【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。シリコン基板２は、主面結晶方位（１００）のシリコン結晶からなる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪み量の大きい圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０、弾性膜５０、密着層５６、電極６０を形成する工程と、電極６０の上方に、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を実温１６５℃以上１８５℃以下の温度で加熱する乾燥工程と、乾燥工程の後、実温３３０℃以上４４０℃以下の温度で加熱する脱脂工程と、脱脂工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させ圧電膜７２を形成する結晶化工程、を具備し、所定厚さの圧電層７０を形成する。 （もっと読む）

【課題】異なる液滴量による吐出液滴の速度のばらつきを抑えて高着弾位置精度を確保するとともに、高周波吐出を可能にする。
【解決手段】１記録周期内に複数の噴射パルスＰ１〜Ｐ３と、その最終噴射パルスＰ３の手前に非噴射パルスＰＳとを含む基本駆動波形３０を生成する。この基本駆動波形３０から少なくとも最終噴射パルスＰ３を残して一部のパルスを取り除き、吐出エネルギー発生素子に印加する駆動信号（３２，３４，３６）を生成する。複数の噴射パルスのうち最終噴射パルスＰ３のみを噴射に用いる場合には、当該最終噴射パルスの手前に非噴射パルスＰＳを含む第１の駆動信号（３２）を生成する。複数の噴射パルスのうち最終噴射パルスＰ３と他の少なくとも１つの噴射パルスを組み合わせて噴射に用いる場合には、非噴射パルスＰＳを取り除いて構成される第２の駆動信号（３４、３６）を生成する。 （もっと読む）

【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。拡散防止膜７０は、圧電体層８中の金属原子の拡散を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの圧電素子に電圧を印加する経路から絶縁膜を省略することができ、製造プロセスを簡略化できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクを加圧してノズル１１から吐出させる複数のアクチュエータ２０とを備えている。アクチュエータ２０は、絶縁層の上に設けられた圧電素子と、圧電素子に電気的に接続された共通電極と、圧電素子に電気的に接続されるとともに共通電極と協働して圧電素子を挟み込んだ個別電極と、を含んでいる。全てのアクチュエータ２０の共通電極は、絶縁層に設けられた共通した第１の通電パターン３０に電気的に接続されている。全てのアクチュエータ２０の個別電極は、絶縁層に設けられた複数の第２の通電パターン３１に個別に電気的に接続されている。第１の通電パターン３０および第２の通電パターン３１は、絶縁層の上で互いに重なり合うことなく離れている。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】印刷装置における設計の自由度の向上と、配線の簡易化との両立。
【解決手段】信号生成送信回路２０は、信号生成回路２３Ａ〜２３Ｈにおいて２種類のクロックによるデータを生成する。クロック乗り換え回路２６Ａ〜２６Ｈは、その２種類のクロックによるデータを１種類のクロックに乗り換えさせて、クロックを共通化する。シリアライザー２８は、そのクロックが共通化されたデータをシリアルデータにシリアライズすると共に、デシリアライザー３１２に入力する。デシリアライザー３１２は、シリアルデータを受信すると共にデシリアライズする。ヘッド３３Ａ〜３３Ｈは、デシリアライズされたパラレルデータに基づきインクを吐出する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）

【課題】構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】カバーヘッドの変形を防止してノズルプレートを確実に接地させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル開口５１が開口したノズルプレート５０を備えるヘッド本体３０と、ノズル開口５１が露出する開口を有するカバー部７１、及びカバー部７１に連続して延設された脚部７２から構成されたカバーヘッド７０と、ヘッド本体３０を保持するとともに、固定部９２にカバーヘッド７０の脚部７２が固定される流路部材９０とを具備し、カバー部７１は、開口の縁部がノズルプレート５０に接触し、脚部７２は、基端部７６から先端部７７までの長さが、先端部７７とヘッド本体３０とを仮想的な直線で結んだ最短距離よりも長い。 （もっと読む）

