッ素を含む長鎖高分子基24bを有する。前記下地膜は、基材に応じ、シリコーン材料のプラズマ重合膜22以外に、SiO2、ZnO、NiO、SnO、Al23、ZrO2、酸化銅、酸化銀、酸化クロム、または、酸化鉄を含む構成とすることができる。 (もっと読む)


【課題】 従来既存のポリマーを用いて接合する場合時に発生していたする節理現象及び干渉現象を防止でき,ノズルとインク室及びヒーターの整列が正確に行われ,素子の集積度を向上できるインクジェットプリンタのヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリンタのヘッドは,インク室220内のインクを加熱するヒーター110が備えられた基板100と,インク室220と連通するノズル210を有するノズルプレート200とがガラス質の薄膜からなる中間接合層300を介在して静電力により接合されてなる。基板100とノズルプレート200とを中間接合層300を介在して仮接合した後電界を加えると,ノズルプレート200と基板100との界面でSiOが形成され,SiOの静電力によりノズルプレート200と基板100とが接合される。 (もっと読む)


【課題】良好な電気接続が得られる接続端子を備えたインクジェットプリンタヘッドに好適な電気回路基板を提供する。
【解決手段】先ずチップ基板21上に駆動回路27、抵抗発熱部28、共通電極29、個別配線電極31、接続端子32等を形成し、続いてシール隔壁33−1、インク加圧室34を作る区画隔壁33−2及び33−3を形成し、同時に区画隔壁33−2に連設してこれと同一材料で支持部材35を形成する。更にインク供給溝36とインク給送孔37を形成する。この後これらの上にオリフィス板22を積層し、接続端子32に対応する位置にボンディング用孔25をエッチングした後、右端部で隣接のチップ基板と切り離す。オリフィス板22は支持部材35に支持されるため垂れて接続端子32に接触することがなく、熱伝導等でエッチングレートを低下させることがなく、エッチング残渣が発生せず、接続端子32は良好な電気接続性を維持する。 (もっと読む)


【課題】 ワイヤボンディング不良の発生を防止することにより、製品の歩留まり及び信頼性を向上させたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動用基板1と、駆動用基板1上にポリイミド層21を介して配置されたドライバーICチップ11と、このチップ11と駆動用基板1との間に配置された圧電体膜6と、圧電体膜6にチップ11からの電圧を印加するためのボンディングワイヤ13と、駆動用基板1内に形成された圧力発生室1bであって、圧電体膜6によって加圧されるインクを入れる圧力発生室1bと、チップ11の裏面と圧電体膜6との間にポリイミド層21により設けられた空間11aであって、圧力発生室1b内のインクを加圧する際に圧電体膜6の動きを阻害しないための空間11aと、を具備するものである。 (もっと読む)


【課題】 品質劣化を伴うことなく、高機能で微細寸法の圧電素子の櫛歯状駆動片を迅速かつ効率よく加工する。
【解決手段】 一対の圧電素子ブロック32A、32Bの間にスペーサ50を介在させる。圧電素子ブロック32A、32Bの上部側は、スペーサ50より上方に突出しており、この上部側からスリット60Aを形成することにより、多数の圧電駆動片40A、40Bを等間隔で櫛歯状に形成する。スペーサ50の上部は、圧電駆動片40A、40Bの基端部を含む位置まで配置されている。このスペーサ50の上部は圧電素子ブロック32A、32Bに接着されない非接着領域であり、圧電駆動片40A、40Bの基端部を補強して、スリット加工時の応力を緩和する。スペーサ50の非接着領域により、圧電駆動片40A、40Bの変形は拘束されず、高い応答性と十分な変位量を得ることができる。 (もっと読む)


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