【課題】排気による汚損に耐性を有する排気流量センサ４１，４２を用いて、パティキュレートフィルタ１４の異常を診断する。
【解決手段】内燃機関の排気系に設けられたパティキュレートフィルタの上流側および下流側に、排気流量センサ４１，４２が設けられ、両者が検出する排気流量の比較から、パティキュレートフィルタ１４の破損や溶損などの異常を判定する。排気流量センサ４１，４２は、排気通路１３を横切る梁状の感知部材５２と、この感知部材５２の歪みを検出する半導体型歪みセンサ５３と、からなる。感知部材５２は、細い平帯状の板バネなどからなり、排気流によって弓状に湾曲するように微小変形し、歪みセンサ５３によって排気流量に応じた出力が得られる。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比の細孔に対しても効率よくかつ精度よく当該細孔内を流れるガスの流量を測定することができる作業性のよい流量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量測定装置は、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段１と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路２、２ａ及び比較吸気通路３、３ａとを備える。主吸気通路が細孔Ｈの一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第１の測定基準孔ＲＨ１に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第２の測定基準孔ＲＨ２が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第３の測定基準孔ＲＨ３が介在され、吸引手段を稼働して細孔及び第１の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第３の測定基準孔備の間、及び、第１及び第２の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する測定手段１５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】腐食性ガスを使用した成膜装置において、ガス流量を検知して電気信号として出力することで、正確な成膜と安全性を確保可能にする。
【解決手段】腐食性ガスを使用して基板に成膜する成膜装置から排気されるガスの流量を検出するための流量計であって、ガス供給口３とガス排出口４を備え、使用に際して内部に不活性液体が充填される密閉容器２と、密閉容器２内に可動自在に支持されたフロート５と、フロート５の可動を制御するストッパー１３と、フロート５の可動回数をカウントして電気信号として出力するセンサー１４を具備し、フロート５は、仕切板９によって、内壁を耐腐食性材質で加工した第１室８ａ及び第２室８ｂに仕切られた受入空間８を有し、振り子状に可動自在に密閉容器２内に支持され、第１室８ａと第２室８ｂに交互にガスを受け入れつつフロートの可動を検知して電気信号として出力可能とした。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスの流量計測精度の向上とエネルギー効率の向上とを両立させる。
【解決手段】ガスエンジン２へ供給される燃料ガスの流量を計測するガス流量計測装置３は、燃料ガス供給源から供給される燃料ガスを昇圧するガス昇圧機２４と、ガス昇圧機２４で昇圧された燃料ガスの流量を計測する容積式流量計２７と、容積式流量計２７の下流側に設けられ、ガスエンジン２へ供給される燃料ガスの供給圧力を調整する圧力調整弁２５，２６と、容積式流量計２７と圧力調整弁２５，２６との間に設けられ、燃料ガスの脈動を抑えるための絞り部を有する可変絞り弁２８とを備えている。可変絞り弁２８の開度は、その開度に依存する燃料ガスの流量振幅値と容積式流量計２７によって計測される燃料ガスの単位時間当たりの積算流量値との間の相関関係における積算流量値の変化率を利用して設定される。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】熱式流量センサにおいてどの箇所に不具合が生じているのかを診断することができる診断装置及びその診断装置を備え、自己診断が可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】熱式流量センサ１が出力する第１測定流量値と、前記流量測定機構２が出力する第２測定流量値と、を比較して前記熱式流量センサ１の異常を診断する診断部４３と、を備え、前記診断部４３が、第１測定流量値と第２測定流量値に基づいて、前記メイン流路ＭＬ又は前記センサ流路ＳＬのいずれに詰まりがあるかを診断するように構成した。 （もっと読む）

【課題】患者がピークフロー以外の呼吸パラメータも測定可能な安価な装置を提供する。
【解決手段】装置は、可動なプレート部材１３２の位置を測定するための変位測定装置１６０と、プレート部材１３２の振動を減衰するための自己振動減衰装置１４０と、プレート部材１３２の共振周波数を増大させ、かつフラッターを低減するためのプレート部材１３２に係合するかまたは組み込まれる１つまたは複数の補強部材と、フロー測定に対する重力の作用を排除するためにその長さに沿った異なる点で、空気流に異なる方向１６４を提供する導管１２４とを含む。 （もっと読む）

