【課題】複数の建屋間の位置に相対的な位置ずれが発生し搬送車の走行方向と異なる方向の変位が生じた場合でも、該搬送車が該複数の工場間を安定して搬送可能な半導体ウエハの搬送装置および搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送ユニット１００は、天井側吊り部材１と、吊りボルト２と、吊りサポート（可動サポート部）３と、軌道ユニット（軌道部）４と、搬送車走行面５と、接続板（接続部）６と、各部材同士を固定するボルトとを有し、変位追従部１０１は、ｙ軸方向に延びるスライド機構（スライド部）３１を有し、該搬送ユニット１００に該スライド機構３１を設けることで、搬送車７が移動できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】天井走行車に走行レール等の固定設備の検査機能を持たせる。
【解決手段】天井走行車２２の走行部４０の車輪よりも走行方向前方にレーザ距離計９２を設けて、走行部４０における台車から走行レール３０までの間隔を測定する。バーコード３３にレールの継目７の位置を記載しておき、バーコードリーダ６６でその位置を求める。据付判定部７２では、継目かどうかを、バーコードリーダ６６のデータと走行計のエンコーダのデータとで判定し、この位置で、レーザ距離計９２で求めた間隔が変動するかどうかをチェックし、段差の程度と位置を求める。据付判定部７２はその後チェック結果をローカルコントローラに報告する。 （もっと読む）