【課題】蒸気の湿り度によらず簡便に蒸気流量を測定することができる方法、及び蒸気の制御性に優れた熱供給システムを提供する。
【解決手段】配管３０内を流通する湿り蒸気の流量を渦流量計２０により計測し、当該計測値を前記湿り蒸気の総流量として取得した後、前記計測値を、前記湿り蒸気の密度を用いて補正し、当該補正値を湿り蒸気の総流量として取得することを特徴とする。この方法によれば、湿り蒸気の湿り度によらず少ない誤差で湿り蒸気の総流量を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、１サイクルごとに一定量の流体を流し出す計量子を繰り返し動作させて流量を計測する容積式流量計に関し、流量計測誤差を小さく抑える。
【解決手段】 流路内で動作を循環的に繰り返し流入してきた流体を１サイクルの動作ごとに一定量だけ流出させる計量子と、その計量子に流入する流体とその計量子から流出する流体との差圧を検出する差圧検出器と、計量子の動作に応じた信号を出力する動作検出器と、計量子の動作を補助するモータと、動作検出器の出力信号に基づいて、差圧検出器の応答周波数を越える周波数成分を含む波形を生成する波形生成部と、差圧検出器で検出された差圧と波形生成部で生成された波形との双方に基づいて、計量子に流入する流体と計量子から流出する流体との差圧がゼロになるようにモータの動作を制御する動作制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ラミナー式流量計の測定対象たるガスの流れが、レイノルズ数が十分に小さい層流でない脈動流であっても、ガスの流量を正確に測定することができる脈動流の流量測定方法およびガス流量測定装置を提供する。
【解決手段】ラミナー式流量計２を用いた流量測定方法であって、測定前に、脈動周波数を複数設定するとともに、流量が一定であり、かつ、既知である複数の基準流量Ｑ_ａを設定し、各脈動周波数と各基準流量Ｑ_ａとを組み合わせた各パターンのガスの流れを、脈動振幅ｘを変化させながら、ラミナー式流量計２によって測定（測定流量ｙを取得）し、各パターンにおいて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙと脈動振幅ｘとの関係を表す関数を算出しておき、測定において、当該測定の測定条件に最も近似するパターンを各パターンから選択するとともに、選択したパターンにおける関数を用いて、ラミナー式流量計２による測定流量ｙを補正する。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】内燃機関において、周波数信号を出力とするエアフローセンサを採用する場合には、周波数信号を検出するタイミングと空気流量を演算するタイミングが異なる場合があり、吸入空気流量が過渡的に変化する条件下においては計測遅れが発生し、排気エミッションの悪化やトルクの低下の要因となる。
【解決手段】空気流量を演算するタイミング以前の複数の周期計測結果と、周波数信号を検出するタイミングと、空気流量を演算するタイミングを用いて空気流量測定値を補正することで、上記する課題を解決する。さらに、上記対策による補正誤差の影響を低減するために、燃料噴射量演算において、エアフローセンサを通過する空気流量とシリンダに流入する空気流量の位相差を補正することを目的として、過去のエアフローセンサを通過する空気流量を使用することに着目し、一回前の空気流量演算タイミングにおける空気流量演算値を、その一回前の空気流量演算タイミングの前後の周波数信号の計測値から補正して演算する。 （もっと読む）

【課題】流路内を流通する被測定ガスの種類を自動的に判別することができる渦流量計を提供する。
【解決手段】ガスが流通する流路内に生じた渦により交番の流れが生成されるバイパス流路４、ガスの圧力を検出する圧力センサ３９、バイパス流路４内に配置されるヒータ１４、ガスの温度を検出する周囲温度センサ１７で検出された温度よりもヒータ１４の温度が一定温度高くなるようにヒータ１４を発熱させる駆動回路５、ヒータ１４に流れる電流値を検出する電流センサ６、電流値とガスの質量流量との相関関係情報をガス種毎に記憶するメモリ７、交番の流れの周波数と周囲温度センサ１７及び圧力センサ３９で検出された情報とに基づいてガスの質量流量を算出する質量流量算出部８１、算出した質量流量と検出した電流値とメモリ７に記憶されている相関関係情報とに基づいてガス種を判別するガス種判別部８２を備える渦流量計１である。 （もっと読む）

【課題】極低温を含む広い温度範囲にわたって、正確な出力材料流量情報を生成するコリオリ流量計を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計は、メモリに記憶された非線形補償情報を使用し（７０６）、極低温を含む全ての温度で正確な非線形温度補償材料流量出力情報を生成する（７１４）。一つの実施の形態においては、記憶された非線形情報は（７０６）、正確な温度補償材料流量出力情報を生成するために使用されるヤング率Ｅの測定値を表す。他の実施の形態においては、ヤング率Ｅの測定値を曲線近似し（７０３）、正確な非線形温度補償出力情報を生成するのに使用するのに記憶される非線形式を導出する（７１０）。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】予め規定されたタスクを完了すべく、流量計を用いる工程についてユーザーを指導するシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】システムは、コンピュータ・システム上で動作し、制御モジュール２０２と通信する指導者モジュール２０８であって、流量計２０４を用いて完了すべき複数の所定のタスクの中からの所定のタスクのユーザー選択を受け取り、所定のタスクを完了するために流量計２０４を用いるための一連の工程を表示し、一連の工程に対するユーザー応答を受け取り、ユーザー応答にしたがって流量計２０４を動作させて所定のタスクを完了するよう構成される。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

