【課題】複数の建屋間の位置に相対的な位置ずれが発生し搬送車の走行方向と異なる方向の変位が生じた場合でも、該搬送車が該複数の工場間を安定して搬送可能な半導体ウエハの搬送装置および搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送ユニット１００は、天井側吊り部材１と、吊りボルト２と、吊りサポート（可動サポート部）３と、軌道ユニット（軌道部）４と、搬送車走行面５と、接続板（接続部）６と、各部材同士を固定するボルトとを有し、変位追従部１０１は、ｙ軸方向に延びるスライド機構（スライド部）３１を有し、該搬送ユニット１００に該スライド機構３１を設けることで、搬送車７が移動できるように構成する。 （もっと読む）

本発明は直線、移行、曲線及びスイッチ軌道区間を有する軌道システムの軌道（１，１０１）を有する。本発明は、更に、前記軌道から懸垂された車両客室のためのボギー台車（４０）を有する。前記軌道の軌道区間は、上部レール（１）及び１つ又は２つの下部レール（１０１，２０１）を有する。更に、ボギー台車（４０）は、上部ガイド及びスイッチ車輪（１５１，２５１，１５４，１５４）の前部及び後部のセットと、下部ガイド及びスイッチ車輪（１５２，１５３，２５２，２５３，１５６，１５７，２５６，２５７）の１つのセットを有する。ボギー台車（４０）は、１つの左側及び／又は１つの右側の耐加重車輪と、上側を向いて、上部レールの下向きの駆動車輪走行面（１５）と係合する１つの駆動車輪を有する。下部ガイド車輪の各セットは、左右の車輪の対（１５２，１５３，２５２，２５３）を有し、ボギー台車（４９）の部品を動かすことなく移行区間を通過することが可能である。スイッチ車輪（１５４，２５４，１５６，１５７，２５６，２５７）は、これらがスイッチに至る十分前に所望の進行方向に従って位置決めできるようにガイド車輪から分離している。 （もっと読む）

【課題】懸垂式モノレールの箱桁構造において、箱桁に作用する応力集中を分散させると共に効率的に吸収することで疲労強度の向上を図る。
【解決手段】天井部１２と左右の側壁部１３と左右の下部桁１４を一体に連結することで下方に開口部１５を有した箱型断面形状をなす箱桁１１を構成し、下部桁１４上の走行路１６に走行台車１８の走行車輪１９を転動自在とすると共に、この走行台車１８に吊具１７を介してモノレール車両を懸垂支持し、天井部１２の端部と左右の側壁部１３の端部とを、その内側で三日月形状をなす第１補強ブラケット２６により接合する。 （もっと読む）