【課題】回路の発熱を抑えて耐久性を向上させることが可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子２０を駆動してインクを吐出させるための吐出パルスを含む第１駆動信号ＣＯＭ１を規定発生周期で発生する第１駆動信号生成部９Ａと、吐出パルスを含む第２駆動信号を規定発生周期で発生する第２駆動信号生成部９Ｂと、インクの吐出を制御する画素データＳＩに基づいて、第１駆動信号ＣＯＭ１又は第２駆動信号ＣＯＭ２に含まれる吐出パルスを選択的に圧電素子に供給してインクの吐出を制御する制御部６と、を備え、制御部は、画素データに基づいて、第１駆動信号又は第２駆動信号のうちの何れか一方をノズル列毎に選択して当該ノズル列の圧電素子に対して供給する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタにおいて、記録される画像の質を向上する。
【解決手段】インクジェットプリンタでは、予めＫの色の吐出部が大ドットの形成、中ドットの形成および非吐出の３値の出力を行う吐出部として選択される（ステップＳ１２）。画像記録中において（ステップＳ１３〜Ｓ１５）、Ｋの色に関して３値の出力が行われ、ＣＭＹの色に関しては、大ドットの形成、中ドットの形成、小ドット形成および非吐出の４値の出力が行われる。これにより、４値の出力の際にＫの色のドットの質が低下する場合であっても、Ｋの色に関して質の高いドットを形成することができ、線画や文字画像等の場合に記録される画像の質を向上することができる。ＣＭＹに関して４値の出力を行うことにより、カラーの絵柄の場合における画像の質も向上することができる。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル径ばらつきなどに起因する異常ノズル検知性能のばらつきを緩和することができる検知用波形を提供し、異常吐出となるノズルを事前に検知する。
【解決手段】記録用波形は、一記録周期内に少なくとも１つの吐出パルスと、吐出後の残響を抑制する残響抑制部とを含む。異常ノズル検知用波形は、記録用波形の吐出パルスと同等のパルス幅及びパルス間隔の吐出パルス（11〜14）を含み、記録用波形と比較して、残響抑制部（60）の抑制効果が低減された波形である。残響抑制を弱めるには、電圧方向に調整する態様或いは時間軸方向に調整する態様がある。異常ノズルを検知するための吐出を行う際に、メニスカスが溢れやすい条件（メニスカスにかかる圧力を調整、或いは、クロストークの影響が大きくなる条件）で検知用波形を印加することにより、検知性能をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の引出電極の引き出し方向によらず、圧電層の駆動領域と対向する部分における圧電変形量のばらつきを低減する。
【解決手段】圧電アクチュエータ７は、圧力室１０が形成された流路ユニット６に接合された圧電層４１と、圧電層４１と積層して配置された圧電層４２と、圧電層４２の表面に配置された個別電極４４及び引出電極４５とを有している。個別電極４４は、圧力室１０と対向して配置されている。引出電極４５は、個別電極４４から引き出され、圧力室１０と対向しない部分まで延在している。そして、引出電極４５を介して個別電極４４に電圧が付与される。引出電極４５は、個別電極４４よりもガラス材料内に含有された金属粒子の径が大きな材料で形成され、個別電極４４と導通している。そして、引出電極４５と圧電層４２との間には低誘電層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】搭載する機種が変更された場合でも、適切な駆動電圧によって駆動制御することができるインクジェットヘッドの駆動電圧設定方法を提案すること。
【解決手段】駆動電圧設定方法では、インクジェットヘッド１から基準重量の検査インクのインク滴３を吐出させる検査インク用駆動電圧Ｖｈ０とヘルムホルツ共振振動の周期Ｔｃを測定する（ステップＳＴ１３）。次に、インクジェットヘッド１をプリンター本体１１に搭載し、プリンター本体１１に予め記憶されている補正式と検査インク用駆動電圧Ｖｈ０とヘルムホルツ共振振動の周期Ｔｃを用いて印刷インク用駆動電圧Ｖｈ１を算出し、印刷インク用駆動電圧Ｖｈ１を駆動電圧Ｖｈとしてプリンター本体１１に設定する（ステップＳＴ２２）。駆動電圧がプリンター本体１１に設定されるので、インクジェットヘッド１を搭載する機種が変更されてもインクジェットヘッド１に駆動電圧を設定し直す必要がない。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド先端部や該ヘッド流路内における目詰まりや汚れがなく、高速印字で高精細画像を得ることができ、高速印字時に過不足なく供給される記録液と該記録液を使用したラインヘッド搭載の画像形成装置を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドに用いる記録液であって、水と、色材と、湿潤剤と、浸透剤として２,４-ジエチル-１,５-ペンタンジオールとを含み、湿潤剤の含有量が全液媒体に対して１０〜３５質量％であり、寿命１０ｍｓｅｃにおける表面張力が４０ｍＮ／ｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】大きな液体吐出力が得られる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電ブロック５内に設けられている圧力室３の壁を変形させることにより、圧力室３内の液体を圧力室３に連通している吐出口７から吐出させる液体吐出ヘッドであって、圧力室３と、圧電材料からなる壁を挟んで圧力室３と隣接する空洞４、９と、壁の圧力室３の側に設けられた電極１２と、壁の空洞４、９の側に設けられた電極１３、１４と、を有し、電極１２と電極１３、１４と間に電圧が印加されたときに、電界方向および分極方向が圧力室３の中心軸から外側へ向かう放射状となるように、電極１２の少なくとも一部の幅が圧力室３の幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】インク圧力室内のインクをノズルから効率よく吐出させることができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インク圧力室１４が形成された基板１２と、基板１２に積層されたノズルプレート２と、ノズルプレート２に内蔵されたアクチュエータ２０と、を備えている。ノズルプレート２は、インク圧力室１４に連通されたノズル１１と、インク圧力室１４に露出された振動板４と、を有する。アクチュエータ２０は、振動板４を厚さ方向に変位させることで振動板４を介してインク圧力室内のインクを加圧してノズル１１から吐出させる。インク圧力室１４は、基板１２の厚さ方向に沿う第１の寸法と、基板１２の厚さ方向と直交する方向に沿う第２の寸法と、を有し、前記第１の寸法が前記第２の寸法よりも大きく形成されている。 （もっと読む）