振動式フローメーターを流れる流体の流量の誤差を求めるための方法が提供されている。この方法は、振動式フローメーターからセンサー信号を受信するステップを有している。第一の流量がセンサー信号を用いて求められる。また、流体密度が求められる。流体速度が、第一の流量、流体密度、およびフローメーターの物理的特性を用いて求められる。フローパラメーターＶ／ρが流体速度および流体密度に基づいて算出される。そして、算出されたフローパラメーターに基づいて流量誤差が求められる。
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【課題】流体の種類を特定してその流体の種類に応じた流量の補正を的確に行うことができる超音波流量計を提供すること。
【解決手段】超音波流量計２は、第１センサ部１１で検出した超音波の伝搬時間差に基づいて、流体出力用管路７を流れる流体Ｗの流量を算出する。超音波流量計２は、第２センサ部１２で検出した反射波の信号強度と管路を構成する材質の音響インピーダンスとに基づいて、流体Ｗの密度を求める。この密度に基づいて、流体出力用管路７を流れる流体Ｗの種類が特定され、その種類に応じて流体Ｗの流量が補正される。 （もっと読む）

【課題】標準流量等を安定して正確に計測可能な流量計及び流量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波流量計１０は、第１と第２の超音波送受波器１４，１５を用いて、計測管１３内の気体の流速Ｖと温度Ｔ１とを計測し、静圧計１７を用いて計測管１３内の気体の静圧Ｐ１を計測している。そして、流速Ｖから気体の動圧Ｐ２と、静圧Ｐ１と動圧Ｐ２の和で全圧Ｐ３を演算している。そして、これら計測又は演算した実際の流速Ｖ、実際の温度Ｔ１及び実際の全圧Ｐ３と、ボイルシャルルの法則に基づく関係式とを使用して、実際の流速Ｖを、予め定めた標準温度Ｔ０及び標準全圧Ｐ０で計測管１３内の単位面積に流れる気体の標準単位流量Ｑｘと、その標準単位流量Ｑｘに計測管１３の内側断面積を乗じた標準流量Ｑとを演算して出力している。 （もっと読む）

【課題】ノイズなどの外乱に強く且つ高精度な流速分布／流量測定が可能な反射相関／ドップラ式超音波流量計を実現する。
【解決手段】複数の超音波発振条件による流速分布測定を行う手順と、前記複数の流速分布測定の結果のそれぞれを関係付ける補正情報を算出する手順と、通常測定条件で得られる流速分布に対し前記補正情報を用いて補正を行う手順、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】接続される配管部材を含む配管構成による流量の精度悪化を防止することができる流量計を提供する。
【解決手段】分流式流量計１は、配管部材Ｐ１，Ｐ２に接続され、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２と連通する主流路１１が設けられた主流路保持体１０と、接続された配管部材Ｐ１，Ｐ２に関する情報が入力される入出力装置３５と、分流路２５を流れる流体の流量を検出する流れセンサ８と、入力された情報に基づいて、検出された流体の流量を補正する補正処理３０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計測流量値の信頼性を高める。
【解決手段】メモリ２−２に、基準差圧における弁体１−２の弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す基準の特性テーブルＴＢと、基準差圧よりも低い差圧における弁体１−２の弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す低差圧時の特性テーブルＴＬと、基準差圧よりも高い差圧における弁体１−２の予め定められた低開度閾値θｔｈ以下の開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す高差圧低開度時の特性テーブルＴＨとを格納する。この特性テーブルＴＬ，ＴＢ，ＴＨから現在の差圧ΔＰおよび弁開度θに応ずる流量係数Ｃｖを求め、この流量係数Ｃｖと現在の差圧ΔＰとから管路１−１を流れる流体の流量Ｑを算出する。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素（１５）によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ（１０）、ならびにこの比例バルブ（１０）を調節するためのアクチュエータ（１７）を備える。この制限フロー要素（１５）は、この比例フローバルブ（１０）と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段（２４，２５）、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段（１６）、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ（１０）を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段（２４，２５）およびアクチュエータ（１７）と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

流体流速センサはブリッジ回路の出力電圧に対応する第１の信号と流体温度に対応する第２の信号を発生する検出回路を含んでいる。制御モジュールは第１の信号と、第２の信号と、検索表とに基づいて流体流速をさらに正確かつ迅速に決定できる。検索表はデータにしたがって描かれた複数の曲線を含んでおり、流体温度、出力電圧、流体流速の間の関係を示している。この流体流速センサは本質的に温度補償され、短い応答時間を有する。 （もっと読む）