【課題】流量に関連付けたパーティクルの計測が可能とされ、精度の高いクリーン度の計測に繋げることができると共に、小型化及び消費電力の低減化を図ること。
【解決手段】試料気体Ｓを内部通過させる内部流路１１が形成されたフローセル１０と、試料気体の流速を計測する流速計測部１２と、試料気体に向けて検出光を照射する光照射部３１、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルＰに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部３２を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部１３と、流速計測部で計測された流速に基づいて試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量とパーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部１４と、を備えているパーティクルカウンタ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】流量計測装置において、流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減すると共に高精度な計測を可能とする。
【解決手段】配管１１内に径方向に沿って配置されるサポート部材１２に沿って移動部材２２を移動自在に支持し、配管１１の外部に配置された巻上モータ２３により作業開口部１４を通して移動部材２２を移動可能とし、この移動部材２２にピトー管３１を装着し、ピトー管３１にこのピトー管３１に作用する圧力を計測する圧力計３２を連結し、この圧力計３２の計測結果に基づいて流量を算出する制御装置３５を設ける。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】 ガス供給装置用流量制御器の流量測定をより迅速且つ高精度で行えるようにすると共に、測定に用いる流量測定装置の構造の簡素化及び小型化を図る。
【解決手段】 ガス供給管路Ｌの出口端部に設けた開閉弁Ｖ₀の上流部へ分岐状に且つ解離自在にその入口側端部を連結すると共にその出口側端部をガス流出側へ連結する分岐管路Ｌｂと、分岐管路Ｌｂの出口側に設けた開閉弁Ｖと、開閉弁Ｖの上流側のガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Ｐｄ及び温度検出器Ｔｄと、圧力検出器Ｐｄ及び温度検出器Ｔｄからの検出信号が入力され、分岐管路Ｌｂを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置ＣＰとからなり、ガス供給装置ＧＦのガス供給管路Ｌの出口端部に設けた開閉弁Ｖ_０の上流部へ分岐状に且つ解離自在に連結する。 （もっと読む）

【課題】ラミナー式流量計の測定対象たるガスの流れが、レイノルズ数が十分に小さい層流でない脈動流であっても、ガスの流量を正確に測定することができる脈動流の流量測定方法およびガス流量測定装置を提供する。
【解決手段】ラミナー式流量計２を用いた流量測定方法であって、測定前に、脈動周波数を複数設定するとともに、流量が一定であり、かつ、既知である複数の基準流量Ｑ_ａを設定し、各脈動周波数と各基準流量Ｑ_ａとを組み合わせた各パターンのガスの流れを、脈動振幅ｘを変化させながら、ラミナー式流量計２によって測定（測定流量ｙを取得）し、各パターンにおいて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙと脈動振幅ｘとの関係を表す関数を算出しておき、測定において、当該測定の測定条件に最も近似するパターンを各パターンから選択するとともに、選択したパターンにおける関数を用いて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙを補正する。 （もっと読む）

【課題】圧力及び温度に可能な限り依存しない流量センサの提供。
【解決手段】気体又は液体の流量を測定する、ハウジングを備えた流量センサであって、前記ハウジング内には、１つの主流路２及び主流路２に平行な測定流路３を備えた流路が導入路１５と排出路１６の間を伸張し、主流路２には少なくとも１つの絞り部１７が備えられ且つ測定流路３には流量を測定する１つのセンサ素子が備えられ、測定流路３の入口側と出口側にはそれぞれ１つの絞り部１８が備えられ、主流路の絞り部１７は少なくとも１つの通過路１９を備え且つ測定流路の絞り部１８は少なくとも１つの通過路２０を備え、それぞれの通過路は同一形状であり流れ方向に平行に伸張していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

【課題】より少ない工数で実測された実測値を用いて、ファンに関するデータを予測する。
【解決手段】予測装置１００は、以下の取得部１２１、予測部１２２を有する。すなわち、予測装置１００の取得部１２１は、所定の回転数Ｎ［ｒｐｍ］で回転する場合のファンに関するデータの実測値１１１を取得する。そして、予測装置１００は、取得されたデータの実測値に基づいて、ファンが所定の回転数Ｎとは異なる回転数Ｎ´で回転する場合のファンに関するデータを予測する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ流体の流量の計測精度の向上を図ることができる熱式流量計を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路Ｓと、センサ流路Ｓに対する第１バイパス流路Ｂ１と第２バイパス流路Ｂ２とを備える熱式流量計１０において、測定チップ６０と、センサ基板５０と、センサ流路Ｓと第１バイパス流路Ｂ１と第２バイパス流路Ｂ２とを分岐させる流路ブロック４０とを有し、流路ブロック４０及びセンサ基板５０を収容するボディ２０とボディ２０の開口部を塞ぐカバー３０とで形成される空間内にセンサ基板５０が鉛直に配置され、被測定流体の出入口がボディ２０の同一面に配置され、ボディ２０に第１バイパス流路Ｂ１内へ突出したリブ７０が設けられていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の風受板は、吊下した樋形の風受板、又は立設した板ばねの構造等であり、強風を受け、確実な可動を図ることは困難視される。また、従来は、その復帰を、無風の気象条件、及び風受板と、レバーの自重で行なう構造であって、自然現象を主体とするものであり、確実な可動を図ることは困難視される。
【解決手段】 本発明は、風が全方向から通過可能なケーシング内に球体を載架し、球体の上下方向に一直線となるように、それぞれ杆体を配置し、上方の杆体は前記ケーシングに設けられたリミットスイッチの入切り部に連繋する構成とし、また、下方の杆体には、風受体を設けるとともに、下方の杆体及び風受体を復帰させる戻り機構を配置する構成とした屋外設置形風力検出スイッチである。何れの方向の強風でも、風受体が作動し、確実にリミットスイッチの入切りが図れる。 （もっと読む）